국제 무역 산업부 산업 기술 연구소, 바카라 커뮤니티 물리적 특성 실험실 랩 리더, 이와타 야츠구 구 (Iwata Yasutsugu) 등은 레이저의 충격파를 성공적으로 사용하여 가스 단계에서 바카라 커뮤니티 빔의 생성에서 15μs 이상의 04mm 폭에 바카라 커뮤니티 성장 영역을 포획했습니다 바카라 커뮤니티 성장 영역을 공간적으로 제한함으로써 크기, 전자 상태, 결정 구조 및 바카라 커뮤니티와 같은 기능적 바카라 커뮤니티 빔을 생성 할 수 있습니다 기능성 바카라 커뮤니티 빔은 바카라 커뮤니티 기반 증기 위상 프로세스 기술에서 하위 나노 미터 미세 구조 제어 기술의 실질적인 적용을위한 길을 포장합니다 이 연구는 도쿄 대학교 공학 대학원 교수 인 Sawada Tsuguro와 공동 연구의 일환으로 수행되었습니다
물질로서의 적용을 고려할 때 반도체 및 금속의 바카라 커뮤니티를 생성해야합니다 반도체 및 금속은 높은 융점을 가지기 때문에, 고체는 레이저에 의해 기화되고 불활성 가스로 응집되어 바카라 커뮤니티를 형성한다 이 방법을 "레이저 증발 방법"이라고합니다 종래의 레이저 증발 방법에서, 고체 샘플의 증기와 불활성 가스가 바카라 커뮤니티 생성 셀에서 균일하게 혼합되지 않았기 때문에 군집 성장의 조건 (온도, 밀도)은 균일하지 않았다 일반 화학 반응에서 반응 속도와 생성물은 온도와 농도에 따라 다르다는 것이 잘 알려져 있습니다 이전 실험은 온도와 농도가 또한 바카라 커뮤니티 성장에서 생성 된 바카라 커뮤니티의 크기를 결정한다는 것을 밝혀냈다 따라서, 우리는 좁은 시공간 영역에서 바카라 커뮤니티 생성 영역을 제한하여 열역학적 조건을 정확하게 정의 할 수있는 바카라 커뮤니티 소스를 개발하고 균일 한 내부 구조 (크기, 구조 등)가있는 바카라 커뮤니티를 생성하려고 시도했습니다
새로운 원리 바카라 커뮤니티의 공급원은 그림 1에 나와 있습니다 바카라 커뮤니티 성장 영역의 구속은 고체 샘플이 레이저로 기화 될 때 불활성 가스에서 발생하는 충격파의 사용을 포함합니다 충격파는 셀 벽에 반사 된 다음 고체 샘플 증기 상과 충돌합니다 세포 모양을 구상 형태로 만들어서 충격파와 증기 상 사이의 충돌 위치는 특정 위치에서 정의됩니다 이 충돌 위치에서 바카라 커뮤니티 생성 영역은 일정 시간 동안 정의됩니다 실리콘은 불활성 가스로서 고체 샘플 및 헬륨으로 사용되었고, 고속 카메라를 사용하여 바카라 커뮤니티 성장 영역의 구속 공정을 직접 관찰하기 위해 바카라 커뮤니티 생성 셀의 측면에 관찰 창이 제공되었다 결과는 다음과 같이 요약됩니다
(1) Laser 조사에 의한 실리콘 증기는 헬륨 가스에서 충격파와 충돌하고 세포의 벽에 도달하기 전에 멈 춥니 다
(2) 1300 PA의 압력으로 헬륨 가스가 도입되었을 때, 레이저 조사 후 10 µs 동안 실리콘 샘플의 표면으로부터 6mm 위치에서 고려 된 발광 이미지가 관찰되었다 또한 발광 이미지가 15 µs로 진동하는 것으로 관찰되었습니다 이 방출은 헬륨 증기 상, 즉 바카라 커뮤니티 성장 영역의 혼합 영역이 고밀도에 국한되어 있다는 사실에 의해 야기된다 방출 강도 분포는 매우 날카 롭고 최대 강도에서 04mm로 벗어나면 방출 강도가 약화됩니다 즉, 바카라 커뮤니티 성장 영역은 15 µs 이상의 폭 04 mm의 영역에 제한된 것으로 관찰되었다 그림 2 참조
(3) 실리콘 증기 파면의 공간적 및 시간적 국소 영역에 한정된 혼합 기체상에서 균일 한 온도 및 증기 위상 밀도가 형성된다 이를 통해 바카라 커뮤니티 성장 조건을 균일하게 정의하여 크기, 전자 상태 및 결정 구조와 같은 균일 한 내부 구조를 갖는 기능적 바카라 커뮤니티 빔의 생성을 허용합니다
(4) 열역학적 조건과 바카라 커뮤니티 성장의 제한 시간을 조정하여 모든 크기의 바카라 커뮤니티 빔을 생성 할 수 있습니다
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그림 1 : "공간-시간 제한 유형 기능 바카라 커뮤니티 빔 소스"
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그림 2 : 바카라 커뮤니티 성장 영역의 성공적인 시공간 감금
트래핑은 높은 헬륨 압력에서 성공했습니다 (A) (바카라 커뮤니티 성장 영역 = 증기 파면)
감금은 낮은 헬륨 압력 (b)에서 발생하지 않습니다
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우리는 균일 한 크기의 바카라 커뮤니티 빔을 추출하고 결정 기판에서 증발하여 장거리 바카라 커뮤니티의 형성을 관찰하기위한 실험을 진행할 계획이다
이 바카라 커뮤니티는 안정적인 나노 미터 스케일 결정 구조를 가지며 표면적 비율이 높으므로 화학적 반응성이 우수하고 감광성이 우수합니다 동일한 바카라 커뮤니티 크기, 전자 상태 및 결정 구조를 갖는 기능적 바카라 커뮤니티 빔은 박막 생성 공정에서 매우 정확한 나노 레벨 미세 구조 제어를 가능하게하며 정보 인프라 기술 및 에너지 기술을 포함하여 광범위한 분야에서 사용될 것으로 예상됩니다 구체적으로, 박막 태양 전지에서 미세 입자를 제어하고 자기 기록 매체의 밀도를 증가시키는 데 사용될 수있다