차세대 광학 공학 연구 연구소 [실험실 디렉터 Tominaga Junji], 바카라 커뮤니티 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) ( "AIST"라고 함)는 공허에서은 산화 은색 박막입니다수소 대기 감소를 수행함으로써, 3 차원 방식으로 폴리 카보네이트 광학 디스크 기판에서 20-30 nm의 균일 한 직경을 갖는은 온라인 바카라 입자 및 온라인 바카라 와이어 어셈블리를 형성하는 기술이 개발되었다
기존의은 온라인 바카라 입자 및 온라인 바카라 와이어는 일반적으로 수용액에서은 이온을 집계하여 이들을 생성하거나 진공 증발에 의해 기판 표면에 2 차원 섬과 같은 구조를 생성함으로써 제조되었다 그러나,은 온라인 바카라 입자를 사용한 광학 장치의 사용은 고르지 않은 응집력의 발생 및 2 차원 섬과 같은 구조의 불균일성과 플라스틱과 같은 낮은 융점 재료의 표면에 필름을 형성 할 수 없기 때문에 제한되었다
이번에는 AIST의 차세대 광학 공학 연구소가 개발 한 "은 산화 은색 박막의"진공 수소 분위기 감소 처리 "는 산화 은색 온라인 바카라 입자 및 온라인 바카라 입자 및 온라인 바카라 와이어를 실온에서 약 5 분 동안 20-30 nm의 온라인 바카라 와이어를 산화상으로 퇴적하는 기질을 가열하지 않고 허용합니다 또한, 진공 필름 형성으로 이전에 불가능했던 3 차원 온라인 바카라 입자를 형성 할 수 있기 때문에, 차세대 초 고밀도 광학 기록을 만들 수있다Nanopits의 Photofield 강화 판독ya,Photonic Crystal등이 널리 예상됩니다
이 연구의 상세한 실험 결과는 2002 년 9 월 16 일부터 19 일까지 스위스에서 개최 될 Micro and Nano Engineering (마이크로 및 온라인 바카라 엔지니어링2002 : MNE 2002)에서 발표 될 예정입니다
고귀한 금속 온라인 바카라 입자 및 온라인 바카라 와이어는 "화학 반응을 촉진하는 촉매", "단일 전자를 이용하는 차세대 전자 장치"또는 "온라인 바카라 입자의 표면에서 생성로컬 플라즈몬 라이트|로 알려진 전기장 강화를 사용하는 광학 장치에 적용될 것으로 예상됩니다 합성, 화학적으로, 수소 감소 (수용액에서 금속 복합체가 응집되고 가열되는 방법) 및 물리적으로 진공 증발 (진공 증착 시작시 2 차원 섬과 같은 구조를 사용하여 열처리가 수행되는 방법) 그러나, 이들 합성 방법은 수성 용액의 수소 감소 후, 부분 응집이 발생하고 부분적으로 균일하게 형성 될 수 없으며, 섬과 같은 구조를 2 차원 적으로 형성하는 것은 불가능한 경우에도 2 차원을 형성하는 것이 불가능한 경우에도 온라인 바카라 입자가 표적 물질의 표면에 코팅 될 때와 같은 문제가있다
이번에는 AIST의 차세대 광학 엔지니어링 연구 실험실에서 개발 한 새로운 기술은은 온라인 바카라 입자 또는 온라인 바카라 와이어 사이에 약한 신호를 생성합니다 온라인 바카라 피트 (온라인 바카라 미터 직경의 작은 구덩이)에서 차세대 초고 밀도 광학 기록강력한 전기장 강화 (현지화 된 플라즈몬 향상 효과)신호 재생산을 활성화합니다
새로운 기술을 사용하여은 온라인 바카라 입자 및 온라인 바카라 와이어의 형성을 위해, 진공 필름 형성에 의해 제조 된은 산화 은막을 사용 하였다 은 산화 은색 박막이 최근에있었습니다슈퍼 렌즈라는 초고 밀도 광학 디스크를위한 판독 층으로 수행되고 있습니다 은 산화상 박막의 조성은 필름 형성 동안 산소 가스의 유속에 의해 제어 될 수 있으며, 많은은을 함유하는 조성물은 많은은을 함유하는 것들로부터 쉽게 합성 될 수있다 은 산화된 박막을 형성하기위한 기질은 si, sio2, 폴리 카보네이트 광학 디스크 기판이 사용되었다 진공 필름 형성 방법에 의해 생성 된은 산화 은색 박막 (약 100-200nm)은반응성 이온 에칭 장치10282_10379
SI 기질상에서은 산화은 박막을 200 nm에 증착 한 실험의 주사 전자 현미경 사진, 수소 및 산소의 혼합 비율을 3 : 1로 설정하고, 수소 환원 처리를 5 분 동안 수행 하였다 1이 전자 현미경 사진 및광학은 플라즈몬 공명 흡수이후 은색 온라인 바카라 입자가 산화은의 수소 감소에 의해 3 차원으로 형성 될 수 있음을 확인 하였다
그림 1 은색 온라인 바카라 입자 어셈블리는 수소-산소 비율 (3 : 1)에서 5 분 동안 감소 처리를 받았다
[온라인 바카라 입자의 직경은 균일합니다
다음으로, 폴리 카보네이트 광학 디스크 기판에서 20nm에서 DVD와 같은 광 디스크에 사용되는 유전체 재료를 증착 한 후,은 산화물 박막이 같은 방식으로 100 nm에서 형성되었고, 수소 감소가 약 2 분 동안 수행되었다 2 현재, 수소 및 산소 흐름 비율은 4 : 1로 설정되었다 온라인 바카라 와이어를 광 디스크의 기록 표면의 약 25mm 내지 55mm의 반경에 균일하게 형성 하였다 온라인 바카라 와이어의 직경은 약 30nm입니다 와이어 사이에는 약 10nm의 공간이있어 강력합니다광전 필드 향상 효과예상 될 수 있습니다
그림 2 : 수소-산소 비율 (4 : 1)에서 약 2 분 동안 환원 처리를받는 광 디스크 기판 표면
[은 온라인 바카라 와이어가 형성되었음을 확인할 수 있습니다]
[온라인 바카라 와이어의 직경은 균일합니다
실제 기록은 빨간색 레이저를 사용하여 상기 조건 하에서 제조 된 광 디스크에서 수행되었으며, 온라인 바카라 와이어 사이에 생성 된 국소화 된 플라즈몬 빛을 사용하여 마이크로로드 된 마크의 판독 특성을 평가 하였다 그러나, 제조 된 광 디스크는 디스크 표면에 유전체 및 실버 온라인 바카라 와이어 필름 만 가지며 기록 층이 없다 필름 형성 광 디스크의 사진 및 기록 된 부분의 전자 현미경 사진이도 1에 도시되어있다 3 온라인 바카라 와이어 밀도가 200nm 마크 기록 섹션에서 변화한다는 것을 알 수 있습니다 기록 된 신호를 읽었을 때, 약 05MW의 낮은 전력에서도, 빛의 회절 한계보다 작은 200nm의 마크 신호는 높은 감도로 판독 될 수 있음을 확인했다 이것은 기존 슈퍼 렌즈의 판독 레이저 강도의 약 1/8이며 약 40MW이며, 최적의 판독 력을 20-25MW로 줄일 수 있음이 확인되었습니다
그림 3 : 수소-산소 비율 (4 : 1)에서 약 2 분 동안 감소 된 광 디스크 (a)에서
200nm 직경 (B)의 광학 기록 후 SEM 이미지 (오른쪽 하단 확대)
[기록 된 영역의 온라인 바카라 와이어 밀도가 증가했습니다]
위의 결과가 보여 지듯이, 은산화수소 박막의 진공 수소 분위기 감소 처리는 단기간 (5 분 미만)에 넓은 영역에 걸쳐 은색 온라인 바카라 입자와 온라인 바카라 와이어를 안정적으로 공급할 수 있으며 향후에 적용될 것으로 예상되는 기술입니다
이 결과는 은색 온라인 바카라 입자와 온라인 바카라 와이어의 3 차원 형성을 가능하게했지만, 향후 초 고밀도 광학 기록 및 광 결정, 입자 및 와이어 방향 제어 기술에 대한 적용에서는 필요합니다 이러한 도전은 미래에 극복되어야합니다