최고 연구원 우치 마루 유코 (Uchimaru Yuko), 고급 산업 과학 기술 연구소 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) (이하 "AIST"라고 불림) 환경 조화 기술 연구 부서 [Haruta Masatake의 회장]] Uchimaru Yuko, 수석 연구원은 말했다보라진"및"온라인 바카라 사이트콘 화합물"[그림 1]와 상호 연결된 네트워크 구조를 갖춘 중합체 (보라 진-온라인 바카라 사이트콘 폴리머)를 합성하고, 이노우에 마사미와 협력하여 일본 고급 전자 기술 개발 연구소 (이하 마크리다 카츠 히코 (Machida Katsuhiko)의 회장") (이 확인 필름으로 변환 된)초대형 통합 회로 (ULSI)반도체 장치다층 배선for인터레이어 절연 온라인 바카라 사이트재료에 대한 적용을 고려한 후, 21 이하의 상대 유전율을 나타냅니다 이는 차세대 반도체 표준을 실현하는 데 필요합니다 무화과 2
또한,이 재료를 절연 층의 하드 마스크 재료로 사용하여 저지 전기 유기농 중합체 재료를 처리하기 위해, 배선 폭이 70 나노 미터의 배선 기술에 필요한 간 절연 층 (7/100,000; 현재 산업용 제품 사양이 200 나노 미터)유효 유전 상수또한 27이 달성 될 수 있음이 입증되었습니다
또한,이 재료의 마이크로 머시 싱 (Etching) 과정은 지구 온난화 가스입니다프레온 가스이후 필수는 아니며, 환경 친화적 인 de-fluoron 반도체 프로세스를 실현할 것으로 예상되는 재료이기도합니다
또한,이 재료는 반도체 절연 온라인 바카라 사이트 재료로서 우수한 전기 특성, 내열성 및 기계적 특성을 갖을뿐만 아니라 광학적 특성을 가지며 광학 재료로 사용될 것으로 예상되는 새로운 재료이다
이 연구 결과는 2002 년 4 월 1 일부터 미국 샌프란시스코에서 개최되는 "미국 재료 협회"2002 Mrs봄 회의"및"International Semiconductor Technology Forum "International Sematech Ultra Low K Workshop""에보고됩니다
보다 정교한 정보 사회를 실현하려면 ULSI 반도체 장치의 통합과 속도를 높이는 것이 필수적입니다 이를 위해 ULSI가 사용하는 인터레이어 절연 온라인 바카라 사이트을 줄임으로써 배선 사이에 축적 된 전기 커패시턴스를 줄여야하지만, 기존의 재료와 프로세스는 차세대 및 차세대 반도체 표준을 충족시킬 수 없었습니다
ULSI 반도체 장치의 높은 통합을 달성하기 위해, 다층 배선 기술은 반도체 기판에 여러 층의 배선을 형성하는데 사용된다 또한, 고속을 달성하기위한 배선 재료로서, 현재 알루미늄/구리 합금보다 저항력이 낮은 구리를 사용하는 방법이 고려되고 있지만, 다중 레이어 배선 사이의 종료 인행 온라인 바카라 사이트을위한 기존 재료의 성능을 훨씬 능가하는 새로운 고성능 단열 온라인 바카라 사이트의 개발에 대한 획기적인 수요가있었습니다 그러나, 과거에 사용 된 유전 상수가 낮거나 무기 재료가 있는지 여부에 관계없이 차세대 반도체 표준의 실제 적용에 필요한 다양한 조건을 충족시키는 재료는 아직 개발되지 않았습니다
또한, 인터레이어 절연 온라인 바카라 사이트을 사용한 현재의 미세 가공 공정에서, 지구 온난화 전위가 매우 높은 많은 양의 형광 카본 가스가 사용되며, 글로벌 환경 보존의 관점에서 플루오르로 카본 가스 및 미세 위치 기술이 필요하지 않은 새로운 층간 절연 온라인 바카라 사이트 재료를 실현하는 것이 바람직하다
AIST는 유기 온라인 바카라 사이트콘 폴리머와 같은 새로운 환경 조화로운 재료를 창출하는 기술을 개발했습니다 한편, ASET은 차세대 반도체 개발에 사용되는 플루오로 카본 에칭 가스의 양을 줄이고 플루오로 카본 에칭 가스를 사용하지 않는 다층 배선 기술을 개발했습니다
○ 반도체 통합 회로의 통합 및 속도를 높이기 위해 저 유전체 중합체 재료를 사용하여 새로운 고성능 단열 온라인 바카라 사이트에 대한 수요가 있습니다
다층 배선 사이의 층간 절연 필름 재료로 사용 된 무기 재료 (예 : 온라인 바카라 사이트콘 산화물)를 사용하여 현재 200 나노 미터보다 회로의 배선 라인 폭을 작게 만들려면 다공성에 의해 밀도를 줄임으로써 밀도를 줄여서 밀도를 줄여야한다는 것입니다 또한, 현재 고려중인 상대적 상대 유전 상수가 낮은 유기 중합체 물질은 열 저항성과 기계적 강도가 좋지 않기 때문에 실용적으로 사용되지 않았다 이러한 조건을 충족시키는 재료의 조기 개발은 ULSIS 생산에서 서로 제조하는 데 필수적인 문제입니다
○는 간단한 코팅 방법 (스핀 코팅)으로 얇게 만들 수 있으며 우수한 유전체 상수 특성을 갖습니다
세계에서 처음으로, AIST는 보라진 및 온라인 바카라 사이트콘 화합물이 번갈아 연결되는 네트워크 구조를 갖는 중합체를 개발했다 이 보라 진-온라인 바카라 사이트콘 폴리머는 ASET과 협력하여 얇게 만들어졌고이를 절연 필름 재료로 연구했으며,이 재료는 21 이하의 상대적인 유전율을 나타내는 것으로 입증되었으며, 이는 차세대 반도체의 층간 절연 필름 재료로 요구된다는 것이 입증되었다
○ 우수한 기계적 특성, 내열성 및 광학적 특성을 갖는 새로운 재료
이 자료Nanoindentation Method를 사용하여 평가할 때, 결과는 15 기가파스칼의 10 기가파스칼 및 탄성 계수의 경도를 갖는 단열 온라인 바카라 사이트의 기계적 특성이 실질적인 사용을 견딜 수 있음을 보여 주었다 또한,이 물질의 내열성을 전형적인 열 내성 유기 중합체 물질 인 폴리이 미드와 비교할 때,이 물질은 공기가 1%입니다체중 감소 온도405 ° C이고 5%는 564 ° C (모든 폴리이 미드는 400 ° C 범위에 있으며, 안정성이 충분합니다 또한, 물질의 굴절률은 146 (관찰 된 파장 : 633 나노 미터)은 폴리 메틸 메타 크릴 레이트의 151 값보다 훨씬 작으며, 이는 광학 물질로 널리 사용된다 반도체 절연 온라인 바카라 사이트 물질뿐만 아니라 광학 물질로도 사용될 것으로 예상됩니다
○ 유기 절연 온라인 바카라 사이트을위한 단단한 마스크 재료로 이상적입니다
이 물질은 유기 중합체 절연 필름과 비교하여 수소 및 질소 가스를 사용하여 혈장 에칭에 대해 충분히 느린 에칭 속도를 가지고있다 (이 물질은 가장 전형적인 유기 중합체 절연 물질 중 하나 인 실크 1/7 미만의 에칭 속도 (Dow Chemical Co, Ltd) 따라서,이 재료는 유기 절연 필름에 적용되어 에칭 테스트를 거쳤으며, 하드 마스크 재료로서 유용하다는 것이 확인되었다 이 물질은 유전 상수가 4 인 온라인 바카라 사이트카와 같은 무기 재료보다 상대적으로 상대적으로 유전율이 상당히 낮으며, 불소 카본 가스는 에칭 가스로 사용되지 않기 때문에 절연 필름뿐만 아니라 이상적인 하드 마스크 재료로도 예상됩니다
○는 반도체 미세 계산 (Etching) 공정에서 사용되는 지구 온난화 가스의 양을 줄이는 데 기여합니다
현재 사용되는 중간 층 절연 온라인 바카라 사이트 에칭 프로세스는 지구 온난화가 높은 많은 양의 형광성 카본 가스를 사용하며, 플루오로 카본 가스가 필요하지 않은 새로운 층간 절연 온라인 바카라 사이트 재료 및 프로세스를 실현하는 것이 바람직합니다 이 물질은 4000 Å/분의 실제 속도로 염소 가스로 에칭되는 것으로 입증되었습니다 염소 가스는 현재 공정에서 금속 배선의 에칭 가스로 사용되며 회복 기술이 확립되었습니다 이는 플루오로 로코 카본 가스를 사용하지 않고 제조 할 수있는 환경 친화적 인 De-Fluoron 다층 배선 기술을 건설하는 방법을 열어줍니다
앞으로, 우리는 분자 구조의 최적화와 안정화를 조사하여 상대 유전 상수를 더욱 줄이고이 보라진-온라인 바카라 사이트콘 폴리머 물질의 기계적 강도를 증가시킬 것이며,이 물질을 사용할 것입니다통합 기술 (통합)| 개발 될 예정이며 실제 사용을 촉진하기 위해 추가 배선 테스트가 수행됩니다