새로운 원리 안전한 바카라 사이트 소스 SCCS를 사용하여 균일 한 크기의 기능적 안전한 바카라 사이트 빔을 성공적으로 생성합니다

안전한 바카라 사이트 프로세스 협업 연구소, 산업 정부-아카데미아 협력부, 국립 고급 산업 과학 기술 연구소, 연구소 Iwata Yasutsugu 및 기타 연구원 및 기본 안전한 바카라 사이트 안전한 바카라 사이트 소스를 개발했으며, "Spatio-the Scnest Cluster ScCS"를 개발했으며, 이전보다 실리콘 안전한 바카라 사이트를 성공적으로 생산했습니다 결과 실리콘 안전한 바카라 사이트의 크기는 si₂₃안전한 바카라 사이트를 사용하여 산업 분야와 단기 저비용 안전한 바카라 사이트 필름 형성에 적용하려면 균일 한 크기가 필수적입니다 생성 된 실리콘 안전한 바카라 사이트 빔이 비정질 탄소 박막 상에 증착되었을 때, 입자 크기가 2-3nm 인 실리콘 입자가 박막에서 관찰되었다 안전한 바카라 사이트 빔의 증착은 입자 사이의 융합없이 균일 한 입자 크기를 갖는 분리 된 입자를 관찰하고 거대한 입자로 성장할 수있게하여 안전한 바카라 사이트 빔을 사용하여 나노 구조 제어 필름 형성 기술을 개발하는 것이 현실적입니다 이 연구는 도쿄 대학교 공학 대학원 교수 인 Sawada Tsuguro와 공동 연구의 일환으로 수행되었습니다

안전한 바카라 사이트는 안정적이고 크기가 제어 가능한 나노 입자이므로 전통적인 CVD (화학 증기 증착) 박막을 생산하는 방법으로 주목을 끌었으며 장치로 변환 할 수 있습니다 안전한 바카라 사이트 필름 형성 장치는 기존의 것보다 1 배 또는 더 높은 정밀도를 달성 할 것으로 예상된다 그러나, 종래의 안전한 바카라 사이트 생성에서, 생성 된 안전한 바카라 사이트의 크기와 구조는 크고 특정 크기의 안전한 바카라 사이트를 추출해야하므로 작은 증착 밀도가 단점을 가져옵니다 안전한 바카라 사이트 필름 증착 기술을 산업 분야에서 실질적으로 사용하기 위해서는 고강도에서 균일 크기의 안전한 바카라 사이트 빔을 생성하는 것이 필수적입니다 지금까지 우리의 연구 그룹은 새로운 원칙의 출처, 시공간 감금 유형 안전한 바카라 사이트, SCCS (시공간 제한된 안전한 바카라 사이트 소스)가 생산되어 안전한 바카라 사이트 성장 영역을 시공간적으로 제한했습니다

생성 된 안전한 바카라 사이트의 크기 분포는 그림 1에 나와 있습니다 이번에는 산업 분야에 적용될 수있는 실리콘 안전한 바카라 사이트를 만들었습니다 시₂₃46%, si₁₉14%, si₂₁크기 분포는 12%이고 크기 분산은 5%미만이며, 이는 기존 안전한 바카라 사이트 소스에 의해 생성 된 안전한 바카라 사이트의 크기 분포와 유의하게 다릅니다

SCC와의 안전한 바카라 사이트를 생성함으로써 공간-전임 구속 안전한 바카라 사이트 소스는 제어 된 나노 구조를 갖는 박막 생성 공정이 가능할 것으로 예상된다

그림 1 : 균일 한 크기의 실리콘 안전한 바카라 사이트를 성공적으로 생성 생성 된 실리콘 안전한 바카라 사이트의 크기 분포는 5%미만으로 감소되었습니다

SCC에 의해 생성 된 안전한 바카라 사이트가 비정질 탄소 박막에 증발 될 때, 입자 크기가 2-3nm 인 실리콘 입자가 박막에서 관찰되었다 입자를 안전한 바카라 사이트 빔의 증착에 의해 함께 융합시키고 거대한 입자로 성장시키고, 균일 한 입자 크기를 갖는 분리 된 입자가 관찰되었다

이 결과로부터, 안전한 바카라 사이트 빔을 사용하여 나노 구조 제어 필름 형성 기술, 즉 나노 구조 순서를 만들기 위해 동일한 크기의 안전한 바카라 사이트를 배열하는 필름 형성 방법을 개발하는 것이 현실적이되었습니다