2016 년 6 월 15 일
일본의 국립 연구 개발 회사
 

오전 9시 40 분, 2016 년 6 월 15 일 수요일, Silane 가스 및 수소 가스는 Tsukuba Center Tsukuba West Office, Building 5-D^(참고)를 사용하여 반도체 결정 성장 장치에 대한 유지 보수 작업 동안 장치에서 간단한 폭발이 발생했습니다 화재가 시작된 후 빨리 나갔지 만, 나는 단지 안전을 위해 소화기를 사용했습니다
또한 화재가 발생했을 때 유지 보수 작업을 수행하는 계약 된 직원 한 명이 화상을 입었고 현재 목적지에서 치료를 받고 있습니다 이 화재는 주변 환경에 영향을 미치지 않습니다 발생의 원인은 현재 조사 중입니다
우리는 재난을 예방하고 안전을 보장하려는 노력에도 불구 하고이 화재로 인한 지역 사람들이 불편 함과 우려에 대해 진심으로 사과드립니다



(참고) 실란 가스 및 수소 가스는 반도체 제조 공정에서 일반적으로 사용되는 가스이며 사고 현장에서 반도체 관련 실험에도 사용되었습니다



이 문제에 관한 문의
뉴스 룸 카와 무라
전화 : 029-862-6216