비정상적으로 비 전통적인 바카라 꽁 머니 씨앗은 산업 경쟁력의 원천이 될 요구와 관련이 있습니다!

세라믹은 베이킹과 경화로 만들어진 것으로 생각되었지만, AIST는 1994 년에 실온에서 세라믹 막의 현상이 발견 된 이후 상식이 뒤집혔다 이를 통해 베이킹없이 세라믹 필름을 생산하는 에어로졸 증착 방법 (AD 메소드) 바카라 꽁 머니이 탄생했으며,이 바카라 꽁 머니은 2011 년 Toto Corporation에 의해 반도체 제조 장비를위한 코팅 바카라 꽁 머니로 실질적으로 사용되었습니다 고성능 코팅 바카라 꽁 머니은 반도체 생산 효율성을 크게 향상시키고 있으며 현재 세계 최고의 시장 점유율을 차지하고 있습니다 우리는 공동 연구에서 상업화 및 동맹의 설립에 이르기까지 프로세스를 따랐습니다

실온에서 도자기가 굳어지는 비정상적으로 알려진 바카라 꽁 머니

환영먼저, 에어로졸 증착 방법 (AD 방법)을 간단히 소개하겠습니다 AD 방법은 드라이 세라믹 분말을 공기와 혼합하고 교반하고 가스로 노즐로 뿌려서 기판 표면에 코팅되는 바카라 꽁 머니입니다 도자기는 일반적으로 베이킹 및 경화로 만들어 지지만 AD 방법은 전혀 베이킹을 필요로하지 않으므로 실온에서 500 μm 두께의 부드럽고 강력한 필름이 가능합니다

1994 년경, 나는 두께가 1 μm 이상인 압전 필름에 대한 실용적인 필름 형성 방법을 실현하기 위해 세라믹 입자를 기판에 퇴치하려고 노력했다 세라믹 분말을 기판에 뿌려 가열하거나 혈장으로 녹여 융합하는 등 다양한 방법을 시도했지만 작동하지 않았습니다 어느 날, 나는 실수로 입자를 가열하지 않고베이스에 뿌렸다 그런 다음 검은 흙 같은 것이 붙어서 보드에 붙어있었습니다 뾰족한 핀처의 끝으로 그것을 강하게 문지르더라도 전혀 벗겨지지 않을 것입니다 나는 그것이 무엇인지 궁금했기 때문에 그것을 살펴보고 유기 물질 얼룩이 아니라는 것을 발견했지만 세라믹 입자는 실온에서 고형화되었습니다 나는 그것이 어떻게 일어나고 있는지보고 충격을 받았다 이 현상은 나중에 "실내 온도 충격 통합 (RITC)"이라고 불렀습니다

거기에서 우리는이 현상을 사용하여 강력한 세라믹 필름을 만드는 코팅 바카라 꽁 머니을 개발하기 시작했습니다 나는 1997 년에 논문과 회의 프레젠테이션을 발표했고,이 말을 듣고 나서 즉시 Toto Co, Ltd의 Kiyohara를 방문하게되었습니다 실제로,이 만남의 이유는 Nonaka Kazuhiro (현재 혁신 코디네이터)가 Kyushu Institute of Industrice Institute (현재 AIST와 Kyushu Center)의 일원이었던 일이었던 일이었을 때, 그리고 나와 컨퍼런스의 컨퍼런스를 보았습니다 1998 년 스위스에서 개최 된 Ferroelectric Applications (ISAF-11)는 흥미 로워서 전 대학생이자 지인 인 Toto의 Kiyohara를 소개했습니다 나는 세라믹 전문가가 아니었기 때문에 세라믹 전문가들이보고 말하는 것에 관심이 있다는 것을 기억합니다

Kiyohara나는 대학 이후 35 년 동안 세라믹을 연구 해 왔습니다 Toto는 구운 세라믹을 사용하여 화장실과 같은 물 제품이 깨끗한 상태에서 더 오래 지속되도록 보장하지만 1990 년대에는 표면 코팅이 중요해질 것이라고 생각하여 새로운 코팅 바카라 꽁 머니을 개발하기 시작했습니다 1999 년에 그는 화장실을위한 새로운 방지 바카라 꽁 머니인 Sefiontect 바카라 꽁 머니 (새로운 유약 바카라 꽁 머니)을 개발했지만 그 당시에는 광고 방법에 대해 배웠습니다

Awata 씨를보고 놀랐고 실제로 광고 방법을 보여주었습니다 필름 품질이 정상적인 저온에서 만든 것과 완전히 다르다는 것은 놀라운 일입니다 또한 세라믹과 관련하여 저온에서 만들어지면 일반적으로 100 ° C 미만이므로 실온에서 굳어지는 것을 상상하기가 어렵습니다 나는 그렇게 할 수 있다고 생각하지 않았습니다

환영저온에서 세라믹 필름을 만들 때 수지와 세라믹을 혼합하고 적용하는 방법이 있지만 수지가 혼합되어 세라믹 표면이 매끄럽고 견고하지 않습니다 그러나 AD 방법을 사용하여 소결의 경우와 비슷한 표면을 만들 수 있습니다 키요하라 도이 시점에 놀랐습니다

Kiyohara나는 단지 새로운 코팅 바카라 꽁 머니을 찾고 있었기 때문에 즉시 그들에게 함께하도록 지시했습니다 실제로, 그것은 다음 주에 이미 움직이기 시작했습니다

환영전문가조차도 전에 들어 본 적이없는 비 전통적인 바카라 꽁 머니이었습니다 그 후, 나는 Toto의 Basic Research Institute에서 강의를했고 그것이 협력적인 연구를 할 가치가 있다고 결정했습니다

Saeki나는 현재 AIST와 제휴하고 있지만 원래 Toto의 Basic Research Institute에 있었는데, 나는 광촉매 바카라 꽁 머니에 대한 연구원들과의 공동 작업을 포함하여 기본에서 응용 연구에 이르기까지 일련의 연구를 담당했습니다 Kiyohara가 광고 법에 중점을 두었을 때, 그는 Basic Research Institute의 이사였으며 Toto는 또한 광고 행위를 실질적으로 사용하기위한 프로젝트를 진행하고있었습니다 그는 그의 경력에 대한 평가를 받았으며 사임 후 AIST의 고급 코팅 동맹을 담당했습니다

막의 정확성 외에도이 바카라 꽁 머니이 매력적으로 발견되었습니다 당시 회사는 지구 환경 문제를 다루어야했습니다 도자기는 1500-1600 ° C의 고온에서 베이킹하여 생산되므로 세라믹은 많은 에너지를 소비하며 일부 회사는 불편하다고 느꼈습니다 AD 방법은 실온에서 이루어지며 에너지 소비가 매우 낮으므로 20 배 더 많은 에코 효율성입니다 이 바카라 꽁 머니은 우리가 그런 점에서 우리가 기대하지 않았던 것입니다

원칙을 이해하는 것도 실질적으로 사용하는 데 중요했습니다

Kiyohara협력 연구는 새로운 표면 수정 바카라 꽁 머니을 개발하기 위해 시작되었지만 기본 바카라 꽁 머니이 아닌 대량 생산을위한 바카라 꽁 머니과 장비를 만들어야합니다 AIST의 장비는 작은 막만을 생산 했으므로 먼저 지역을 늘리기 위해 바카라 꽁 머니을 개발해야했습니다

또한, 우리는 실온에서 고정화되는 세라믹의 현상이 재현 가능하다는 것을 알았지 만, 왜 이것이 발생하는지 또는 그 특성이 다른 세라믹 막과 어떻게 다른지 밝혀지지 않았다 회사로서, 우리는 막 형성 메커니즘과 AD 방법에 고유 한 특성을 이해하지 않고 실용적인 응용 프로그램을 구현할 수 없습니다 우리는 대량 생산 바카라 꽁 머니을 만들어 Awata 씨에게 원칙을 명확히하도록 요청했습니다

환영내가 현상과 TOTO의 요청을 발견했을 때, 나는 연구 기금 부족에도 불구하고 메커니즘을 명확하게하기 위해 연구를 수행하고 있었고, 미세한 세라믹 입자가 고속으로 기질과 충돌 할 때 결정이 부러 질 때 입자가 활성화되고 강조되며, 세분화가 결합하여 세분화 된 것으로 밝혀졌습니다 영화

기존의 가열 및 응고 방법에서, 원래 세라믹 입자의 표면에있는 원자는 열 확산으로 인해 이동하고, 입자 사이의 간격을 채우기 위해 함께 붙어 큰 결정으로 성장하여 수 μm 이상의 결정 크기를 초래한다 그러나, AD 방법에 의해 생성 된 결정은 일단 분쇄 된 입자가 함께 붙어 있으면 5-500 nm에서 매우 작아진다는 사실을 특징으로한다 결정이 작아서 더 밀도가 높고 강력한 필름이라는 것이 밝혀졌습니다 나중에이 연구는 두 가지 국가 프로젝트에서 수행되었지만 원칙이 완전히 명확 해지는 데 약 5 년이 걸렸습니다

Saeki바카라 꽁 머니 생성 및 제품 생성 제품은 두 가지 다른 것이며 바카라 꽁 머니이 만들어 졌다는 사실은 제품을 만들 수있는 가능성이있는 단계에 있습니다 실제 사용 전 개발 기간 동안, 일단 연구 가이 수준으로 진행되면 다음 단계는 그러한 시험을 수행하는 것이지만, 특히 어려운 것은 균질 한 방식으로 좋은 것을 만드는 방법입니다 광고 방법을 세계에 도입 할 때 어떤 공장이 제조하든 동일한 품질의 제품을 갖는 것이 중요합니다 그렇기 때문에 AD 방법의 메커니즘 과이 바카라 꽁 머니이 가치있는 이유를 명확히해야합니다

환영우리는 원칙, 속성 및 값을 탐구 한 다음 지우고 나서 적용합니다 회사와의 공동 연구를 통해 실질적인 사용으로 이어지는 일련의 프로세스에 대해 배울 수있는 것은 흥미롭고 귀중한 경험이었습니다이 프로세스 내에서 바카라 꽁 머니 개발을위한 벤치 마크를 축적 할 수있었습니다

출구 검색 및 반도체 필드에 도달

환영국가 프로젝트로 진행하려면 상온에서 세라믹 멤브레인을 개발할 수있는 제품의 종류에 대한 출구를 제안해야합니다 처음에 많은 회사들이 저온 프로세스 및 필름 증착 비용 측면에서 경쟁력을 발휘할 수있는 전자 장치의 응용 프로그램을 제안하고 다양한 배출구 제품을 위해 개발했습니다 우리는 또한 "세계 최초"및 "세계 최고 성능"으로 프로토 타입 장치를 성공적으로 개발했지만 프로젝트가 완료된 후 회사는 계속해서 상업화를 고려했으며, 경쟁 제품과 구체적인 비즈니스와 비교하고 고객 가치를 평가하는 데있어 실용적이기가 어려워 졌다는 것이 분명해졌습니다

Kiyohara기본 연구가 상업화되기 전에 "악마의 강"과 "죽음의 계곡"이있을 것이라고한다 바카라 꽁 머니이 개발 되더라도 "품질", "비용"및 "배달"의 QCD를 충족 할 수 없으면 제품이되지 않으며이 장벽을 극복하기가 어려울 것입니다

우리는 원래 화장실에서 사용할 코팅 바카라 꽁 머니을 찾고 있었지만 화장실 및 세척수와 같은 물 제품에 대한 광고 방법을 사용하는 것은 비용이 들지 않았습니다 따라서 적용 할 위치에 대한 효과적인 솔루션을 찾으려면 반도체 필드를 찾았습니다 원래 회사는 세라믹 디비전을 보유하고있는 세라믹 디비전을 보유하고있는 반도체 제조 장비를위한 주요 장치를 처리하고 있으며, 반도체 제조 장비를위한 코팅 바카라 꽁 머니로 상용화함으로써 비즈니스 성공을 거둘 수 있다고 생각했습니다

도자기 인 세라믹은 재료의 구성과 구조에 따라 특성을 바꾸었지만 세라믹 재료를 코팅하는 열 분무 방법은 구조를 제어하는 바카라 꽁 머니이 아니 었습니다 AD 방법은 고품질 필름 품질을 만들기 위해 고급 구조를 제어하는 바카라 꽁 머니이므로 반도체 산업의 트렌드와 일치한다고 생각됩니다

Saeki새로운 것들을 만들고 그들을 이끌어내는 경우, 요구가 먼저 또는 씨앗이 먼저 있는지에 대한 질문이 있지만, 중요한 것은 필요와 씨앗과 일치하는 것이며, 도전은 얼마나 많은 씨앗이 요구 측면과 연결할 수 있는지에 대한 것입니다 따라서 Toto의 Ceramics Division 책임자가되었을 때 바카라 꽁 머니을 사용하여 고객의 문제에 대한 솔루션을 제안하기로 결정했습니다

이 맥락에서, 이에 대한 필요성은 반도체 제조 장비에서 생성 된 먼지의 문제였습니다 반도체 칩은 실리콘 웨이퍼에 형성된 다음 장치 내부에서 생성 된 플라즈마를 사용하여 면도하여 미세 패턴을 만듭니다 그러나 플라즈마는 칩뿐만 아니라 장치의 내부 벽을 절단하여 면도가 발생하여 문제가 발생합니다

반도체 칩의 패턴은 매우 훌륭하므로 생성 된 잔해물이 반도체 칩에 부착되면 더 이상 제품으로 불가능합니다 지금까지 장비의 내부 벽은 세라믹 코팅으로 코팅되어 마모되지 않도록하지만 완벽한 상태는 아니며 장비 제조업체와 미래의 사용자 인 반도체 제조업체는 수율 향상을 위해 닳을 가능성이 적고 쓰레기가 적은 코팅 재료를 찾고있었습니다 따라서 2006 년 에이 목표에 AD 방법을 적용하기 위해 연구 개발이 수행되기 시작했습니다

환영당시에는 정확히 낮은 먼지 생성 성능이 필요한 것이 무엇인지, AD 필름으로 얼마나 많은 결과를 얻을 수 있는지는 명확하지 않았습니다 TOTO는 필요한 사양을 찾기 위해 제조업체와 참을성있게 상호 작용했습니다

Kiyohara실제로, 당시의 반도체 칩 패턴의 너비는 70-80 nm였으며, 그 시점에서 스크래핑은 훨씬 작아서 먼지 생성이 크게 영향을받지 않았습니다 그러나 반도체 바카라 꽁 머니 로드맵에서 패턴은 지난 10 년 동안 1/4 피치로 개선되었으므로 산산이 부서로 인한 생산성 감소가 미래에 심각한 문제가 될 것임이 분명했습니다 따라서 2011 년에 목표를 설정하고 AD 방법을 사용하여 세라믹 멤브레인을 상용화하기로 결정했습니다

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광고 방법의 실제 적용을 향해

Saeki광고 방법은 완전히 새로운 바카라 꽁 머니이므로 고객이 사용하려면이 바카라 꽁 머니의 가치를 명확하게 전달해야합니다 이를 위해서는 값을 정량화하고 정량화하는 것이 필수적이며 AD 방법을 사용하여 대규모 필름 형성 바카라 꽁 머니을 개발하는 것 외에도 제품 기능 평가를위한 바카라 꽁 머니 개발 작업을 수행했습니다

환영Toto는 그것을 yttria^*1라는 자료이지만 yttria를위한 작은 몸을 만들 수있는 바카라 꽁 머니이 있습니다 따라서, 기존 방법을 사용하여 제작 된 필름을 AD 방법을 사용하여 만든 필름과 비교하기 위해, 우리는 현미경을 사용하여이를 확대했으며, 기존의 필름이 모공 (구멍)을 보여 주었을 때, AD 방법은 전혀 모공이 없어서 매우 밀집된 필름이된다는 것이 분명했다

Kiyohara동시에, 우리는 또한 먼지 생성 메커니즘을 조사하여 반도체 제조 장비에 부스러기가 어떻게 나타나는지 알아 보았으며 코팅 재료가 출발점으로 기공에서 떨어지기 시작한 것으로 밝혀졌습니다 이는 구멍이없는 AD 방법 이이 응용 프로그램에 매우 적합하다는 것을 의미합니다 나는 이것이 이전 모델을 이길 것이라고 생각했다

이 방법을 장치 제조업체의 고객에게 제안했을 때, 그들은 놀랐고 "나는 이와 같은 대답이있을 것이라고 상상하지 못했습니다" 이 시점에서 우리는 고객의 장비에 의해 얼마나 많은 먼지가 생성 될지 확신하지 못했지만 평가 데이터를 보여준 후 고객이 측정 할 수 있었으며 측정 결과가 출시되면 개발이 급격히 진행되기 시작했습니다

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다양한 용도를 개발하기위한 동맹 확립

Kiyohara로드맵은 패턴이 2020 년에 7-8nm 피치 일 것이라고 언급했지만 실제로는 진화가 훨씬 더 가속화되고 있습니다 지금부터 낮은 먼지 코팅 재료의 필요성이 증가 할 것이라는 데는 의심의 여지가 없습니다

현재 AIST와의 공동 개발이 종료되었으며, 우리는 향후 요구를 준비하기 위해 광고 방법을 자체적으로 발전시키고 있습니다 그러나 AD 법의 성공을 알게 된 다른 회사들도 새로운 바카라 꽁 머니 개발을 위해 노력하고 있습니다 우리는 또한 미래의 요구를 따라 잡을 때 AIST와 다시 한번 협력 할 것이라고 믿습니다

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향후 공동 개발에 필요한 것

Kiyohara우리 회사는 반도체 사업에서 성공 해 왔으며, 그 직업의 결과로 2017 년 가을에 첫 동료가되었습니다이 시점까지의 성공의 기초는 우리와 Waku의 신뢰였습니다 바카라 꽁 머니 개발이 저에게 관심있는 바카라 꽁 머니적 인 시드를 쉽게 시험해 볼 수있는 것은 매우 중요했습니다 바카라 꽁 머니은 지속적으로 향상되므로 회사는 정보를 따라 잡기 위해 연구원과 지속적으로 의사 소통해야합니다 자신의 구조를 취하고 끊임없이 연마함으로써 새로운 바카라 꽁 머니이 놀라운 지 아닌지 알 수 있습니다

환영나는 씨앗이 얼마나 귀중한 지, 그들이 찾고있는 성능, 그리고 그들이 사용하는 방법 및 가능성을 예측하여 회사와 의사 소통해야한다는 것을 알게되었습니다 또한 Kiyohara와 Saeki와의 개발을 통해이 바카라 꽁 머니을 습득했다고 생각합니다

Kiyohara연구원들이 씨앗을 열뿐만 아니라 씨앗을 사용하는 방법을 제안해야한다고 생각합니다

환영맞습니다 실제로 지난 10 년 동안 우리는 매년 100 회 이상의 협업에 대해 이야기 해 왔지만, 우리가들을 때 출구 및 제품 응용 프로그램에 대한 특정 아이디어를 가진 회사는 많지 않습니다 그러나 무엇을하고 싶은지 상세하게 물어볼 수 있다면 광고 방법이 아닌 경우에도 필요에 적합한 다른 바카라 꽁 머니을 소개 할 수 있습니다 의사 소통을 매끄럽게하기 위해 회사가 출구에 대한 정보를 가져올 수 있다면 기뻐할 것입니다 회사의 출구와 연구원이 함께 종자를 사용하면 문제를 설정하고 실질적으로이를 구현하기위한 계획이 명확해질 것입니다 이 바카라 꽁 머니에 약간 관심이 있으시면 저희에게 연락하십시오 우리는 우리가 목표로하는 출구를 향해 함께 일하고 싶습니다

*1 : yttria 혈장 저항성이 우수한 재료이기 때문에 반도체 제조 장비의 내부 구성원의 코팅으로 사용됩니다 용융 상태에서 반응성이 높은 금속으로부터 세라믹을 보호합니다[참조로 돌아 가기]

고급 코팅 바카라 꽁 머니 연구 센터
센터 디렉터

Awake Jun

Akedo Jun