수직광 입력/출력 기술 및 개선
실리콘을 광학 배지로 사용하는 실리콘 광자의 실제 응용 분야에서 수직 광학 입력/출력 (I/O)은 칩 표면에 유연한 I/O 배치를 허용하는 등 광학 연결을 만드는 데 많은 장점을 제공합니다 로투스 바카라는 평면 마이크로 미러를 제조하기위한 비교적 간단하고 저렴한 방법을 개발했지만, 2D 광학 I/O의 웨이퍼 레벨 또는 2D 거울의 배치에서 제조 및 테스트를 할 수는 없었습니다 또 다른 과제는 곡선 마이크로 미러를위한 제조 방법을 개발하는 것이 었는데, 이는 렌즈처럼 작용하고 빔 허리 변환, 경 응축 기능 및 콜리 미터 기능을 실현할 수 있다는 점에서 유리합니다