통지

통지 기사2008/04/02

설립 "나노 전자 장치 연구 센터"
-소형화의 한계를 초과하는 새로운 전자 장치 기술을 만들기 위해

포인트

  • 반도체 소형화 및 반도체 장치의 성능 향상을 추구하고 소형화의 한계를 초과하는 새로운 개념 기술을 만들기 위해 Nano Electronic Device Research Center를 설립했습니다
  • 나노 전자 장치 및 기능을 혁신 허브로서 제조, 측정 및 분석 기술을 광범위하게 제공합니다

요약

국립 선진 산업 과학 기술 연구소 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) (이하 "바카라 규칙"라고 불림)는 Nano Electronic Device Research Center (Kanayama Toshihiko, 연구 센터 이하) (이하 Kanayama Toshihiko, Research Center) (이하 "연구 센터"라고 언급)을 설립했습니다 소형화의 한계

반도체 통합 시스템은 정보 사회를 지원하는 핵심 기술이며, 산업 경쟁력을 향상시키고 환경 영향을 줄이며 사회의 지속 가능한 발전을 실현하기 위해 반도체 기술의 개발은 허용되지 않습니다

반도체 기술을 향상시키기 위해서는 나노 수준에서 소형화와 동시에 새로운 재료, 구조 및 제조 공정을 구현해야합니다 또한 향후 10 년 동안 개발을 계속하기 위해CMOS트랜지스터 소형화를 대체하기 위해 새로운 안내 원리를 구성해야합니다 연구 센터는 32 nm 또는 22 nm기술 생성7861_7946NanoElectronics Innovation Platform (NEIP)유지 관리Innovation Hub

innovation 허브로서의 미니어처 및 고성능 전자 장치 및 NEIP의 다이어그램을 탐색하는 그림

혁신 허브로서 전자 장치 및 NEIP의 소형화 및 고성능을 극도로 추구하고 있습니다

사회적 배경

지금까지 반도체 기술의 발전을 담당 한 실리콘 CMOS 트랜지스터의 소형화는 물리적, 기술적 한계에 접근하고 있습니다 이 한계를 뚫고 32nm 이상의 기술 생성을 실현하려면 나노 수준에서의 소형화와 동시에 새로운 재료, 구조 및 제조 공정을 구현해야합니다 또한 이는 2020 년경에 한계에 도달 할 것이며,이를 더욱 발전시키기 위해서는 기존의 CMOS 소형화를 대체하기위한 새로운 원칙을 기반으로 장치 기술을 개발해야한다고 믿어집니다 이러한 요구 사항을 충족하기 위해서는 새로운 개념을 기반으로 기술을 만들기 위해 광범위한 과학적 지식을 동원하고 사용 목적에 맞는 다양한 옵션에서 정확한 기술 선택을 만들고 산업과 협력하여 대량 생산 기술에 신속하게 배치 할 수있는 연구 개발 시스템을 구축해야합니다

바카라 규칙와 같은 공공 연구 기관은이 방향으로 나노 일렉트로닉스에 대한 연구를 계속하고 전략적으로 홍보해야합니다 예를 들어, 산업 경쟁력 회의 (CoCN)는 "다양한 재료를 사용하는 새로운 나노 장치를위한 기본 연구 센터"를 설립 할 것을 제안합니다 또한 2007 년 경제, 무역 산업부, 교육 문화, 스포츠, 과학 기술 및 JST (Japan Science and Technology Agency)는 나노 전자와 관련된 프로젝트를 시작하기 위해 협력했습니다 장치 프로토 타입 기능이있는베이스를 형성하는 것으로 간주되고 있습니다

최근

바카라 규칙는 Super Clean Room Industry-Acadeia-Government Collaboration Research Building,반도체 Mirai Project는 차세대 반도체 리서치 센터 (2008 년 3 월 말)에서 중심적인 역할을 수행하면서 업계 및 대학과 협력하여 홍보하고 있으며 반도체 소형화 기술에 대한 연구 및 개발을 수행하고 있습니다 Mirai Project는 변형 실리콘 기술 및 고유성 상수 게이트 단열 필름 기술과 같은 기술에서 이전 CMOS 트랜지스터의 구조를 유지하면서 특성을 향상시키는 데 큰 결과를 얻었습니다 그러나 CMOS 트랜지스터가 10 nm의 원자 수준에 접근함에 따라 더 넓은 범위의 기술 옵션에 도전하는 것이 점점 더 필요해지고 있으며, 나노 전자 공학으로 알려진 반도체 이외의 기술 분야를 포함한 연구 및 개발이 중요 해지고 있습니다 이러한 상황에 대응하여 바카라 규칙는 전자 장치 기술의 연구 및 개발에서 계속 주요 역할을 수행하기위한 새로운 센터를 설립했습니다

이 연구 센터의 내용

새로운 연구 센터는 Mirai Project를 통해 재배 된 고급 기술을 인수하고 CMO의 소형화 및 고성능을 최대한 추구 할 것입니다 이를 달성하기 위해 고정밀 장치 프로토 타입, 전기 특성 평가, NANO-LEVEL 물리적 측정 평가 분석 등이 있습니다첫 번째 원칙 전자 상태 계산를 포함한 포괄적 인 계산 과학 분석 장치 시뮬레이션에 또한, 우리는 CMOS 소형화를 대체하기위한 새로운 발달 축이 될 수있는 혁신적인 기술을 탐색하고 시연하기위한 혁신 허브 인 NEIP (Nanoelectronics Innovation Platform)를 설립했으며 기본 기술을 다른 바카라 규칙 부서 및 외부 기관과의 공동 작업에 장치 시연과 연결하는 장소로 운영 할 것입니다 CMOS 기술을 기반으로 새로운 재료와 새로운 구조 장치를 효율적으로 생성하고 측정 데이터 및 시뮬레이션 결과를 체계적으로 축적 할 수있는 지식 관리를 제공합니다

미래 계획

CMO의 극단을 추구하는 것을 목표로하는 지속적인 프로젝트 연구 외에도, 우리는 센터에 축적 된 나노 전자 장치의 제조 및 측정 및 분석 기술을 기반으로 NEIP (Nanoelectronics Innovation Platform)를 운영 할 것이며, 바카라 규칙 내부 및 외부의 연구 기관과 함께 나노 전자 기술의 새로운 원칙을 개발하기 위해 바카라 규칙의 연구 기관과 함께 작동 할 것입니다

터미널 설명

◆ CMOS (보완 금속 산화물 반도체)
보완 금속 산화물 반도체에 대한 약어 N- 채널 MOSFET 및 P 채널 MOSFET을 ON/OFF 작업을 역전시킨 트랜지스터와 직렬로 연결하는 요소 LSI에서 신호 처리를 수행하기위한 가장 기본적인 회로입니다[참조로 돌아 가기]
◆ 기술 생성
이것은 ITRS (International Semiconductor Technology Roadmap)에서 반도체의 소형화를 나타내는 수치 값이며, DRAM의 비트 라인의 하프 피치 (HP) 치수를 사용하여 표시됩니다 (동적 랜덤 액세스 메모리) 기술 노드라고도합니다 현재 장치 제조업체는 65NM 기술 생성의 대량 생산을 시작했습니다 이 센터는 32nm (2013 년 대량 생산 예상)와이를 초과하는 기술 생성의 기본 기술 개발을 촉진 할 것입니다[참조로 돌아 가기]
◆ NEIP (NanoElectronics Innovation Platform)
프로토 타입 나노 전자 장치를위한 외부 연구 및 개발 시설 공유 바카라 규칙 Tsukuba West District의 산업-아카데미 정부 협력 건물의 연구 청소실 (JIS 클래스 5, Area 1500 m2)에 설정된 장비를 사용하면 미세한 CMOS 프로세스가 기본 프로세스로 준비되며 바카라 규칙 내외부의 요청에 대한 응답으로 공동 연구, 프로토 타입 준비 지원 및 장비가 수행됩니다 실리콘 CMO의 성능을 유지하면서 광범위한 재료와 프로세스를 지원합니다 Tsukuba Central Secons에서 운영되는 NanoProcessing Facility (바카라 규칙-NPF)와 통합하여 바카라 규칙의 Nanotechnology Research Division에서 운영하는 나노 프로세싱 시설 (바카라 규칙-NPF)을 운영함으로써 광범위한 목적을 충족시킬 것입니다[참조로 돌아 가기]
◆ 혁신 허브
바카라 규칙는 혁신 (대학, 산업, 정부 등)을 운반하는 다양한 연결의 노드 인 사람, 기술 및 정보의 만남과 흐름을 촉진하고 시너지하는 데 중요한 역할을하는 것을 목표로합니다
"바카라 규칙 Brochure"http : //www바카라 규칙gojp/바카라 규칙_j/바카라 규칙info/바카라 규칙infohtml [참조로 돌아 가기]
◆ 반도체 Mirai Project
11943_12094[참조로 돌아 가기]
◆ 첫 번째 원칙 전자 상태 계산
실험적 데이터 나 경험적으로 결정된 법칙을 사용하지 않고 물리학의 기본 법칙에 따라 물질의 구조와 에너지를 이론적으로 계산하는 방법 구체적으로, 양자 역학의 기본 방정식 인 Schrödinger 방정식은 전자 상태와 원자에 작용하는 힘을 계산하기 위해 해결된다 많은 양의 계산이 필요하고 처리 할 수있는 원자 수는 제한되어 있기 때문에 장치의 특성을 계산하기 위해 경험적 계산 기술과 결합해야합니다[참조로 돌아 가기]