산업, 정부 및 학계가 공유하는 나노 프로세싱 시설 인 바카라 사이트 쿠폰-NPF (나노 처리 시설) "최근 Tsukuba Osl, Tsukuba Chuo No 2 Tsukuba Osl [1-1-1 Umeen, Tsukuba City] (총 바닥 면적 1200m²7560_7595

바카라 사이트 쿠폰-NPF는 나노 기술 및 응용 개발에 대한 기본 연구 가속화 된 기본 연구를 추구하는 공유 연구 개발 시설입니다 바카라 사이트 쿠폰 연구원과 바카라 사이트 쿠폰의 계약 프로젝트를 지원할뿐만 아니라 민간 기업에 마이크로 프로세싱을 아웃소싱하기위한 새로운 옵션을 제공하고, 벤처 회사의 아이디어 시연을 지원하며, 학교를 개최하여 나노 기술과 관련된 인적 자원을 훈련시킵니다

바카라 사이트 쿠폰-NPF는 2001 년에 운영을 시작했지만 최근 바카라 사이트 쿠폰의 Tsukuba Center와 Tsukuba Chuo No 4에서 Tsukuba Chuo No 2 Tsukuba OSL로 이사하여 시설 및 설치 장비를 개조하고 크게 확장했습니다 바카라 사이트 쿠폰의 내부 및 외부의 연구자들이 장벽이없는 산업, 정부 및 학계를위한 공유 나노 프로세싱 시설에서 일본에서 가장 큰 것입니다

바카라 사이트 쿠폰-NPF를 설치하는 목적은 전자 공학, 광학 공학, 분자 공학, 측정 공학 및 환경, 생명 공학 및 기술 연구원을위한 것입니다 차세대 전자 장치의 연구 및 개발을 통해 각 연구원의 독창성을 결합하여 초 고밀도 정보 기록, 분자 장치 및 다양한 센터와 연결된 21 세기에 연결되어 있습니다 새로운 산업 바카라 사이트 쿠폰 내외에서 200 명 이상의 연구원들이 이미 바카라 사이트 쿠폰-NPF를 사용하고 있습니다

바카라 사이트 쿠폰-NPF는 600m²깨끗한 방노출 장치,필름 형식 장치,마이크로 머시 닝 장비,장치 평가 장치,모양 분석기다른 사람들이 설치되었습니다 미세 매클링 프로세스는 세 개의 다른 깨끗한 방으로 나뉘어 가장 깨끗합니다클래스 100이 경우 자외선을 사용한 노출 장치리소그래피클래스 1000의 깨끗한 방 두 개의 전자 빔 쓰기 장치와 마스크리스 노출 장치를 사용하여 리소그래피가 적용됩니다클래스 10000의 깨끗한 실에서 현미경 또는 분석 장치를 사용한 미세 가공 및 측정 및 평가가 수행됩니다

바카라 사이트 쿠폰는 또한 바카라 사이트 쿠폰-NPF를 기반으로 나노 프로세싱 파트너십 프로그램을 구현하고 있으며, 교육, 문화, 스포츠, 과학 및 기술의 "교육부 문화, 스포츠, 스포츠, 스포츠, 기술의"포괄적 인 나노 기술 지원 프로젝트 (2002-2006)의 교육부에 따라 "Nano 수준의 초 고금형 처리 및 모델링 지원"의 일환으로 구현하고 있습니다 포괄적 인 나노 기술 지원 프로젝트의 목적은 일본의 나노 기술을 전략적으로 홍보하고, 최첨단 장비 및 시설의 사용을 외부 연구원들에게 확장하고, 국내 및 국제적으로 최신 정보를 제공하고 연구 활동에 대한 포괄적 인 지원을 제공하는 것입니다 이 중 나노 프로세싱 파트너십 프로그램은 바카라 사이트 쿠폰 외부의 모든 나노 기술 연구원에게 초 미세 가공 및 모델링 지원을 제공하고 나노 프로세싱 파트너십 프로그램의 지원으로 바카라 사이트 쿠폰 외부의 사용자는 바카라 사이트 쿠폰-NPF 장치를 샘플을 준비하고 샘플을 측정 및 평가할 수 있습니다 또한, 마이크로 프로세싱 아웃소싱의 목적지로서, 우리는 산업, 정부, 학계 R & D, 벤처 회사의 아이디어를 지원하며 교육 및 학교를 포함한 다양한 인적 자원 개발 활동에 새로운 옵션을 제공합니다

산업, 정부 및 학계가 공유하는 나노 프로세싱 시설 인 바카라 사이트 쿠폰-NPF가 완료되면서 시설이 개발되고 설치된 장비가 크게 확장되어 더 많은 고급 장비를 사용하고 더 많은 사용자를 수용 할 수 있으며 나노 기술 연구를 추가로 홍보하는 데 기여할 것입니다

현미경 및 분석기를 사용한 미세 가공 및 측정 및 평가를위한 클래스 10,000 클린 룸의 사진

실리콘 기판에 저항 마스크를 형성하여 얻은 구조의 전자 현미경 사진 및 에칭 (바닥은 확대 된 이미지)

AU/GAAS JunctionSchottky Diode레이저 현미경 이미지

분자 검출을 위해 마이크로 전극 어레이에 부착 된 마이크로 플로우 경로를 갖는 생체 분자의 선택microfluidics현미경

GAAS 유형가벼운 방출 다이오드강자성 물질과 결합스핀 편광 전자칩 캐리어 및 와이어 본드에 분사 요소가 장착 된 장치 사진

◆ Clean Room

JIS에 의해 정의 된 바와 같이, 오염 제어가 수행되는 공간이며, 공기 중의 부유 식 입자 및 부유 미생물이 제한된 수준의 청결도 아래에서 제어되는 공간이며, 재료, 물 등에 공간이 제공되는 물질, 물 등이 유지되며, 환경 적 조건이 유지되며, 온도 및 압력 및 압력이 필요합니다[참조로 돌아 가기]

◆ 노출 장치

반도체 장치 등의 제조에 사용되면 회로 패턴 등을 웨이퍼에 저항하는 장치[참조로 돌아 가기]

◆ 필름 형식 장치

박막을 제조하는 장치 및 스퍼터링 장치 및 기화 장치와 같은 다양한 기술을 갖춘 장치는 목적에 따라 사용됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ 마이크로 머시 닝 장치

에칭 및 밀링 장비와 같은 샘플 표면에서 불필요한 미세 입자를 제거하는 장치[참조로 돌아 가기]

◆ 장치 평가 장치

완성 된 장치의 I-V 및 C-V 특성과 같은 전기 특성을 평가하는 장치[참조로 돌아 가기]

◆ 모양 분석기

생성 된 모양을 평가하는 다양한 현미경[참조로 돌아 가기]

◆ 클래스 100, 1000, 10000

| 1988 년 미국 연방 표준 FED-STD-209D를 기준으로 깨끗한 방의 청결을 나타내며, 입방 피트에서 각각 05 µm (1 마이크로 미터 : 1 백만 미터)보다 큰 입자의 수는 각각 100, 1000, 10,000보다 낮음을 보여줍니다[참조로 돌아 가기]

◆ 리소그래피

웨이퍼의 IC 패턴 등을 전송하고 형성합니다[참조로 돌아 가기]

◆ Schottky Diode

이것은 정류 효과를 얻기 위해 금속 및 반도체의 교차점에서 얻은 장벽을 사용하는 반도체 장치입니다[참조로 돌아 가기]

◆ microfluidics

미세 유체 시스템으로도 알려진이 시스템은 미세 유체 채널, 마이크로 펌프, 마이크로 반응기 등과 같은 미세 유체 요소가 반 구조적 미세 변정 기술을 사용하여 여러 센티미터 정사각형의 기판에 통합되는 미세 유체 시스템입니다[참조로 돌아 가기]

◆ 조명 방향 다이오드

전자의 PN 접합부에서 전자와 구멍을 전방 방향으로 흐르면 전자 및 구멍이 빛을 방출하기 위해 전자 및 구멍을 유발하는 광 방출 다이오드[참조로 돌아 가기]

◆ 스핀 분극 전자

회전으로 인한 각 운동량 인 스핀을 정렬 한 전자 그룹[참조로 돌아 가기]