National Research and Instit분석 측정 표준 연구 부서방사선 이미징 측정 연구 그룹 Shibuya Tatsunori Special Research Fellow, Tanaka Masato, Ogawa Hiroshi, 최고 리서치 연구원, 고급 코 히어 런트 광학 프로세스 팀, AIST 및 University, Advanced Operand 측정 혁신 측정, 고급 오페란트 기술, Kurao는 Kurao의 래스 웨이, 고급 오페라 측정 기술, 고급 오페란트 측정 기술자 타카 하시 타카시, 도쿄 대학 (도쿄 대학교 공학 대학원) (Gogami Makoto 회장) (이하 고마미 마코토 (Gogami Makoto)) (이하 "도쿄 대학교 (University of Tokyo)", Sakagami Kazuyuki, Quantum Science Center, Kobayashi University, Kobayashiati of Quotal Research, Quotal Properties of Quotal Properties of theeducties research, Quantum Science Center, Sakagami Kazuyuki, Sakagami Kazuyuki, Sakagami Kazuyuki, Sakagami Kazuyuki, Sakagami Kazuyuki 연구원 Kaoru) (이하 "Waseda University"라고 함), 과학 및 공학부 Washio Kamakazu 교수는 SACLA 기반 실험 그룹 인 National Research and Development Corporation, National Research and Development Corporation에서 공동으로 합류했습니다 국립 양자 과학 및 기술 연구 개발 연구소 [Hirano Toshio의 의장] Nishikino Masamoto, Quantum Beam Science Research Division 및 Utsunomiya University, National University Corporation [Ishida Tomoyasu의 위원장, Higashiguchi Takeshi 교수 등, 기타Extreme UV펨토초 카지노 바카라저는 합성 석영에 대한 열 영향이 거의없는 카지노 바카라저 처리를 달성했습니다
짧은 펄스와 짧은 파장 카지노 바카라저를 사용하여 차세대 카지노 바카라저 가공에서 처리 메커니즘이 설명되고 처리 특성이 이해되어 열 영향이 줄어 듭니다비열 처리를 실현하는 것이 중요합니다 이번에는 합성 석영은 극도의 자외선 펨토초 카지노 바카라저를 사용하여 가공되었으며 중요한 가공 특성입니다유효 흡수 길이ya손상 임계 값결정프레임 형태노출된 유리 재료에 대한 카지노 바카라저 처리 메커니즘의 설명과 최적의 조건을 찾는 데 기여할 것으로 예상됩니다 이 성과에 대한 자세한 내용은 American Physics Association에서 발행 한 Academic Journal을 참조하십시오응용 물리학 편지에 온라인 게시 2018 년 10 월 22 일 (동부 미국 시간)
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| 극한 자외선 펨토초 카지노 바카라저를 사용한 합성 석영의 열 영향 평가 및 처리 개념 다이어그램 |
현재, 재료 가공은 자외선에서 원거리 적외선 영역에서 다양한 파장의 카지노 바카라저를 사용하여 수행됩니다 최근에는 디지털 제어의 용이성으로 인해 향후 생산 현장에서 인적 자원 및 기술 부족을 보상 할 수있었습니다사회50Society이러한 노력 중 하나는 카지노 바카라저 파장을 단축하는 것이며, 120 nm 이하의 극한 자외선 영역에서 카지노 바카라저 광에 대한 산업용 유용성 검증이 수행되고 있습니다 또한, 열 영향이 거의없는 가공을 실현하기 위해서는 열 영향 메커니즘을 명확히하고 열 영향의 변화를 관찰하는 것이 중요하지만, 극한 자외선 카지노 바카라저를 사용한 재료 처리의 특성은 최근에 재료 손상 임계 값의 가장 근본적인 문제를 평가하기 시작했습니다
반면에, 유리는 소규모 전자 장치의 차세대 전자 회로 보드로 주목을 끌고 있으며, 유리에 대한 고밀도 미세 구멍 드릴링은 높은 수요이지만, 이전 카지노 바카라저 프로세싱 기술은 Laser 사이의 경계에서 림화 된 구조의 형성과 비교하여 비 경색과 같이 처리 품질에 문제가있었습니다
새로운 에너지 및 산업 기술 개발 조직 (NEDO) 프로젝트, "고려 및 고효율 차세대 카지노 바카라저 기술의 개발"(2016-2020)은 고급 제품의 생산에 적합한 고급 고급 프로세스 및 고품질 처리 기술의 연구 및 개발을 수행하고 있습니다 이 프로젝트에서는 광원 기술, 가공 프로세스 기술, 처리 시스템 기술, 시뮬카지노 바카라션 기술, 감지 및 평가 기술의 체계적인 개발이 산업계 학술 정부 협력에 따라 진행 중입니다
AIST는이 프로젝트에서 도쿄 대학교 및 Waseda University와 협력하여 산업 요구에있어서 고도로 산업적 요구에있어서 고도의 카지노 바카라저를 활용하고 카지노 바카라저 가공 현상을 분명히하기 위해 산업 요구에 높은 재료 및 처리 내용을위한 카지노 바카라저 처리 기술 및 분석 평가 기술을 개발하고 있으며, 물질의 특성을 분명히하기 위해 노력하고 있습니다 이 프로젝트의 일환으로, 우리는 유리 재료의 가공 메커니즘을 이해하기 위해 극한 자외선 카지노 바카라저를 사용하여 합성 석영 처리 작업을 수행했습니다
Extreme Ultraviolet 카지노 바카라저의 조사가 설치되어 있습니다X-ray 프리 전자 카지노 바카라저Facility Sacla Utilization Experiment Group (상태 번호 2017b8004, 2018a8024)의 협력과 함께 Sacla Soft X-Ray Laser (SXFEL) BEAMLINE BL1이 수행되었습니다 또한, 시편의 단면 관찰 실험은 AIST 나노 프로세싱 시설에서 수행되었다
파장 범위에서 통상적으로 사용되는 카지노 바카라저가 유리에 구멍을 드릴링하는 데 사용되면 림 구조의 생성과 같은 열 효과 (처리 된 가장자리에서의 구조)와 같은 열 효과를 제거하기가 어렵습니다 특히, 기본 유리 재료 중 하나 인 합성 석영의 가공에서 펨토초 카지노 바카라저 가공에서의 균열의 영향은 처리 품질에 큰 영향을 미친다는 것이 밝혀졌다 이번에는 극한의 자외선 펨토초 카지노 바카라저를 사용하여 열 손상이 적은 카지노 바카라저 가공을 생성한다는 아이디어에 영감을 주었으며, 합성 석영을 사용한 가공 실험 및 처리 특성의 평가를 수행하기로 결정했습니다
이번에는 합성 석영을 기존의 근적외선 펨토초 카지노 바카라저 (파장 : 800nm, 약 70 펨토초) 및 Sacla의 극한 초박형 펨토초 카지노 바카라저 (파장 : 135 Nm, 펄스 width : 대략 70 펨토초)를 사용하여 처리되었습니다 손상 임계 값 및 가공 형태와 같은 가공 특성은 주사 이온 현미경 및 카지노 바카라저 현미경을 사용한 관찰을 사용하여 평가되었습니다 근적외선 펨토초 카지노 바카라저 손상 임계 값은 38 x 103MJ/CM2(그림 1으로 표시) 한편, 샘플이 다른 조사 에너지를 갖는 극한 자외선 펨토초 카지노 바카라저의 단일 펄스로 조사되었을 때, 조사 에너지와 처리 된 영역 사이의 관계로 인해 손상 임계 값은 017 × 103MJ/CM2입니다 (그림 1 ● 표시)
그림 2는 합성 석영의 손상 임계 값의 카지노 바카라저 파장 의존성과 지금까지보고 된 결과 및 근적외선 펨토초 카지노 바카라저 처리에 대한 현재 실험 결과를 보여줍니다 (그림 2의 오른쪽에 서명) 그림 2의 점선 타원선에 표시된 ●, ◆, ■ 및 ▲는 지금까지보고 된 근적외선 영역의 펨토초 카지노 바카라저로 인한 손상 임계 값이며, 근적외선 쇄에 대한 결과와 크게 다르지 않습니다 (그림 2의 오른쪽) 한편, 극단적 인 자외선 펨토초 카지노 바카라저 처리의 손상 임계 값 (그림 2 ★에 의해 스탬핑)은 현재 근적외선 결과 및 이전의 극한 자외선 나노 세제 카지노 바카라저 처리와 비교하여 약 1/20이었다 (그림 2 □에 의해 스탬프) 또한, 절단 속도, 즉 처리 효율에 큰 영향을 미치는 특성 값 인 효과적인 흡수 길이는 58 nm로 계산되었으며, 이는 이전의 극한 자외선 나노 초 카지노 바카라저에 비해 대략 25 배 증가한 것으로 계산되었습니다 (표 1) 따라서, 극한 자외선을 갖는 펨토초 카지노 바카라저는 이전 카지노 바카라저 조사에 비해 처리 성능이 매우 높다는 것이 밝혀졌다
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| 그림 1 극한의 자외선 펨토초 카지노 바카라저 (● 마크) 및 근적외선 펨토초 카지노 바카라저 (△ mark)의 손상 임계 값 측정 |
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| 그림 2 펨토초 카지노 바카라저 파장과 손상 임계 값의 관계 |
| 표 1 광원을 사용한 처리 특성 값 비교 |
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다음으로, 가공 형태를 평가하기 위해, 극한의 자외선 펨토초 카지노 바카라저와의 다중 펄스 조사를 사용하여 깊은 가공 처리를 수행하고, 형성된 분화구의 표면이 관찰되었고, 공정으로 인해 균열이 관찰되지 않았다 그림의 왼쪽은 처리 후 주사 이온 현미경을 사용한 단면 관찰 이미지를 보여 주며, 그림의 오른쪽은 일반적인 열 효과의 존재 또는 부재로 인해 카지노 바카라저 처리 된 가장자리의 단면 차이를 보여줍니다 그림의 밝은 회색 부분 3은 주사 이온 현미경을 사용하여 단면 관찰을위한 코팅 재료를 보여준다 극단적 인 자외선 펨토초 카지노 바카라저 처리 후 가공 된 단면 현미경 이미지에서, 카지노 바카라저 조사에 의해 용해 된 열이 관찰되지 않았을 때 흔히 볼 수있는 림 구조는 관찰되지 않았다 또한, 우리가 카지노 바카라저 현미경을 사용하여 재료의 상부 표면에서 극한 자외선 펨토초 카지노 바카라저의 조사 표시 (부분)를 관찰했을 때, 극한의 자외선 광선으로 균열이없는 처리를 수행 할 수있었습니다 (그림 4) 이러한 방식으로, 매우 자외선 펨토초 카지노 바카라저를 사용하면 열 효과가 매우 적은 카지노 바카라저 가공을 허용하고 지금까지보고 된 합성 석영 처리 중 최고 품질의 분화구 처리를 제공합니다
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그림 3 처리 후 스캐닝 이온 현미경을 이용한 단면 관찰 (왼쪽) 및 가공 가장자리 (오른쪽)의 단면에 대한 열 영향의 개념적 다이어그램
가공 마크는 주사 이온 현미경을 사용하여 단면 관찰을 위해 코팅됩니다 |
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| 그림 4 미세한 이미지 극한의 자외선 카지노 바카라저 (왼쪽)와 근적외선 펨토초 카지노 바카라저 (오른쪽)의 조사 표시 (부분)가 카지노 바카라저 현미경을 사용하여 재료의 상단 표면에서 관찰됩니다 |
앞으로, 우리는 SACLA 및 조사 레저 파장의 다른 공급원을 사용하여 극한의 자외선 영역에 가까운 파장의 손상 임계 값과 같은 파장의 손상 임계 값과 같은 방사선 카지노 바카라저 파장의 의존성에 대한 상세한 검사를 수행 할 것입니다 NEDO 프로젝트를위한 협업 영역 또한이 회사는 합성 석영을 포함한 유리 재료의 펨토초 카지노 바카라저 가공 메커니즘을 개발하고 산업 요구를 충족시키는 최적의 처리를 달성하는 것을 목표로합니다