국립 고급 산업 과학 기술 연구소 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) (이하 "AIST"라고 함)는 실온에서 단순한 인쇄 제조 공정 (진공 공정이 필요 없음)을 사용하여 정상적인 가압 기술을 사용하지 않고 생산할 수있는 바카라 룰농 박막 트랜지스터를 만드는 기술을 성공적으로 개발했습니다 이것은 바카라 룰 박막 트랜지스터를 사용할 수있게한다Submicron우리는 채널 길이 05 µm를 달성하고 1V 이하의 저전압에서 구동되는 바카라 룰형 박막 트랜지스터를 개발했습니다
이 기술 개발을 통해스크린 프린트기타 제조 및 인쇄 가능통합 회로
이 결과는 Applied Physics에 관한 제 49 회 연합 강의에서 발표 될 예정이다
○ 바카라 룰 박막 트랜지스터의 경우 10 µm 이하의 채널 길이 제어가 어려웠습니다
일반적으로,필드 효과 트랜지스터의 개발에서 짧은 채널 길이를 만드는 방법은 속도와 높은 통합의 열쇠를 보유한 중요한 기술 개발 문제입니다 바카라 룰 필드 효과 트랜지스터의 개발에서, 실리콘과 같은 기존의 무기 반도체 재료를 사용하여 현장 효과 트랜지스터의 요소 구조를 모방함으로써 요소가 주로 개발되었으므로 동일한 방식으로 짧은 채널 길이를 얻기 위해 포토 리소그래피와 같은 마이크로 보존 기술을 조정해야한다 그러나 바카라 룰 물질에서는 리소그래피로 인해 재료 자체가 악화되는 문제가 있으며, 미세한 가공에 부적합한 것으로 간주되었습니다
○ AIST에 의해 발견 된 트랜지스터 구조는 간단한 제조 공정을 사용하여 제작할 수 있으며 고성능을 나타냅니다
AIST는 무기 반도체 재료를 기반으로 기존의 필드 효과 트랜지스터의 장치 구조를 모방하기보다는 바카라 룰 반도체 재료에 적합한 장치 구조를 개발하여 필요한 성능을 달성 할 수있는 트랜지스터 요소를 개발했습니다 소스 전극, 배수 전극 및 바카라 룰 반도체 층의 배열 및 생산 순서의 배열을 포함하여 생산 순서가 크게 변경되었으며, 평면 구조는 3 차원 모양으로 성공적으로 이루어졌다 결과적으로, 완전히 새로운 트랜지스터 요소 구조에 의해 구동되는 완전히 새로운 트랜지스터 요소 구조를 갖는 완전히 새로운 트랜지스터 요소 구조를 갖는 바카라 룰농 박막 트랜지스터의 세계 최초의 성공적인 개발
○ 요소 구조의 반전
실리콘을 사용한 종래의 전계 효과 트랜지스터에서, 소스 및 배수 전극은 기본적으로 병렬 배열로 생성되었습니다 따라서, 두 전극 사이의 거리가 채널 길이가되기 때문에, 전극 사이의 좁은 거리를 얻기위한 미세 가공 기술이 필수화되었다
이번에는 AIST에 의해 개발 된 바카라 룰 트랜지스터에서 소스 전극 및 배수 전극은 3 차원의 대각선 배열로 배열되며 배수 전극, 바카라 룰 반도체 층 및 소스 전극을 연속적으로 순서대로 스태킹하는 것으로 구성됩니다 (특허 출원 중) 따라서, 채널 길이는 배수 전극과 소스 전극 사이에 샌드위치되어 형성된 바카라 룰 반도체 층의 두께 (나노 미터의 순서)에 의해 정의된다
○ 저전압 드라이브 트랜지스터의 실현
가용성 및 인쇄 가능전도성 폴리머 물질10598_10716하위 임계 값 경사06V/10 년를 얻을 수있었습니다 이 값은 상당히 높은 이동성을 나타내는 바카라 룰 반도체 재료로 알려진 "펜타 센 단일 결정"을 사용하여 제조 된 필드 효과 트랜지스터 장치로 얻은 것과 비슷합니다 Pentacene은 바카라 룰 반도체 재료이지만 인쇄 공정에 의해 제조 될 수없는 반도체 재료입니다 따라서 오늘날 AEST의 결과는 인쇄 (코팅 제조) 공정에 적응할 수있는 중합체 기반 바카라 룰 반도체 재료를 사용하는 전계 효과 트랜지스터의 세계에서 가장 높은 성능입니다
○ 인쇄용 반도체 재료는 인쇄 프로세스를 적용 할 수 있도록 사용해야합니다
인쇄 프로세스는 바카라 룰 트랜지스터에 적응할 수있을 것으로 예상되지만, 인쇄 공정이 동일한 재료, 즉 용매 가용성 인 반도체 재료에 적응할 수 있다는 제약이 있습니다 오늘날 미국의 IBM과 Lucent 기술은 우수한 특성을 나타내는 바카라 룰 트랜지스터를보고했지만, 우수한 성능을 나타내는 모든 성능은 용매 용해도가 낮고 인쇄 공정에 적응할 수없는 바카라 룰 반도체 재료를 사용하는 것입니다
○ 새로운 요소 개발의 영향
이번에 개발 된 기술을 통해 미세 가공 기술을 사용하지 않고 정상 온도 및 압력 하에서 트랜지스터 요소를 제조 할 수 있으므로 통합 회로의 제조 공정을 크게 단순화하고 장비를 단순화하며 제조 비용을 줄일 수 있습니다 또한 일반적인 목적 인쇄 기술을 조정할 수 있으므로 인쇄가 가능합니다전자 장치| 제조 될 수있어 전자 장치의 제조 시간을 크게 줄일 수 있습니다
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상단 및 하단 접점 요소 구조
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바카라 룰 반도체는 실리콘 및 화합물 반도체 후 세 번째 반도체이며, 최근에는 실용적 사용을 향한 기술 개발에 대한 기대가 크다 특히, 바카라 룰 트랜지스터의 개발은 최근 몇 년 동안 종이와 같은 가볍고 부드러운 디스플레이로 전자 용지를 생성하고 무선 기간 동안 개별 제품 관리를 가능하게하는 전자 가격표 (차세대 바코드 : 바카라 룰 정보 태그)의 생성을 허용하기 때문에 강화되었습니다
바카라 룰 트랜지스터의 특징에는 "접힌 경우에도 작동 작동 없음"과 "간단한 인쇄 제조 공정을 사용하여 매우 저렴하게 제조 할 수 있습니다"가 포함되지만 이러한 개념이 실제로 현재 기술에 도입 되더라도 트랜지스터에 필요한 성능을 충족 할 수 없거나 특수한 inkjet 프린팅이 적용되지 않는 한 트랜지스터에 필요한 성능을 달성 할 수 없다는 문제였습니다
AIST는 정보 통신 기술의 기반을 확장하기 위해 차세대 반도체로서 "바카라 룰 물질을 사용하여 트랜지스터 개발"을 해왔습니다
우리는 안정적인 작동을 보장하고 통합 회로의 변환을 고려하기위한 기술을 개발할 것입니다