바카라 게임의 정밀 측정

바카라 게임의 정밀 측정

2018/11/30

실리콘 웨이퍼 바카라 게임비접촉 정밀도 측정반도체 성능 향상에 기여하는 광학 간섭계

실리콘 웨이퍼 바카라 게임높은 정밀도AIST는 국가 표준에 따라 추적 할 수 있습니다다중 레이저 광원and2 광학 간섭계를 사용하십시오 샘플을 설정하려면비접촉식| 정확하게 측정하는 장치개발반도체 장치품질 관리ya성능 개선에 기여할 것으로 예상됩니다

실리콘 웨이퍼의 바카라 게임를 정확하게 측정하고 싶습니다

길이 측정 참조 장치를 교정하는 히라이는 종종 실리콘 웨이퍼의 바카라 게임를 측정하는 것에 대한 상담을 받았습니다

"반도체 산업은 실리콘 웨이퍼 치수에 대한 표준을 설정했으며, 웨이퍼 바카라 게임는 표준 중 하나이지만, 반도체의 통합을 더욱 향상시키기 위해, 얇은 실리콘 웨이퍼 3 차원 웨이퍼를 스태킹하는 기술을 더욱 향상시키기위한 기술은 진보하고 있으며, 웨이퍼 바카라 게임 관리가 더욱 중요 해짐에 따라 국가의 요구 사항은 중요 해지고, 결과의 신뢰성이 중요 해지고있다 증가 "

분광 간섭 방법은 실리콘 웨이퍼의 비접촉 바카라 게임를 측정하는 데 널리 사용됩니다 이 방법은 두 표면으로부터의 반사 광의 간섭을 사용하여 적외선으로 샘플을 조사하고 샘플의 표면에서 반사되고 샘플 내부를 통해 전송되고 샘플의 뒷면에 반사 된 두 표면에서 반사 된 빛의 간섭을 사용하여 바카라 게임를 측정합니다 그러나,이 방법에서, 광은 샘플을 통과하기 때문에 샘플의 굴절률이 미리 알려지지 않으면 정확한 바카라 게임를 달성 할 수 없습니다 그러나, 굴절률은 웨이퍼의 제조 공정 동안 변하고 실리콘의 불순물의 양에 따라 변화되므로 각 샘플의 굴절률을 정확하게 측정하는 기술이 없다 분광 간섭 바카라 게임 미터를 사용하는 사용자는 각각 실리콘 굴절률을 가진 문헌 값을 사용합니다 따라서 주요 문제는 바카라 게임 측정 결과의 신뢰성을 보장 할 수 없다는 것입니다

"장치 내부의 굴절률이 무엇이든, 빛을 전송하지 않고 순수한 기하학적 바카라 게임를 측정 할 수있는 한, 문제는 없다 따라서 우리는 국가 표준에 따라 추적 가능한 높은 정확도로 샘플의 바카라 게임를 측정 할 수있는 장치를 개발했다"

다중 파장 레이저로 고정밀 측정을 달성

바카라 게임 측정을위한 개발 된 양면 간섭계는 먼저 샘플의 양쪽에 레이저를 배치하고 표면에서 반사 된 빛과 기준 미러에 의해 반사 된 빛에 의해 간섭 프린지를 생성합니다 이것은 2 개의 CCD 카메라로 취하고, 두 개의 간섭 프린지의 이미지를 기반으로 샘플의 각 측면의 불균일성이 계산됩니다 동시에, 샘플 주위의 빈 부분을 통과하는 빛의 간섭 프린지 이미지와 기준 미러에 의해 반사 된 빛도 측정되고, 바카라 게임를 측정하기위한 기준 평면이 결정된다 이 결과는 샘플의 바카라 게임 분포를 계산하기 위해 결합됩니다

"빛의 간섭 프린지를 사용할 때, 연속 불균일과 같은 상대 모양을 정확하게 측정 할 수 있지만, 간섭 프린지의 주기성으로 인해 광원의 파장을 초과하는 큰 단계 또는 절대 길이를 정확하게 결정하기가 어려웠습니다 각 파장에 대한 측정 결과 "

사용 된 주파수 안정화 레이저는 국가 표준에 따라 추적 할 수 있으므로이 방법을 사용하여 측정 한 결과도 신뢰할 수있어 국가 표준으로 이어집니다

"이 장치가 웨이퍼 제조업체의 웨이퍼의 고르지 않은 모양을 보정하면 웨이퍼는 회사가 제공하는 바카라 게임 측정 장치를 보정하기위한 표준 샘플로 사용할 수 있습니다 국가 표준에 따라 매우 정확한 교정 추적을 가능하게함으로써 웨이퍼의 품질을 향상시키는 데 유용 할 것이라고 생각합니다"

향후, 다양한 측정 방법을 사용하여 다양한 바카라 게임가 측정 될 때 측정 값과 비교 될 것입니다 측정 방법의 정확도와 시편의 굴절률의 효과가 조사 될 것입니다 또한 빛은 샘플 표면에 반사되므로 유리와 같은 투명 샘플의 정확한 측정은 불가능하지만 앞으로는 투명 샘플을 측정 할 수있는 방법을 찾고 있습니다

또한,이 측정 방법은 샘플의 길이의 온도 변화 및 연령 변화를 측정하는 데 적용될 수 있습니다 신뢰할 수있는 측정의 필요성이 증가하고 있기 때문에 환경 저항성 물질에 대한 신뢰할 수있는 측정은 특히 항공 우주 분야에서 기여할 것으로 예상됩니다

"저는 원래 사회에 연구 결과를 사용하려는 욕구와 함께 Metrology Research Institute (NMIJ의 전임자)에 합류하여 이런 식으로 업계와 협력 할 수있어서 기쁘다 길이의 측정은 매우 친숙한 분야이며, 많은 기술적 수준이 국제적으로 그리고 민간 부문에서 높은 기술 수준을 가지고있다 Aist "