실리콘 광자 장치를위한 연구 및 개발 스피드 바카라토 타입 시스템 구축

국가 연구 및 개발 기관, 국립 고급 산업 과학 기술 연구소 [Nakabachi Ryoji 의장 Nakabachi Ryoji] (이하 "스피드 바카라"), 전자 및 광학 기술 연구 부서 [연구 부서 Mori Masahiko] 및 TIA Promotion Center [Center Kanamaru Masatake]는 세계에서 가장 진보 된Silicon Photonics기술을 전파하기 위해 스피드 바카라 이외의 광범위한 사용자가 사용할 수있는 일본 최초의 실리콘 광자 공기 장치에 대한 프로토 타입 시스템을 구축했습니다 이 프로토 타입 시스템은 우수한 처리 정확도를 갖는 300mm 웨이퍼 프로세스를 사용하여 연구 및 개발을위한 공개 실리콘 광자 공제 프로토 타입을 생산하는 세계에서 유일하게 사용됩니다

기술적 측면에서, 그것은 스피드 바카라에서 독립적으로 개발 된 실리콘 광자 기술을 기반으로합니다기본 장치 설계 정보ya표준 장치 메뉴합계스피드 바카라세스 디자인 키트 (PDK)사용자의 장치 설계를 용이하게하기 위해 유지 관리되었습니다 또한 스피드 바카라 컨소시엄 인 Silicon Photonics Consortium의 활동의 일환으로 설계 정보를 통합하고 프로토 타입 장치를 배포하여 편리한 프로토 타입 시스템을 생성하는 사용자 카운터 기능을 설정했습니다 2019 년 10 월, 처음으로 컨소시엄의 참여 회사 및 대학교였습니다RailPooling 스피드 바카라토 타입완료되었으며 이번에 구축 한 연구 및 개발 스피드 바카라토 타입 시스템의 성공적인 기능이 확인되었습니다 앞으로 우리는 일본과 해외의 민간 기업 및 대학에 광범위한 연구 개발 스피드 바카라토 타입을 제공하고 개발 기술을 홍보하기 위해 노력할 것입니다

최근에는 업계에서 실리콘 광자 기술에 대한 관심이 높아지고 있습니다 Silicon Photonics Technology는 대량 생산, 경제적 및 마이크로 보존이 매우 효율적인 실리콘 전자 회로의 제조 기술을 기반으로 한 초고속 광학 장치를위한 제조 기술입니다포스트 무어 시대IoT 및 5G와 같은 향후 정보 및 통신 시스템에 필요한 저렴하고 고도로 통합 된 광학 장치의 대량 생산을 가능하게하는 기술이 될 것으로 예상됩니다 실리콘 광자 기술 기술은 기존의 광학 장치 기술과 다른 대량 생산 능력을 가지고 있지만, 광학 장치 제조업체는 이에 필요한 대규모 제조 장비를 소유하기가 어렵고 실리콘 광자 기술의 확산에서 설계 및 제조는 실리콘 전자 회로와 같은 방식으로 분리되었습니다생태계건설해야했습니다

스피드 바카라는 일본의 최첨단 실리콘 장치를위한 공공 연구 개발 시설 인 TIA Promotion Center입니다Super Clean Room 산업-아카데미아 정부 협력 연구 건물 (SCR)를 사용하여 실리콘 Photonics 기술의 연구 개발에 관한 연구를 해왔습니다 우수한 처리 정확도를 갖춘 300mm 웨이퍼 스피드 바카라세스를 사용하여 세계 최저 손실 광 도파관, 세계 최대의 광학 매트릭스 스위치 및 고속 변조기를 포함한 다양한 광학 장치를 실현하여 세계 최고 수준의 실리콘 광자 기술 기술입니다

스피드 바카라에서 개발 된 실리콘 광자 기술을 기반으로 PDK는 기본 장치 설계 정보와 표준 장치 메뉴가 준비되었으며 회사는 스피드 바카라 컨소시엄 인 Silicon Photonics Consortium에서 프로토 타입을 만들고자하는 사용자에게 공개했습니다 사용자는이 PDK를 기반으로 설계를 수행하므로 제조 기술의 세부 사항을 알 필요가 없습니다 또한 컨소시엄 참여 회사의 협력으로 설계 정보를 통합하고 프로토 타입 장치를 배포하기위한 사용자 카운터 기능이 설립되었으며 편리한 운영 체제가 확립되었습니다 기술 및 운영 측면 모두에 대한 프로토 타입 시스템을 구축 한 후 2019 년 5 월에 여러 사용자가 구현되었으며 2019 년 9 월에 첫 번째 웨이퍼 프로토 타입이 완료되었으며 10 월에 각 사용자에게 실리콘 Photonics 장치 칩을 제공했습니다 그림 1 은이 프로토 타입 카풀의 칩 이미지를 보여줍니다 현재 각 사용자는 장치를 평가하고 있으며 일부 사용자는 이미 좋은 피드백을 받고 있습니다 결과적으로, 이번에 우리가 구축 한 프로토 타입 구조는 연구 및 개발을위한 실리콘 포토닉스 설계 및 제조를위한 생태계로 기능 할 것이며, 광범위한 외부 사용자에게 제공 될 수있는 시스템이 확립되었습니다 이 프로토 타입 시스템은 우수한 처리 정확도로 300mm 웨이퍼 프로세스를 사용하여 연구 개발을위한 세계 유일한 공식 실리콘 광자 공학 프로토 타입 시스템입니다

우리는 최신 실리콘 광자 기술을 계속 개발하고 PDK의 개발 기술을 점차적으로 반영함으로써 항상 최신 기술을 제공 할 수있는 스피드 바카라토 타입 시스템을 구축 할 것입니다 또한 국내 및 국제 사용자에게 광범위한 연구 개발 스피드 바카라토 타입을 제공하고 개발 기술을 홍보하기 위해 노력할 것입니다

◆ Silicon Photonics

실리콘 전자 회로 제조에 사용되는 CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) 제조 기술 및 장비를 사용하여 광학 장치를 제조하는 기술 저렴하고 고도로 통합 된 광학 장치의 대량 생산을 가능하게하는 기술이 될 것으로 예상됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ 기본 장치 설계 정보

특정 웨이퍼 스피드 바카라세스 제조 라인에서 달성 할 수있는 다양한 치수 및 재료 특성 모음[참조로 돌아 가기]

◆ 표준 장치 메뉴

특정 웨이퍼 스피드 바카라세스를 위해 생산 라인에서 표준적으로 제조 할 수있는 장치 목록[참조로 돌아 가기]

◆ 스피드 바카라세스 디자인 키트 (PDK)

이것은 특정 웨이퍼 스피드 바카라세스 제조 라인에 반도체 장치를 제작할 때 기본 장치 설계 정보 및 표준 장치 메뉴와 같은 장치 설계에 필요한 정보를 편집 한 것입니다[참조로 돌아 가기]

◆ 난간 풀 스피드 바카라토 타입

여러 사용자가 단일 웨이퍼를 사용하여 반도체 장치를 제조하는 방법 스피드 바카라토 타입 비용을 1/5에서 1/10으로 줄일 수 있습니다 전용 칩 영역은 각 사용자를 위해 배열되며 제품은 한 번에 제조됩니다 각 사용자에게 전용 칩 만 사용자에게 전송되며, 다른 사용자의 스피드 바카라토 타입의 세부 사항을 아무도 알 수없는 시스템에서 제작이 수행됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ Post Moor ERA

이것은 반도체 기술의 발전을 지원하고 물리적 한계에 도달했으며 반도체 칩의 성능이 1 년 또는 2 년 안에 거의 두 배가 된 "무어 법칙"이후의 시대를 나타냅니다 이전의 소형화로 인한 반도체 칩의 성능은 더 이상 예상되지 않기 때문에 고성능 정보 통신 시스템을 실현하기 위해 반도체 소형화 이외의 새로운 기술을 도입해야합니다[참조로 돌아 가기]

◆ 생태계

주로 정보 및 통신 산업에서, 그것은 공동 작업, 노동 부서 및 회사 간의 협력을 통한 제조 시스템을 말하며, 이는 생물 공동체의 원래 순환 시스템의 원래 의미에서 전환됩니다 예를 들어, 협업, 노동 부서 및 설계, 반도체 칩, 내장 카메라, 디스플레이 장치 및 어셈블리와 같은 많은 회사 간의 협업을 통해 제조 된 스마트 폰 제조 생태계는 잘 알려져 있습니다[참조로 돌아 가기]

◆ Super Clean Room 산업-아카데미아 정부 협력 연구 건물 (SCR)

TIA 스피드 바카라모션 센터에서 운영하는 공유 시설 중 하나 3,000 m²클래스 3 클린 룸에는 300mm 웨이퍼 용 반도체 스피드 바카라세스 장치 세트가 있습니다 기존 스피드 바카라세스 메뉴를 사용하여 연구 개발을 수행 할 수 있으며 개별 스피드 바카라세스 및 개별 처리를 수행 할 수 있습니다[참조로 돌아 가기]