Research는 바카라 규칙아몬드 반도체 웨이퍼의 실제 적용을 향한 진전을 강조합니다

에너지 및 환경 영역

바카라 규칙아몬드 반도체 웨이퍼의 실제 적용을 향한 움직임

-가스의 균열이없는 세계 최초의 1 입방 센티미터성공적으로 제작 된 단결정 바카라 규칙아몬드-

Advanced Power Electronics Research CenterYamada Hideaki

가스에서 단결정 바카라 규칙아몬드로 만든

가스를 원료로 사용하는 마이크로파 플라즈마 CVD 방법을 사용하여 균열없이 1 입방 센티미터의 부피가있는 단결정 바카라 규칙아몬드를 성공적으로 생산했습니다

현재 상업적으로 이용 가능한 고온 및 고압 방법 (오른쪽)을 사용하여 제작 된 가스 (왼쪽) 및 단결정 바카라 규칙아몬드 기판으로 만든 1 입방 센티미터 등급 단결정 바카라 규칙아몬드

최고 표준 반도체 자료 "바카라 규칙아몬드"

바카라 규칙아몬드는 재료의 최고 수준에서 전기적 또는 열적으로 여러 가지 물리적 특성을 가지고 있으며 전력 전자 제품 및 스핀 트론을 포함한 다양한 필드에 널리 적용될 것으로 예상됩니다 그러나 큰 웨이퍼에 대한 공급 시스템의 부족은 실제적인 사용에 장애물 중 하나입니다 이 연구에서 우리는 SIP (Strategic Innovation Creation Program)를 통해 단결정의 크기를 높이는 기술인 단결정의 병목 현상 도전에 대해 작업했습니다

큰 웨이퍼의 실현으로 이어질 큰 단계

이번에는 세계 최대의 결정 중 하나가 가스를 사용하여 생산되어 합성 영역을 쉽게 확장 할 수 있습니다 단일 합성의 두께가 아밀 미터 순서로 제한되는 기존의 방법의 문제를 극복하고, 여러 번 계층화되고 두꺼운 필름이 발생할 때 균열이 발생하고, 우리는 주요 수정을 겪고 합성 조건을 검토했으며, 결과적으로 한 합성에서 2 ~ 5 mm의 두께를 합성 할 수 있습니다