게시 및 게시 날짜 : 2019/02/02

고속 및 높은 정확도로 넓은 면적 실시간 바카라 사이트의 다양한 결함 구조를 시각화하는 기술

-Lock-in 적외선 열 생성 분석 방법을 사용한 2 차원 층 재료에 대한 새로운 평가 기술-

포인트

  • 넓은 면적과 고해상도를 가진 실시간 바카라 사이트 필름의 다양한 국소 결함을 시각화하는 기술을 개발했습니다
  • 잠금 열 생성 분석 방법은 나노 스케일 결함을 식별 할 수 있으며, 이는 전기 특성의 악화를 유발하는 요인
  • 고속, 고정밀 평가 도구로서 실시간 바카라 사이트과 같은 2 차원 재료의 연구 및 개발에 기여하기를 기대합니다

요약

국가 선진 산업 과학 및 기술 연구소 [Nakabachi Ryoji 의장] (이하 "AIST"라고 불림) Nanotube 실제 연구 센터 [Hata Kenji 의장 Hata Kenji] CNT 평가 팀 Nakajima Hideaki Special Research Fellow, Morimoto Takahiro, and and and and and and and Okahiro, and aist, aist, aist, aist, aist, aist, aist, aist, aist, morimoto and and and and and and and aist fellow, morimoto 준회원 연구 센터 등은 국가 연구 및 개발 기관 [이시즈카 히로 아키 의장] (이하 "Nedo")프로젝트, aistNanomaterials Research Division[연구 부서 책임자 사사키 테이크 (Sasaki Takeshi)] 야마다 타카 하시사 (Yamada Takahisa), 카본 기반의 박막 연구 그룹, 오키카와 유우키 (Kyushu University)의 수석 연구원 [Kubo Chiharu 회장] 글로벌 혁신 센터 [이하 Nakajima hiroshi의 회장] (Kyudai gic gic gic in the new gic gic) 히로키 및 기타, 우리는 고효율로 약한 신호를 감지 할 수있는 잠금 제외 열 분석 방법을 사용합니다실시간 바카라 사이트다양한 멤브레인의 벌금결함 구조고속과 높은 정확도로

실시간 바카라 사이트이 최근 몇 년 동안 다양한 필드에서 사용될 것으로 예상화학 증기 증착 (CVD) 방법를 사용하여 더 큰 영역이 개발되고 있습니다 그러나, CVD 방법에 의해 합성 된 실시간 바카라 사이트은 일반적으로 다양한 결함 구조를 가지고 있으며, 이는 전기 특성이 크게 감소된다는 문제를 일으킨다 이 기술은 전압이 적용될 때 개발 및 생성됩니다Jule Fever| 탄소 탄소 결합 파괴와 같은 원자 수준의 구조적 교란으로 구성된 실시간 바카라 사이트을 효율적으로 감지하고 전기 특성을 감소시키는 성분입자 경계 (도메인 경계 : DB)와 같은 미세한 결함조차도 이제 몇 분 안에 식별 할 수 있습니다 대규모 지역 실시간 바카라 사이트에 존재하는 작은 결함을 신속하게 시각화하는 평가 도구로서 미래의 연구 개발에 기여할 것으로 예상됩니다

이 결과는 2019 년 2 월 1 일 (Eastern Standard Time)에 있음을 주목하십시오과학 발전

요약 다이어그램
잠금 제외 열 분석 방법을 사용한 실시간 바카라 사이트 결함 구조 구조 영상의 개념 다이어그램

개발의 사회적 배경

6 개의 탄소 원자와 6 개의 탄소 원자 (탄소 결합 거리 : 0142 나노 미터)로 구성된 6 원 고리의 두께가있는 2 차원 필름 실시간 바카라 사이트 (짧은 다이어그램)은 가장 작은 단위이며, 가장 작은 특성 (전기적 전도성), 기계적 전도성, 기계적 전도성, 기계적 전도성, 기계적 전도도, 기계적 전도성을 나타내는 많은 탄소 재료로 연구되고 있습니다 최근 몇 년 동안 CVD 방법에 의해 넓은 영역의 필름 형성이 가능해졌으며, 터치 패널 및 태양 전지와 같은 장치에 대한 실제 적용에 대한 연구가 빠르게 진행되고 있습니다 그러나 CVD 방법을 사용하여 필름 형성이있을 때, 눈물, 주름 및 입자 경계와 같은 다양한 결함 구조가 형성되어 실시간 바카라 사이트의 전기 전도도가 크게 감소하고 결함 구조의 평가는 실시간 바카라 사이트의 품질 및 성능을 향상시키는 데 관련된 주요 기술적 문제가되었습니다 지금까지, 대부분스캐닝 터널 현미경 (STM)를 사용하여 평가되었지만, 스캔 할 시야는 약 나노 미터에서 마이크로 미터의 좁은 범위로 제한되며, 대 지역 필름에 대한 평가 방법은 주요 과제였습니다

연구 기록

나노 튜브 실용 응용 프로그램에 대한 AITO 연구 센터Carbon Nanotube (CNT)산업 창출을 목표로, 우리는 CNT의 질량 합성, 구조적 분리, 기능성 복합 재료의 제조 및 안전 평가와 같은 기본 기술을 개발했습니다 (무료 바카라 : 슈퍼 성장 단일 벽 탄소 나노 튜브의 생분해,AIST : 탄소 산화탄소 나노) 이 중에서, 우리는 CNT를 포함한 나노 물질에 대한 평가 기술 개발을 위해 노력하고 있습니다 한편 AIST의 나노 물질 연구 부서와 Kyushu University GIC는 넓은 면적 CVD 실시간 바카라 사이트의 합성을 위해 노력하고 있습니다번역, 장치 변환과 관련된 기술을 개발하고 있습니다 고품질 및 성능을 위해 실시간 바카라 사이트을 준비하는 조건을 탐구하면서 예기치 않은 성능 저하 및 품질의 불균일과 같은 문제가 등장했으며 이러한 요소를 확인할 수있는 평가 기술이 필요해졌습니다

이번에는 우리는 지금까지 축적 한 기술을 사용하여 대규모 지역 실시간 바카라 사이트에 대한 실제 평가 방법을 연구하고 개발하기 위해 협력했습니다

연구 컨텐츠

이번에 개발 된 시스템에서사이클 전압| 실시간 바카라 사이트에 적용되고 실시간 바카라 사이트으로부터 생성 된 열 방사선은 적외선 카메라로 촬영하여 열 발생의 분포를 공간적으로 이미지화한다 (도 1 (a)) 전통적인Thermography11169_11387 |이 시스템에서는이 시스템에서,이 시스템에서는 적용된 전압의 빈도와 지속적으로 촬영하고 정기적 인 간격으로 이미지를 캡처하며 잠금 감지에 기초한 검출 방법을 기반으로 한 검출 방법을 기반으로 한 계산 및 참조 신호를 기반으로합니다 (그림 1 (b)) 이 공정은 기판지지 실시간 바카라 사이트의 열 저장 성분 (DC)을 제거하고, 전압에 의해 실시간 바카라 사이트으로부터 생성 된 Joule 열 성분 (AC)만이 고효율과 고속을 갖는 열 생성 이미지로 이미지화 될 수있다

그림 1 (c)는 CVD를 사용하여 형성되었습니다실시간 바카라 사이트 단층로 개발 된 시스템을 취함으로써 얻은 열 생성 이미지입니다 샘플은 다수의 실시간 바카라 사이트 결정 (짧은 다이어그램)으로 구성되었고, 곡물 경계 (도메인 경계 : DB)에서 강한 선형 열 생성이 관찰되었으며, 이는 결정 (도메인 경계 : db) (DB1 및 DB2) 사이의 경계이다 열 발생이 거의 없었던 입자 경계가있었습니다 (DB3) 이 이미지는 실시간 바카라 사이트을 통해 흐르는 전류가 입자 경계를 통과 할 때 전기 저항의 국부적 증가에 의해 생성 된 줄의 차이로 명확하게 이미지화 될 수 있음을 보여준다 (도 1 (d)) 또한,이 기술을 통해 밀리미터 크기의 실시간 바카라 사이트을 약 10 분 안에 측정 할 수있어서 대규모 샘플에 매우 유용한 평가 방법입니다

그림 1
그림 1 잠금 장치 열 발생 분석 방법을 사용한 큰 영역의 열 발생 CVD 실시간 바카라 사이트 필름
(a), (b) 이번에 개발 된 측정 시스템, (c) (c) 잠금 제외 열 생성 분석 방법을 사용한 열 생성 이미지 및 (d) 입자 경계에서 발생하는 Joule 열 생성의 개략도
 

그림 2 (a)는 여러 입자 경계와라만 분광법로 얻은 실시간 바카라 사이트의 결정도 사이의 관계를 보여줍니다 또한,도 2 (b)-(e)는 관찰 된 입자 경계 위치의 구조적 특징을 보여준다 실시간 바카라 사이트 결정이 고도로 결정 성 및 원활하게 연결된 경우 (도 2 (b))에서, 결정 내부와 입자 경계 사이의 전기 저항의 차이가 있기 때문에 Joule 열은 거의 관찰되지 않습니다 한편, 6 원 고리 구조 인 기본 실시간 바카라 사이트 단위에서 탄소-탄소 결합 (서브 나노 미터 크기)의 절단원자 스케일 결함연속적이며 (6 원 링 사이의 연결이 파손되는 경우) 겹치는 겹침 (6 원 링이 서로 위아래로 겹치는 곳)은 함께 묶여있는 상태 (6 원 고리가 서로 위아래로 겹치는 상태), 강한 joule 열이 관찰되어 그 너비에서 발생하는 전기 저항의 국소 증가를 반영합니다 기본 6 원 링 구조가 무너지고 5 원 링 또는 7 원 링이되는 구조물에서 교란으로 여겨지는 원자 규모의 결함 구조를 감지 할 수 있었으며 (그림 2 (e)) 미세한 결함의 효과도 평가 될 수 있음이 밝혀졌습니다 입자 경계 외에도, 눈물 및 주름과 같은 실시간 바카라 사이트 필름의 다양한 결함 구조도 시각화 할 수있었습니다

그림 2
그림 2 : 입자 경계에서 열 발생 강도와 결정 성 사이의 관계
 

이 시간에 개발 된 잠금 제외 열 발생 분석 방법은 원자 규모 결함을 평가하는 데 사용 된 STM과 같은 프로브를 사용하여 국소 나노 미터에서 마이크로 미터에서 실시간 바카라 사이트 품질 평가를 10 밀리미터 이상의 광범위한 시야로 사용할 수 있습니다 (그림 3) 또한 전통적인 열 화과Terahertz 시간 도메인 분광법와 같은 방법을 사용하기가 본질적으로 사용하기 어려운 미세한 나노 스케일 구조는 이제 몇 분만에 단기간에 이미지화되고 평가 될 수 있습니다 이 결과는 고품질과 성능이 필요한 CVD 실시간 바카라 사이트의 성능을 평가하는 데 유용하며 대기업 장치의 응용 분야에 상당한 기여를 할 것으로 예상됩니다

그림 3
그림 3이 평가 기술의 기존 측정 방법 (문헌 값 비교)
 

미래 계획

앞으로,이 성과를 바탕으로, 우리는 품질 평가를 통해 CVD 실시간 바카라 사이트의 개선에 기여할 것이며, 또한 최근 몇 년 동안 가벼운 방출 장치로 관심을 끌고있는 2 차원 시트의 한 유형이 될 것입니다전이 금속 Dichalcogenide와 같은 다양한 재료 시스템에 대한 응용 프로그램에 대해 노력할 것입니다


터미널 설명

◆ Project
이것은 NEDO 프로젝트, "저탄소 사회 (2010-2016)를 실현하기위한 나노 카본 재료의 실제 적용을위한 프로젝트"를 말하며 계약 된 프로젝트 구현자는 기술 연구 협회의 단일 레이어 CNT Fusion Research and Develop Agency (TASC)를 포함합니다 TASC의 일원으로서 AIST는 배포, 평가 및 안전과 같은 기본 기술의 개발에 기여했습니다[참조로 돌아 가기]
◆ 실시간 바카라 사이트
탄소 원자로만 구성된 2 차원 시트와 유사한 나노 카본 재료 두께는 하나의 탄소에 해당하고 평면에서는 탄소 원자가 벌집 격자와 같은 (6 원 링 네트워크)에 배열되는 구조를 갖는다 매우 높은 캐리어 이동성 (전기 특성), 열 전도도, 기계적 강도 및 화학적 안정성을 포함하여 다양한 탁월한 특성을 나타내며 다양한 필드에 적용될 것으로 예상됩니다[참조로 돌아 가기]
◆ 결함 구조
실시간 바카라 사이트에서, 결함을 6 개 원래 링 네트워크 구조의 변형, 탄소 원자의 결함 및 다른 요소로 대체하는 것으로 언급된다 위에서 언급 한 결함 이외에, CVD 방법에 의해 형성된 실시간 바카라 사이트은 필름 형성 또는 전달 중 필름 눈물, 주름 및 불연속 입자 경계와 같은 많은 결함 구조를 형성하여 성능 저하에 관심이있다[참조로 돌아 가기]
◆ 화학 증기 증착 (CVD) 방법
화학 증기 증착 방법으로도 알려져 있습니다 원료가 가스화 된 경우 기질 표면의 화학 반응에 의해 표적 물질이 얻어지는 제조 방법 넓은 지역 필름 형성은 비교적 쉽게 생성 될 수 있습니다 CVD는화학 증기 증착에 대한 약어[참조로 돌아 가기]
◆ Jule Fever
전류로 인해 도체에서 발생하는 열량 생성 된 열량 p (와트 w)는 전류 값 i (Ampere a) 및 저항 값 r (ohm Ω)을 사용하여 p = i2x로 대표[참조로 돌아 가기]
◆ 입자 경계 (도메인 경계 : DB)
결정이 서로 연결될 때 발생하는 경계 CVD 방법에 의한 실시간 바카라 사이트 증착은 많은 실시간 바카라 사이트 결정의 조립이기 때문에, 서브 나노 미터의 불연속 입자 경계는 많은 연속 선형 결함 구조를 포함한다 DB는도메인 경계에 대한 약어 [참조로 돌아 가기]
◆ 스캐닝 터널 현미경 (STM)
프로브 프로브를 전도성 샘플의 표면에 가깝게 가져 와서 프로브와 샘플 사이에 생성 된 터널 전류를 감지함으로써 표면의 구조 및 전자 상태를 측정하는 방법 STM은스캐닝 터널링 현미경[참조로 돌아 가기]
◆ 탄소 나노 튜브 (CNT)
직경이 04 내지 50 nm 인 1 차원 관형 나노 카본 재료, 탄소 원자로 만 구성됩니다[참조로 돌아 가기]
◆ 전송
실시간 바카라 사이트은 일반적으로 구리와 같은 금속 포일의 촉매를 사용하여 합성되기 때문에, 실시간 바카라 사이트이 금속 호일에서 먼저 벗겨지고 특성화 및 장치 적용에 실리콘과 같은 기판으로 전달되는 전달 공정[참조로 돌아 가기]
◆ 사이클 전압
이것은 주어진 타이밍에서 켜지거나 꺼지도록 제어되는 직사각형 전압 파형을 나타냅니다 (그림 1 (b) 참조) 이번에는 폭이 20ms 인 직사각형 전압이 25Hz 주파수에서 구동되었습니다[참조로 돌아 가기]
◆ Thermography
적외선 카메라가있는 샘플에서 열 방사선을 감지하여 열 분포를 이미지화하는 측정 방법 실시간 바카라 사이트에 대한 이전의 연구는 실시간 바카라 사이트으로부터의 열이 기초 기판으로 수행되어 열 생성 지점이 퍼져 이미 이미징 이미지의 해상도를 감소 시킨다는 것을 보여 주었다[참조로 돌아 가기]
◆ 실시간 바카라 사이트 단층
최근 몇 년 동안, 기술은 실시간 바카라 사이트 층의 수를 제어하기 위해 진보되었으며, 이중층 실시간 바카라 사이트 및 몇 층 실시간 바카라 사이트과 같은 필름 형성이 가능해 졌으므로, 하나의 층으로부터 형성된 필름은 종종 단일 층 실시간 바카라 사이트이라고 불립니다[참조로 돌아 가기]
◆ 라만 분광법
광 조사에 의해 샘플에서 산란 된 라만 산란 된 광을 분광기 및 측정하는 기술 여기서, 결정도는 흑연-유래 G 밴드와 결함 수준-유래 D 밴드 사이의 강도 비율 (D/G 비)에 기초하여 평가되었다[참조로 돌아 가기]
◆ 원자 스케일 결함
예를 들어, 5 원 고리와 7 원 고리가 함께 줄 지어있는 선형 결함 구조가 실시간 바카라 사이트의 입자 경계에서 관찰됩니다 이러한 결함은 하위 나노 미터 순서에서 원자 수준 크기를 갖는다[참조로 돌아 가기]
◆ Terahertz 시간 도메인 분광법
샘플이 약 01 내지 10 thz의 주파수 범위에서 펄스 파로 조사되는 측정 방법이며, 투과 된 펄스 파형은 샘플의 물리적/화학적 특성을 평가하기 위해 시간 분해 방식으로 측정된다 공간 이미징은 스캐닝에 의해 측정 될 수 있지만, 이미지의 선명도는 Terahertz 웨이브의 파장 (약 millimeters)으로 제한됩니다[Return to reference]
◆ 전이 금속 디칼 코게 나이드
금속 요소 (전이 금속) 및 그룹 16 요소 (chalcogenides)가주기적인 요소 표에서 그룹 11 요소에 결합되는 층상 물질 최근에는 2 차원 시트 (단일 계층 시트)를 변환 할 수있게되었습니다 실시간 바카라 사이트과는 달리, 조성에 따라 밴드 갭이있는 반도체이기 때문에 가벼운 방출 장치 재료로서의 관심을 끌고 있습니다[참조로 돌아 가기]

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