츠쿠바 센터 쓰쿠바 이스트 (Tsukuba East)에서 건설중인 MEMS 비즈니스 빌딩은 최근 국립 고급 산업 과학 기술 연구소 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) (이하 "바카라 룰")에 의해 완료되었습니다

mems (마이크로 전기 기계 시스템)는 일본어로 "마이크로 움직이는 기계"를 의미하며, 이는 "미세 전자 역학 요소"또는 "마이크로 마이크"라고합니다 이 시설은 MEMS와 관련된 바카라 룰의 연구 잠재력 및 기술 종자를 산업 기술 및 요구와 협력하고, MEMS 분야에서 산업-학술 정부 정보를 통합하고, 협업을 강화하며, 창의적인 인적 자원을 개발하도록 노력하고 있습니다 앞으로 MEMS 연구 개발을위한 중앙 허브 중 하나로 적극적으로 운영 할 것입니다

현재까지 실질적으로 사용 된 MEMS 기술에는 자동차 및 의료용 사용을위한 다양한 센서, 잉크젯 프린터 헤드 및 반사 프로젝터가 포함됩니다 미래에는 MEMS 기술을 사용하는 다양한 센서 및 액추에이터가 개발 될 예정이며, 광학 통신 및 모바일 장치, 컴퓨터 주변 장치, 생체 분석 및 휴대용 전원 공급원의 응용 프로그램을 포함하여 MEMS를 일본 산업에 활력을 줄 수있는 차세대 산업으로 만듭니다

일본의 제조 산업의 경쟁력을 높이기 위해 개발 속도를 강화하고 즉시 모방 할 수없는 원래 기술, 특히 장기간의 연구 개발이 필요한 재료 기술을 강화해야한다고 지적되었습니다 실리콘 외에도 바카라 룰는 자체 방식으로 개발 한 유리와 탄소의 "3D 마이크로 가공 기술"과 센서 및 액추에이터에 사용되는 "고성능 박막 재료 기술"을 활용하여 산업과의 협업을 더욱 강화하고 차세대 장치를 신속하게 개발할 것입니다 주요 개발 테마에는 차세대 고주파 통신에 사용되는 "RF-MEMS", 광학 통신 및 정보 프리젠 테이션 요소에 사용되는 "광학 MEM"및 생체 분석에 사용되는 "유체 MEM"이 포함됩니다 이들은 기능을 향상시키고 일본의 산업 제품을 주요 차이로 만드는 기술로서 큰 기대를 불러 일으키고 있습니다

또한,이 시설은 또한 엔지니어 수준의 얇은 수준으로 인해 달성 할 수없는 다른 분야에 MEM을 적용하기 위해 "고급 및 창의적인 엔지니어 교육"에 기여할 것입니다

이 시설의 주요 시설은 "고속 전압 전자 빔 드로잉 장치", 나노 지역을위한 가공 도구, "MEMS의 장기 초점 깊이 스테퍼", 단계 등의 구조에 대한 높은 정확도를 가진 패턴을 그리는 "장기 초점 깊이 스테퍼", 종종 메모에서 사용되는 "나노 프린트 장치"에서 종종 사용되는 "Nanoimprint 장치"에서 사용되는 "높은 종횡비 에칭 장치"입니다 이러한 독특한 장치 외에도 MEM에 일반적으로 사용되는 "가공 장비 그룹"및 "측정 장비 그룹"이 올인원을 사용하고 업계의 연구 및 개발 요구를 충족시킬 수있는 환경을 만들 것입니다