Tsukuba Innovation Arena (TIA) Power Electronics Research Center는 개방형 혁신 연구 센터이며 일본의 전력 전자 제품 연구 및 개발에 중요한 역할을합니다 우리는 현재 세계에서 가장 진보 된 실리콘 카바이드 (SIC) 전력 반도체 장치 (6 인치 클래스)의 대량 생산 연구 및 개발을 목표로하는 새로운 라인을 구축하고 있습니다
차세대 자동차에 인버터 (전력 변환 장치)에 사용되는 전력 반도체의 경우 실리콘 (SI)에 비해 상당한 에너지 절약 (1/100 미만의 전력 손실)을 달성하는 SIC의 실제 적용은 저탄소 사회를 실현하는 데 매우 중요합니다
Tsukuba Innovation Arena (TIA)는 2009 년 6 월 국립 고급 산업 과학 기술 연구소, 재료 및 재료 연구소, 츠쿠바 대학교, 고 에너지 가속도 연구소 및 일본 Keidanren과 함께 설립되었습니다 TIA는 Power Electronics를 전략적으로 해결 해야하는 연구 영역 중 하나로 위치하며 2010 년 10 월까지는 대량 생산 기술 개발을 구현하기위한 고급 기본 연구와 두 번째 라인을 홍보하기위한 첫 번째 라인을 설립했습니다 이 두 번째 라인은 3 인치 SIC 전원 장치를위한 대량 생산 프로토 타입의 기술이며 Fuji Electric, Ulvac 및 온라인 바카라에 의해 개발되었습니다 또한 2012 년 5 월, 개인적으로 활발한 공동 연구 그룹 인 TPEC (Tsukuba Power Electronics Constellation)의 설립은 일본의 주요 연구 및 개발 허브로 다양한 시스템을 구축하고 운영하고 있습니다
최근 몇 년 동안 하이브리드 자동차 및 철도의 에너지 절약에 대한 기대치가 급격히 증가했으며, 전체 규모의 6 인치 웨이퍼가 완전히 인기를 얻기 시작했습니다 SIC 전력 반도체의 연구 개발 분야에서 세계를 계속 이끌 기 위해 온라인 바카라는 Sumitomo Electric Industries와 같은 산업과의 협력을 통해 아래에 설명 된 바와 같이 6 인치 웨이퍼의 프로세스를 가능하게하는 세 번째 라인을 공동으로 구축하기로 결정했습니다
오늘날 우리가 개발할 세 번째 라인의 목적은 전력 반도체 대량 생산 기술, 신뢰성 평가 기술 및 6 인치 최첨단 SIC 웨이퍼를 사용한 품질 평가 기술의 개발을 가속화하고 세계의 최첨단 연구 및 개발 환경을 제공함으로써 사회 혁신을 촉진하는 것입니다 이 새로운 라인의 구성은 6 인치 웨이퍼를 사용하는 새로운 구조를 갖춘 새로운 고전압/초고전 전력 장치를 개발할 수있게 해줄 것입니다 이를 통해 온라인 바카라는 미래의 최고 수준의 연구 센터가 될 수 있습니다
<새 라인의 특징>
◇ 실재를 줄이기위한 Sic MOSFET 소형화
※ 저항성 : 몇 milliΩcm2(일반 MOS), ~ 1mΩcm2(트렌치 MOS)
◇ 신속한 대량 생산 기술 개발 및 시연 등을 가능하게하는 개발 환경 제공, 최첨단 기술을 목표로합니다
◇ 처리 용량 증가 (10 회 이상), 리드 타임 단축 (1/3 미만)
◇ 새로운 프로세스 장비와 같은 새로운 기술 도입에 필요한 확장 성 보장
◇ 항상 24 시간의 운영을 허용하는 충분한 신뢰성과 강력한 인프라를 보장하는 세계적 수준의 청정실 환경
◇ 미래의 새로운 기술 트렌드에 대응하기 : 소형화/더 큰 직경 (6 인치) 등
◇ 또한 GAN 및 다이아몬드와 같은 넓은 갭 파워 반도체에도 적용될 수 있으며, 이는 미래에 실질적으로 사용될 것으로 예상
앞으로 온라인 바카라는 세 번째 라인을 사용하여 Tsukuba University 및 기타 조직과의 협력을 심화시키고 학생, 연구원 및 산업 엔지니어가 함께 모이는 개방형 혁신 허브를 구성 할 계획입니다
이름 : Tia Power Electronics Research Center Third Line
위치 : 온라인 바카라 West Office Group 7 (Super Clean Room Research Building)
지역 : 클린 룸 지역 1500m2
추가 장비 등 1500m2
사양 : 6 인치 실리콘 카바이드 (SIC) 전력 반도체 장치의 대량 생산을위한 프로토 타입 라인
이 기반의 설립을 통해 TIA Power Electronics Research Center는 개방형 혁신 하에서 최첨단 SIC 웨이퍼를 사용하여 대량 생산 기술의 개발을 가능하게하기 때문에 업계에 더욱 매력적이 될 것으로 예상됩니다 특히, 전압 저항이 10kV 이상인 초 저항 장치 및 초고 전압 장치의 개발에 사용될 것으로 예상됩니다 온라인 바카라는 전력 전자 장치 및 장치의 개방형 혁신 분야의 글로벌 연구 허브로 일본의 산업 경쟁력을 향상시키는 데 계속 기여할 것입니다