국립 선진 산업 과학 기술 연구소 [Ishimura Kazuhiko] (이하 "바카라 룰"), 재료 측정 표준 연구 부서 [Gonta Satoshi, 연구 부서] 입자 측정 연구 그룹 KATO Haruhisa 연구 그룹, ODA RYTORO, Technology of Technology, The Technology of Technology, The Technology Departy of Technology of Technolds Shimadzu Corporation의 분석 측정 비즈니스 부서 (이하 "Shimadzu Corporation"), 10 nm ~ 40 µm의 넓은 범위의 입자를 생성하려면분류원심력이 될 수 있습니다유동장 분리장치가 구성되었습니다
최근 몇 년 동안 정확한 바카라 룰 평가 및 고정밀 바카라 룰 분류의 필요성이 크게 확장되었습니다 이는 여러 NM 단위로 제어되는 반도체 장치 패터닝 기술의 실제 적용과 같은 바카라 룰의 특성에 중점을 둔 실제 적용 및 규정이 진행되고 있으며, 작은 바카라 룰로 인한 잠재적 위험에 대한 우려로 인해 나노 물질 규제가 진행되고 있기 때문입니다 유동장 분리 방법을 사용하면 광범위한 바카라 룰의 입자를 분류 할 수 있으므로 최근 유럽에서 규정을 평가하는 데 사용할 수있는 기술로 주목을 받았습니다
이번에는 밀봉과 고속 회전을 결합한 고유 한 로터 회전 메커니즘을 만들어 원심 유동장 분리 장치에 도입했습니다 이것은 안정적입니다원심 속도 가속도15900 g의 높은 원심 분리 장이 실현되었습니다 (기존 유럽 장비의 경우 2700g) 또한,별도의 채널의 정밀 설계 고해상도 분류를 가능하게하고 분류 시간을 절반으로 줄 였으므로 이번에 구축 된 장치는 단기간에 고정밀 바카라 룰 분류를 허용합니다
이번에 구축 된 장비와 사용 된 기술은 실제 응용 프로그램 및 규제 준수 단계에서 정밀 재료 설계 및 고 차정 재료 바카라 룰 분포 분석에 기여할 것으로 예상됩니다
광범위한 바카라 룰로 재료의 미세 분류를 달성하는 원심 유동장 분리 장치 구축
9412_9513Reach Regulation와 같은 바카라 룰에 중점을 둔 자재 규정 재료 개발 제조업체뿐만 아니라 분석 제조업체와 규제 당국도 재료를 올바르게 관리하기 위해 고정밀 바카라 룰 측정 기술을 갖추기 위해 시작되었습니다 따라서 기존 측정 방법을 능가하는 고정밀 측정 기술이 필요하며, 이는 바카라 룰 분포에 대한 저렴한 정보 만 얻을 수 있습니다
위에서 언급 한 긴급한 측정 문제, 바카라 룰, 바카라 룰, 4 개의 측정 기기 제조업체 및 1 개의 재료 제조업체 (Shimadzu Corporation, Jeol, Horiba Corporation, Hitachi High-Technology 및 Shiraishi Kogy, Shiraishi Kogy, Shiraishi Kogy)를 해결하기 위해; COMS 및 집행위원회는 바카라 룰의 Metrology Standards Center의 연구 전략 부서 이사 인 Fujimoto Toshiyuki입니다 일반적으로, 재료는 항상 크기 분포를 가지며, 크기 분포는 측정 정확도를 줄입니다 (예 : 넓은 분포를 가진 샘플은 전체 그림을 파악하기가 어렵습니다) 따라서 바카라 룰와 Shimadzu Corporation은 크기 분포를 가진 재료의 크기 분류를 가능하게하는 유동장 분리 기술에 중점을 두었습니다
바카라 룰는 또한이 방법을 사용하여 고급 유체 필드 분리 방법 및 표준화에 대한 연구를 수행했습니다 또한, 유동장 분리 방법을 사용하여 액체에서 입자의 크기 분포를 가치를 평가하는 인증 된 표준 재료가 개발되었습니다 또한 그는 프로젝트 리더로서 유체 필드 분리 방법의 국제 표준화를 이끌었고 ISO 표준을 발표했습니다
반면에, 유체 필드 분리 장치는 이미 유럽과 미국에서 실질적으로 사용되었지만 낮은 분류 해상도 및 긴 분류 시간과 같은 문제가 남아있었습니다 따라서 바카라 룰와 Shimadzu Corporation은 분리 채널을 사용하여 기존 장비를 능가하는 유동장 분리기로 고속 회전을 허용합니다확산우리는 속성의 차이와 비중의 차이에 따라 재료를 분류하는 원심 분리 유동장 분리기를 구축하는 작업을 수행했습니다
원심 유동장 분리 장치는 그림과 같이 고속으로 회전하는 기존 액체 크로마토 그래피의 열 부분을 사용하는 분류기입니다 1 분리 채널은 채널 높이가 1mm 미만인 난류 흐름 (층류)을 유지할 수있는 정밀 흐름 경로이며, 원심 유동 유량 필드 분리의 경우,이 분리 채널은 고속 회전 및 재료 바카라 룰에 의존하는 고속 회전으로 인한 원심력을 사용하여 바카라 룰를 분류하는 데 사용됩니다 원심력의 상한은 장치의 압력 저항 성능에 의해 제한되지만 기존 장치에서는 다중 금속, 수지 등으로 구성된 정밀 흐름 경로 및 정밀 흐름 경로 회전 축이 사용됩니다샤프트 씰전압 저항 성능을 보장합니다 그러나, 정밀 흐름 경로와 관련하여, 흐름 경로 자체의 압력 저항 및 샤프트 씰과 관련하여, 회전으로 인한 마모에 대한 저항은 고속 회전 동안 액체 누출로 이어진다
이번에 구성된 원심 유동장 분리기는 압력 저항을 보장하기 위해 정밀 채널에 대한 통합 분리 채널을 채택하고 샤프트 씰의 내마모성을 더욱 향상 시켰습니다 결과적으로, 15,900 g의 원심력 가속이 발생하더라도, 재료 바카라 룰는 누출되지 않고 분류 될 수있다
그림 1이 시간에 구성된 원심 유동장 분리기의 개요
높은 원심력을 얻을 수 있기 때문에 이번에 구성된 장치는 현재 유럽 중심 유동장 분리기에서는 불가능한 높은 분리 해상도를 달성했습니다 또한, 이전에 분리 할 수 없었던 작은 바카라 룰의 재료 입자가 이제 분리 될 수 있습니다 그림 2는 30, 40, 50, 60, 70 nm 실리카 입자의 분산, 기존 원심 유동장 분리기를 사용한 바카라 룰 분류Fructogram(검은 색) 및 Fractogram (빨간색)은 이번에 제작 된 원심 유동장 분리기를 사용하여 바카라 룰 분류되었습니다 유럽 원심 유동장 분리기는 30 nm 실리카 입자를 제공합니다무효 피크와 겹치며 소규모 입자를 분리하기가 어렵다는 것이 분명합니다 또한, 피크 스프레드는 유럽 장비에서 바카라 룰 때문에, 그림의 점선으로 표시된 바와 같이, 5 가지 유형의 입자가 바카라 룰가 분리 될 때, 각 바카라 룰의 입자의 피크는 겹치므로 10 nm마다 바카라 룰를 분류 할 수 없습니다
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그림 2에 도시 된 바와 같이, 분류 능력의 개선으로 인해 분류 시간이 증가했으며, 추가 시도로서,이 시간이 구성된 원심 흐름 필드 분리기의 분리 채널의 구조는 유체 역학적 정밀도로 설계되었으며,은 나노 입자의 분류 시간은 각각의 절반을 변화시키지 않으면 서 장치에 비해 절반으로 감소되었다 (그림 3)
이번에 구성된 장치와 그 기술은 바카라 룰 분포의 정확한 평가를 통해 고급 재료의 개발과 원하는 바카라 룰의 입자 만 배열하여 바카라 룰의 높은 정밀 제어를 갖는 새로운 재료의 개발을 촉진 할 것으로 예상됩니다
그림 2 Fractogram (검은 색) 유럽에서 만든 원심 분리 유동장 분리기 및 Fractogram (빨간색)을 사용하여 분류 할 때 이번에 구성된 원심 유동장 분리기를 사용하여 분류 할 때
그림 3 Fractogram (검은 색) 현재 원심 분리 유량 필드 분리기 (개선 전 분리 채널) 및 개선 된 원심 흐름 필드 분리기를 사용하여 분류 할 때 프랙토 그램 (빨간색)을 사용하여 분류 할 때 : 샘플은은 (34, 50, 67, 103 nm)입니다
이 시간에 구성된 원심 유동장 분리 장치는 다양한 분야 (의약품, 식품, 화장품, 안료 등)에서 새로운 분석 및 바카라 룰 분류 기술로서 최첨단 재료의 개발에 기여할 것으로 예상되므로 유동 분리 방법을 사용하여 다양한 재료로 분류 호환성을 표준화 함으로써이 기술을 홍보해야합니다