2 개의 공동 연구 회사 (Sharp Co, Ltd 및 Tdk Co, Ltd)는 가시 광선을 사용하여 가시 광선을 사용하여 100 바카라 사이트 쿠폰 (파장의 약 1/6)의 미세 패턴을 형성 할 수있는 새로운 리소그래피 기술을 개발했습니다 기존의 광학 리소그래피가 그러한 미세한 패턴을 형성하려고 시도 할 때, 비싼 단락 광원 노출 장치가 필요하지만, 이번에 사용 된 광원은 적색 반도체 레이저 (파장 635 바카라 사이트 쿠폰)이며 저비용 미세 패턴 형성 기술로 관심을 끌고 있습니다 향후 더 많은 연구를 통해 차세대 대용량 광 디스크를위한 마스터 제조 기술로 적용될 것으로 예상됩니다
이 개발 기술을 바카라 사이트 쿠폰하면 레이저 조명에 의해 생성 된 열이 생성됩니다저항필름에 패턴을 형성하는 방법이 바카라 사이트 쿠폰되었습니다 이러한 방법은 열 리소그래피로 알려져 있지만 미세 영역에 대한 반응을 제한하기가 어려웠습니다 이 개발 기술의 핵심은 기판 구조를 발명함으로써 열 발생 영역을 개선 할 수 있다는 것입니다
실험에서, 레이저 광의 효율적인 흡수 및 생성 열의 특성을 갖는 필름을 광학 디스크 기판 상에 형성하여 기질을 형성하고, 열과 반응하는 유형의 포토 레지스트가 필름 표면에 적용되어 샘플을 형성 하였다 노출 동안, 샘플을 회전시키는 동안, 빨간색 레이저는 기판의 뒷면으로부터 조사되었다 레이저의 전력 및 회전 속도를 제어함으로써, 열 확산은 레이저 스팟 크기 (약 1 미크론)보다 훨씬 작아서 선 너비가 110 바카라 사이트 쿠폰이고 직경이 80 바카라 사이트 쿠폰 인 도트 패턴의 선 패턴을 초래할 수 있습니다 성공적인 소형화의 이유는 기판에서 생성 된 열이 저항 필름과 직접적으로 나오지 않고 반응에 사용 되었기 때문이라고 믿어진다
이 결과는 9 월 13 일 Applied Physics (Aichi Institute of Technology에서 개최)에서 발표 될 것입니다
현재 광학 리소그래피를 바카라 사이트 쿠폰한 LBRS (Laser Beam Recorders)는 마스터 광학 디스크를 만드는 데 바카라 사이트 쿠폰됩니다 또한, 전자 빔 리소그래피를 바카라 사이트 쿠폰한 전자 빔 레코더 (EBR)는 미세한 구덩이 패턴을 만들기 위해 개발되었습니다
미래의 고밀도 광학 기록은 최소 구덩이 길이가 약 100 바카라 사이트 쿠폰 인 미세 조용 기술이 필요합니다 이를 현재 LBR의 확장으로 달성하려면 짧은 파장 레이저 광원과 새로운 광학 재료를 도입해야합니다 또한 EBR은 고속 및 높은 정확도로 대형 직경 마스터 디스크를 회전하는 메커니즘과 같은 복잡하고 정교한 기술 개발이 필요하며, 전자 빔의 제어 및 회전과 관련된 위치 정확도의 감소를 보상합니다 두 경우 모두 장치는 필연적으로 더 복잡하고 점점 더 크고 비싸게됩니다 따라서, 미세 가축 기술이 저렴하고 다루기 쉬운 취급이 필요합니다
(1) 패턴 형성 원리
이 개발 기술은 연구소에서 일하고있는 슈퍼 렌즈를 포함한 광학 기록 기술 연구에서 탄생했습니다 즉, 이번에는 동일한 광원과 광학 시스템을 바카라 사이트 쿠폰하여위상 변경 레코드필름에서 약 100 바카라 사이트 쿠폰 마크를 녹음 할 수 있으며, 이는 리소그래피에 적용됩니다
레이저 파장 및 광학 시스템에 의해 결정된 회절 한계를 훨씬 초과하는 미세 표시가 기록 될 수있는 이유는 조사 된 레이저 라이트 (그림 1) 레이저 광 조사에 의해 생성 된 온도 분포는 레이저 전력, 디스크 회전 속도 및 위상 변화 필름의 필름 두께, 흡수 계수, 열전도율 등에 의존합니다 이러한 조건을 최적화하여그림 1에 표시된 바와 같이, 기록에 필요한 온도를 초과하는 영역의 범위는 광면 크기보다 작을 수 있습니다
9872_9995그림 2에 표시된 바와 같이, 필름이 블루 라이트로 전체 표면에 노출 될 때, 처리를 개발하여 제거 할 수있는 필름으로 바뀝니다 그 후, 빨간색 레이저 광으로 패턴 화 될 때, 열이 덮여있는 영역 만 위에서 언급 한 열 가교 반응에 적용됩니다 가교 된 부분은 개발자에 용해되지 않고 기판에 남아 패턴이 형성됩니다
(2) 실험 방법
기판은 ZnS-SiO2 (하단 층), GE-SB-TE (GST) 및 ZnS-SIO2 (표면 층)가 상업적으로 이용 가능한 광 디스크 기판 (랜드 그루브와 함께 폴리 카르 보네이트로 제조)에서 RF- 스퍼터링에 의해 연속적으로 형성되는 다층 구조였다 두께는 각각 200, 15 및 20 바카라 사이트 쿠폰입니다 이 외에도, 스핀 코팅에 의해 70 바카라 사이트 쿠폰 두께의 포토 레지스트 필름을 적용하여 샘플을 형성했습니다 (그림 3)
ZnS-SiO2는 GST 필름의 산화를 방지하고 디스크 기판의 열 변형을 방지하기위한 보호 층이다 GST 필름은 인기있는 위상 변화 기록 필름이지만, 광 흡수 및 열 발생 층으로서의 이전 연구를 통해 열 생성 조건이 완전히 이해되었으므로, 이는 가벼운 흡수 및 열 발생 층으로 바카라 사이트 쿠폰되었습니다 다른 재료는 유사한 특성을 나타내는 한 바카라 사이트 쿠폰될 수 있습니다
광학 디스크 평가 구동 장치에서 샘플을 장착하고, 6m/s의 선형 속도로 회전하고, 디스크 측면에서 06의 수치 조리개를 갖는 광학 시스템을 통해 적색 레이저 라이트 (파장 635바카라 사이트 쿠폰)로 샘플을 장착하고 착륙의 GST 필름에 초점을 맞추면 패턴 형성이 수행되었다 원자력 현미경 (AFM)을 사용하여 형성된 패턴을 관찰 하였다
(3) 실험 결과
형성된 선의 AFM 이미지그림 4에 표시됩니다 레이저 전력은 40MW였으며 패턴은 약 400 회 회전에 의해 형성되었다 선 너비와 높이는 각각 110 바카라 사이트 쿠폰 및 35 바카라 사이트 쿠폰입니다 광학 시스템 및 빛의 파장으로부터 계산 된 회절 한계는 530 바카라 사이트 쿠폰이며, 이는 약 1/5에 도달하는 미세한 선이 형성 될 수 있음을 의미한다
35MW 및 45MW의 전력에서 유사한 실험이 수행되었지만, 어느 경우에도 패턴은 관찰되지 않았다 35MW에서 온도 상승은 충분하지 않지만 45MW에서는 광주자가 파손되거나 증발 할 수 있습니다
그림 5펄스 레이저 라이트를 사용하여 도트가 생성되는 예입니다 레이저가 켜져있을 때의 전력은 14MW이고 펄스 주파수는 6MHz이고 의무는 30%입니다 제조 된 도트는 직경이 105 바카라 사이트 쿠폰이고, 회절 한계를 훨씬 초과하는 미세 구조가 형성된다
그림 6펄스 레이저 라이트를 사용하여 도트가 생성되는 예입니다 전력과 주파수는 그림과 동일합니다 5, 그러나 더 미세한 점을 형성하기 위해 의무는 20%로 설정되었습니다 결과적으로, 점의 직경은 대략 80 바카라 사이트 쿠폰였다
이 실험은 비교적 저렴하고 간단한 장치 구성 및 프로세스가 회절 한계보다 훨씬 더 미세한 100 바카라 사이트 쿠폰의 패턴을 형성 할 수 있으며이 방법의 효과가 확인되었음을 밝혀 냈습니다
추가 연구가 미래에 수행 될 것이며 패턴 치수 및 모양의 제어 가능성광학 디스크 원본목표는 제조 공정에 대한 적용 가능성을 향상시켜 광학 디스크 마스터 생산에 대한 적용의 기본 사항을 설정하는 것입니다