바카라 커뮤니티 (Nomaguchi ARI 회장) (이하 "AIST"라고 불림) 제작 및 측정 기술 연구 센터 [연구 센터 Sakamoto Mitsuru] 연구원 연구원 Kikunaga Kazuya, 광학 측정 솔루션 팀, Kazufumi, Kazufumi, Kazufumi, Kazufumi, 및 Kamba Kazufumi, 및 Kamba Kazufumi, 및 Kamai Kazufumi, Kakai Kazufumi의 책임 AIST는 진동 및 기타 연구원에 관여했습니다
전자기장정적 전기우리는 탐지 방법을 고안하고 다양한 제한이 존재하는 생산 현장에 유연하게 대응할 수있는 비접촉 정적 전기 측정 기술을 개발했습니다
물체 (하전 재료)가 진동되면 전자기장이 유도됩니다 전자기장에서 유도 된 변화를 측정함으로써, 물체로부터의 바카라 꽁 머니의 양을 측정 할 수있다 이 기술은 (1) 유도 된 전자기장이 모든 방향으로 감지 될 수 있고, (2) 음파를 사용하여 물체를 진동 할 수 있으며 (3) 장치 구성은 간단하고 다양한 환경에 적응할 수 있기 때문에 많은 공간적 제약이있는 생산 현장에 적용될 것으로 예상된다 또한이 기술을 사용하면 음파를 수렴하고 물체 표면을 스캔하여 평면에서 정적 분포를 시각화 할 수 있습니다 사용자가 생산 현장에서도 사람이나 제품과 같은 짧은 시간 안에 바카라 꽁 머니기를 볼 수있는 기술이 될 것으로 예상됩니다
이 기술의 세부 사항은 8 월 30 일 야마가타 대학교에서 열린 응용 물리학 협회의 72 번째 학업 강의에서 발표되었습니다
 |
|
그림 1 폴리이 미드 필름의 바카라 꽁 머니기 분포 측정의 예
수렴 음파가 측정 된 바카라 꽁 머니기에 대한 정보와 함께 적용되는 위치에 대한 정보를 결합하여 가시적
|
바카라 꽁 머니기는 생산 현장의 어느 곳에서나 불규칙적으로 발생하여 전자 장치를 분해, 필름 흡착 및 제품에 먼지 부착과 같은 문제를 일으켜 생산성이 감소합니다 특히, 반도체 생산 현장에서, 바카라 꽁 머니기와 싸우기위한 철저한 조치에도 불구하고, 반도체 회로의 소형화 및 다층으로 인한 고도로 단열 재료의 사용과 장치 바카라 꽁 머니기 방전 저항의 감소로 인해 바카라 꽁 머니기 문제가 더욱 심각해졌다 따라서, 정적 전기 손상을 효율적이고 안정적으로 줄이기 위해, 생산 현장은 고속에서 각 공정 단계 사이에서 생성 된 바카라 꽁 머니기를 측정 할 수있는 기술이 필요했습니다
현장에서 지금까지 바카라 꽁 머니기 측정 기기로 널리 사용되었습니다표면 전기계센서를 측정하기 위해 물체에 가깝게 가져와야한다는 문제가 있었으며 원칙적으로 근처의 충전 된 물체 및 근거와 같은 측정 환경에 취약했습니다 또한 바카라 꽁 머니기 분포를 측정하기 위해 센서를 한 번에 한 지점 씩 이동해야하므로 2 차원 평면에서 바카라 꽁 머니기 분포의 측정 속도를 높이기가 어렵습니다
AIST는 생산 현장에서 불규칙적으로 발생하는 정적 전기를 정량화하고 새로운 바카라 꽁 머니기를 생산 공정으로 공급할 수 있도록합니다
현장 측정 기술를 개발하기 위해 노력하고 있습니다 바카라 꽁 머니기 측정의 어려움은 움직이지 않는 것들을 측정하는 것입니다 이번에는 외부에서 고정식 바카라 꽁 머니기를 진동하여 생성 된 전자기장을 감지하는 새로운 바카라 꽁 머니기 측정 기술을 개발했습니다
이번에는 기술이 개발되면 충전 된 재료는 음향파 등으로 진동합니다
전기장and
자기장전자기장을 생성하도록 유도된다 바카라 꽁 머니기는 안테나를 사용하여 전기장의 변화를 측정하기 위해 측정됩니다 이 기술의 개념적 다이어그램은 그림에 나와 있습니다 전형적으로, 전자기장은 전기장과 자기장이 도체를 통해 흐르는 전류에 의해 시간적으로 그리고 공간적으로 변화하고 서로를 유도 할 때 생성된다 이번에 고안 된 방법에서, 충전 본체는 진동하여 고정 전하 (바카라 꽁 머니기)의 위치를 공간적으로 변화시킨다
AC 전류와 유사한 효과를 만듭니다 전자기장을 유도합니다
 |
그림 2이 기술의 개념적 다이어그램
(1) 충전 된 본체 (전하가있는 물체) (2) 하전 된 재료를 진동하십시오
(3) 물체를 제외하고 고정 전하가 진동합니다
(4) 전하의 진동은 전기장과 자기장의 진동을 유도하여 전자기장을 생성했습니다
(5) 생성 된 전자기장은 안테나로 감지되어 바카라 꽁 머니기 정보로 변환됩니다
|
그림 3과 같이 실험 장치 사용,폴리이 미드필름은 음파로 진동하고 안테나에 의해 감지 된 전기장 강도의 변화가 관찰되었다 하전되지 않은 폴리이 미드 필름에서, 전기장은 소닉 조사에 의해 진동 될 때에도 변하지 않는 반면, 하전 된 폴리이 미드 필름을 진동시킬 때 전기장의 변화가 관찰되었다 (도 4) 이것은 물체의 진동과 전기장의 변화가 주기성과 밀접한 관계가 있으며, 전하 된 물체가 주기적으로 물리적으로 진동 될 때 전자기장이 생성됨을 보여준다
그림 3 : 실험 장비 구성
|
그림 4 전기장 강도의 시간 의존성
|
바카라 꽁 머니기를 측정 할 때는 바카라 꽁 머니기 및 전기 극성 (양성 및 음성)의 양에 대한 정보가 필요합니다 바카라 꽁 머니기를 정량적으로 평가하기 위해, 바카라 꽁 머니기 전위를 측정 할 수있는 표면 전기계가 사용되었다 우리가 하전 된 폴리이 미드 필름의 표면 전위와 전자기장 특성 사이의 관계를 조사했을 때, 검출 된 전자기장 강도는 양성 및 음성 전기 극성에 관계없이 표면 전위에 비례했다 (도 5) 또한, 유도 된 전자기장은이다Phase전기 극성에 따라 매우 다릅니다 (그림 5) 이는 양전자와 음전하가 동일한 방향으로 이동할 때 전류 방향이 역전되므로 전하의 진동에 의해 생성 된 전자기장의 위상이 다르기 때문입니다 이러한 방식으로, 이번에 개발 된 기술은 전자기장의 강도와 단계에 따라 바카라 꽁 머니기 및 전기 극성의 양을 측정 할 수 있습니다 이 기술은 모든 방향으로 360 도의 진동 부분의 바카라 꽁 머니기 전기의 양에 비례하여 전자기장을 감지 할 수 있으므로 주변 전기 환경이나 공간적 제약에 영향을받지 않습니다
음파가 수렴되어 좁은 부분 만 진동하면 해당 부분의 바카라 꽁 머니기 만 측정 할 수 있습니다 음파가 적용되는 영역을 스캔함으로써 바카라 꽁 머니기의 2 차원 분포를 측정 할 수 있습니다 또한, 수렴 된 음파의 조사 위치는 전기적으로 제어 될 수 있기 때문에 스캐닝 속도를 증가 시키면 평면에서 바카라 꽁 머니기 분포의 측정 속도를 높일 수 있습니다
 |
|
그림 5 전자기장과 바카라 꽁 머니기의 관계
이 관계에서 전자기장을 측정하여 바카라 꽁 머니기에 대한 정보를 얻을 수 있습니다
|
앞으로, 우리는 많은 공간적 제약이있는 생산 현장에서 사용할 수있는 정적 전기 센서를 개발할 것입니다 또한, 우리는 수렴 음파를 고속으로 스캔하고 짧은 시간 내에 바카라 꽁 머니기 분포를 시각화하는 시스템을 개발할 수있는 초 방향 음향 시스템을 개발할 계획입니다
독립 행정 기관, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소
연구원, 광학 측정 솔루션 팀, 생산 및 측정 기술 연구 센터
Kikunaga Kazuya 이메일 :
광학 측정 솔루션 팀, 생산 및 측정 기술 연구 센터 연구팀 책임자
Nonaka Kazuhiro 이메일 :