게시 및 게시 날짜 : 2002/06/05

개발 된 실버 바카라 필승법 와이어 제조 방법


개요 및 현재 상황

최근 전자 장치의 마이크로 통합으로 바카라 필승법 미터 규모의 재료를위한 제조 기술 개발은 전 세계적으로 서로 경쟁하고 있습니다 (1 바카라 필승법 미터 (NM)는 1 백만 분의 1mm) 미래의 통합 회로 장치 및 양자 장치 개발에는 100 nm 이하의 초산 가공이 필요합니다

현재 배선 처리의 주류 인 포토 리소그래피 방법에서, 가공 정확도는 빛의 파장에 의해 제한되어 수백 nm 미만의 가공이 어렵다 또한, 최근에 개발되고 연구 된 여러 NM의 직경을 갖는 탄소 바카라 필승법 튜브는 전기를 전도 할 것을 약속하며, 미래 전자 장치의 배선 재료가 될 것으로 예상됩니다 쉽게 전기적으로 전달되는 금속 바카라 필승법 와이어 (바카라 필승법 미터 규모의 직경을 가진 와이어)도 탄소 바카라 필승법 튜브와 마찬가지로 배선 재료로 적용될 것으로 예상 될 수 있습니다 그러나 금,은 및 구리와 같은 금속 바카라 필승법 와이어에 대한보고가 있었는데, 이는 전기를 잘 전달하는데, 이는 작은 바늘 결정에 가까운 작은 종횡비 (길이 대 지름의 비율)를 갖는 작은 바늘 결정에 가깝지만 두 가지 방법은 수천 nm의 길이를 가지며 충분히 적용될 수 없다고 기대할 수는 없습니다 바카라 필승법 와이어를 수행하는 얇은 기술은 차세대 통합 회로의 제조에 필요한 필수 공정 기술 중 하나입니다

이 연구는 해수를위한 항균제 개발에서 발견되었으며 현재 AIST의 새롭고 새로운 연구 주제로 연구를 진행하고 있습니다



현재 개발

이번에는 National Advanced Industrial Science and Technology Institute of Advanced Industrial Science and Technology의 Marine Resources and Environment Research Division의 Makida Yoji 최고 연구원이 개발 한 방법은 전자 빔으로은 이온을 바카라 필승법 와이어를 합성하는 것입니다 현재은 바카라 필승법 와이어의 종횡비는 2,000 명 이상이므로, 바카라 필승법 섬유라고 할 수있는은 바카라 필승법 와이어의 세계에서 가장 긴 합성 방법입니다 이 기술을 사용하여 구리와 같은 다른 금속 바카라 필승법 와이어를 합성 할 수도 있습니다 이 연구 결과를 위해 공동 특허 출원이 제기되었으며 최근에 공개되었습니다

이번에 개발 된은 바카라 필승법 와이어는은이 전자를 통과하는 특성을 가지고 있기 때문에 높은 전자 전도도를 보여줍니다 따라서, 최근 몇 년 동안 극적으로 감소 된 평면 패널 디스플레이와 같은 FED (필드 전자 방출 디스플레이)뿐만 아니라 통합 회로 및 양자 요소에 대한 상호 연결 재료의 상호 연결 재료에 대한 전자 방출 원으로 사용될 것으로 예상 될 수 있습니다

실버 바카라 필승법 와이어의 방법과 원리

이 방법은 음이온이 통과 할 수 없으며 양의은 이온 (AG+)가 내부 주위를 자유롭게 움직일 수 있도록하는 데 사용되며, 고체의 긴은 바카라 필승법 와이어에 전자 빔을 적용하여 주입되어 회전시킵니다 전자 빔 이이 고체에 부딪히면 전자는 통과하기가 어렵고 표면은 국부적으로 음이온으로 충전됩니다 이로 인해 내부은 이온이 발생합니다 (AG+)는 하전 된 국소 표면에 끌린 다음 금속은 (AG)으로 감소하여 미세한 은색 와이어로 외부로 확장됩니다

이 반응은 금속은 바카라 필승법 와이어를 재배하기 위해 지속적으로 발생합니다 "스파이더"스핀 스레드와 마찬가지로, 실버 와이어는 고체 내부 에은이 없을 때까지 벗겨집니다

사진 1
그림 : 실버 바카라 필승법 와이어 생성 메커니즘

Nanowire 기능

이 방법을 사용하여 생산 된 바카라 필승법 와이어는은 단독으로 만든 금속은 바카라 필승법 와이어 (산화물 또는은 화합물이 아님)입니다 실버는 모든 원소에서 가장 전자 통과 특성을 가지므로은 바카라 필승법 와이어는 전자 전자 전도도가 높을 것으로 예상됩니다

평균 바카라 필승법 와이어의 평균 크기는 수만에서 수십만에서 수십만에서 수천 만 명에서 수천만 건의 수천만 자천의 수천만이 수천만 명에 달하는 직경입니다 수천만 명의 수천 만 명이 수천만 명의 수천 만 명이 수천만 만 명에 달하는 수천 만 명이 수천만 명에 이르고 있습니다 현재 가장 긴 은색 바카라 필승법 와이어는 현재 세계에서 가장 긴 실버 바카라 필승법 와이어로 2000 년이 넘는 종횡비입니다

이 방법은은을 지속적으로 회전시키는 능력을 특징으로하여 획기적인 제조 기술입니다

사진 2
사진 3
 
금속 실버 바카라 필승법 와이어의 주사 전자 현미경 사진

주사 전자 현미경을 사용하여지지 필름에 놓인은 이온 매트릭스의 표면에서 자란 금속은 바카라 필승법 와이어의 전자 현미경 사진 직경은 약 40nm이고 길이는 01mm 이상입니다


문의

해양 자원 및 환경 연구 부서, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소
이메일 :y-makita@aistgojp