도쿄 대학교, 새로운 지역 제작 과학 대학원, 자재 혁신 연구 센터, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소, 바카라 커뮤니티 및 대학교, 고급 피연산자 측정 기술을위한 오픈 혁신 연구소 (참고 1), 일본 재료 및 재료 연구 연구소 (WPI-MANA) 국제 센터 (WPI-MANA)는 채널 길이 (참고 2) 새로운 미세 가공 방법이 1 마이크로 미터 규모로 개발되었습니다 결과적으로 10cm2/vs 높은 이동성 (참고 38684_8757Note 4)가 달성되었습니다 또한,이 바카라 커뮤니티 트랜지스터는 AC 신호를 DC 신호로 변환하는 (Note 5)를 가지고 있으며, 100MHz에서도 정류가 손실되지 않는다는 것을 보여주었습니다 최근 몇 년 동안 바카라 커뮤니티농 트랜지스터가 전 세계적으로 가속화되었으며 연구 그룹은 매우 짧은 웨이브 밴드가 있다고 발표했습니다 (참고 6)로 작동 할 수있는 바카라 커뮤니티 트랜지스터를 개발 한 것은 세계에서 처음이었습니다
이 연구 결과는 독일 과학 저널 "고급 기능 재료 "는 2020 년 2 월 5 일에 등장 할 것입니다이 연구는 일본 과학 홍보 협회 (JSPS)의 제휴 과학 연구에 대한 일본 과학 홍보 보조금의 일본 보조금,"단일 결정 바카라 커뮤니티 반도체 및 유연한 기계식의 전자적 전도도의 진정한 스트레스 변형 효과 및 유연성 메노 니트 론, ",", ",", ",", ",", ",", ",", ",", ",", ",", ",", ",", ","및 "유전자 싱글 전자법," 반도체 "(주요 연구원 : Takeya Junichi)
[이전 연구의 연구 배경/문제]
바카라 커뮤니티 반도체는 바카라 커뮤니티 용매에 용해 된 잉크의 인쇄 프로세스를 사용하여 유연한 장치를 생성하는 데 사용할 수 있기 때문에 차세대 반도체 재료 일 것으로 예상됩니다 이 연구 그룹은 이전에 넓은 면적 (J Takeya,et al, Science Advances 2018 http : //wwwku-tokyoacjp/info/entry/22_entry625/,과학 보고서 2019 http : //wwwku-tokyoacjp/info/entry/22_entry777/) 이러한 고품질 바카라 커뮤니티농 단결정 박막의 경우 10cm2/vs 이상의 높은 이동성을 달성했으며 바카라 커뮤니티 트랜지스터의 속도를 높이는 데 매우 유망했습니다
반도체 통합 장치의 응답 주파수는 로직 작업 및 해당 채널 길이를 담당하는 트랜지스터의 이동성에 따라 다릅니다 미세 가축성 방법으로서, Photoresist를 사용한 리소그래피 (Note 7)는 널리 사용되지만 많은 포토리스트는 바카라 커뮤니티 반도체 박막을 손상시키는 것으로 알려져있어 리소그래피를 사용하여 높은 이동성과 짧은 채널화를 달성하기가 어렵습니다
[연구 내용]
이번에는이 그룹은 바카라 커뮤니티 반도체 단결정의 박막에 플루오린 기반 중합체 필름을 얇게 코팅하여 바카라 커뮤니티 반도체에 대한 새로운 손상이없는 리소그래피 방법을 개발하여 한 마이크로 미터 규모에서 미세 손상을 달성합니다 (그림 1) 10 cm2/vs 및 단축 채널의 높은 이동성을 동시에 달성함으로써, 연구 그룹은 이전에 보유한 컷오프 주파수에 대한 세계 기록을 깨뜨려 세계에서 가장 빠른 38MHz를 달성했습니다 한편, 우리는 AC 신호를 DC 신호로 변환하는이 바카라 커뮤니티 트랜지스터의 정류 특성을 조사하고 100 MHz에서도 정류 특성이 손실되지 않음을 입증했습니다 (그림 2)
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| 그림 1 (a) 손상이없는 리소그래피 기술 바카라 커뮤니티 반도체 바로 위에 플루오 폴리머 코팅을 적용함으로써, 포토 레지스트에 의한 손상을 최소화 할 수있다 (b) (c) 제조 된 바카라 커뮤니티 트랜지스터의 개략도 및 미세한 이미지 |
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| 그림 2 : 제조 된 바카라 커뮤니티 트랜지스터의 반응 특성 (a) 입력 전류에 대한 출력 전류의 증폭 계수의 주파수 의존성 증폭 계수가 더 이상 얻어지지 않는 주파수는 컷오프 주파수로 정의됩니다 (b) 입력 전압 신호 및 출력 전압 신호 100MHz AC 입력 신호는 DC 출력 신호로 변환 될 수 있습니다 |
[사회적 중요성]
최근 몇 년 동안 바카라 커뮤니티농 트랜지스터가 전 세계적으로 가속화함에 따라, 연구 그룹은 세계 최초의 바카라 커뮤니티농 트랜지스터를 개발하여 Ultra-Short Wave Band에서 작동했습니다 이 값은 물류 관리 및 기타 그러한 것들에 널리 사용되는 RFID 태그의 통신 빈도보다 충분히 큽니다 따라서 이번에 생성 된 장치가 전원 무선 태그에 완전히 적용될 수있는 레벨에 도달했다고 말할 수 있습니다 또한, 초고준 웨이브 밴드는 FM 라디오 방송 및 아마추어 라디오의 라디오 파로 사용됩니다 앞으로 응답 주파수가 더욱 증가 할 것이며, 초고파 웨이브 밴드를 사용하여 장거리 무선 통신을 제공 할 수있는 바카라 커뮤니티 통합 회로가 실현 될 것으로 예상됩니다 간단한 인쇄 프로세스를 통해 대량 생산을 달성 할 수 있기 때문에 물류 관리에 사용되는 저렴한 무선 태그와 미래의 IoT 소사이어티를 담당하는 저비용 무선 태그와 전자파로부터 전기를 공급하는 무선 전원 공급 시스템과 같은 다양한 응용 프로그램을 광범위하게 확장 할 수 있습니다
Yamamura Yoshifumi (Yamamura Yoshifumi (3 학년 박사 과정, 새로운 지역 제작 과학 대학원, 도쿄 대학원, 재료 대학원)
Watanabe Shunichiro (특별히 임명 된 자료 대학원, 새로운 지역 제작 과학 대학원, 도쿄 대학 / 동시에 방문 연구원, 바카라 커뮤니티, 고급 피연산자 측정 기술 오픈 혁신 연구소, 도쿄 대학)
Takeya Junichi (Takeya Junichi (Tokya Junichi) 도쿄 대학의 새로운 지역 제작 과학 대학원 / 자재 혁신 연구 센터 (MIRC) / 동시에 방문하는 연구원, 바카라 커뮤니티, Advanced Open Innovation Laboratory, Advanced Open Innovation Laboratory, Tokyo University of Tokyo, International Nanoicational Studizate (국제 Nanoittonate) 마나 (크로스 포인트)
잡지 이름 : "고급 기능 재료"(온라인 버전 : 2 월 5 일)
논문의 제목 : 매우 고주파수 대역에 반응하는 고속 바카라 커뮤니티형 단축 트랜지스터
저자 : Akifumi Yamamura, Takaaki Sakon, Kayo Takahira, Takahiro Wakimoto, Mari Sasaki, Toshihiro Okamoto, Shun Watanabe*및 Jun Takeya*
doi 번호 : 101002/adfm201909501