Ceramics Research Division, Ceramics Research Division, [회장 : Yoshikawa Hiroyuki] (이하 "AIST"로 언급) 온도 이것온라인 바카라 가스 센서는 유연성이 뛰어나고 구부러 질 때도 파손되지 않습니다또한이 기술에는 "하향식프로세스 ""온라인 바카라은 원자 및 분자 수준에서 기판, 소위 ""상향식 프로세스"는 액체상에서 미세 형성 온라인 바카라을 가능하게합니다주요 특징이며, 이것에 의해 얻은 온라인 바카라 미세 구조는해상도현재 마이크로 미터 크기의 전자 부품에 필요한 해상도와 비교할 수 있습니다 (1 개의 마이크로 미터는 1 백만 분의 1 미터 길이)
이 기술은 저온 코팅 온도와 CO를 제공하며, 온라인 바카라 산업에 필요합니다2배출량 감소 (이산화탄소 배출)에 기여할 수있을뿐만 아니라, "상향식 프로세스"를 강화하기위한 핵심 기술이 될 수 있으며, 이는 나노 기술에서 실질적인 단계로의 연속의 열쇠를 보유한 과정으로 관심을 끌었습니다
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유연한 가스 센서
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초소형, 초경량, 차세대 전자 재료 및 시스템 분야에서 고도로 통합장치를 생산하기 위해 기술 개발이 전 세계적으로 활발하게 수행되고 있습니다 가스 센서 산업은 예외는 아니며, 최근 수소 사회, 배출 규정, 다이옥신 문제 및 연료 전지의 소형화로 인해 여러 위험하고 유해한 가스를 즉시 식별하고 탐지 할 수있는 작고 경량의 고성능 센서를 개발할 필요가 있습니다 이를 위해서는 센서 자체가 소형화 된 기술을 개발하고 기판의 특정 위치에서 특정 유해 가스에만 반응하는 여러 센서를 개발해야합니다 전통적으로, 온라인 바카라 박막은 반도체 프로세스 (리소그래피 및 에칭) 또는 소위 "하향식 공정"에 의해 원하는 형태로 미세 조정되어 있지만 대부분의 온라인 바카라은 화학적으로 매우 안정적이기 때문에 화학적으로 화학적으로 분해하고 제거하는 반도체 프로세스에 적합하지 않으므로 처리하기가 어렵습니다
또한, 중합체 필름에서 온라인 바카라 박막을 제조 할 때, 온라인 바카라 박막에 대한 접착력이 낮다는 문제가있다 따라서, 가장 중요한 문제는 중합체와 온라인 바카라 박막 사이의 접착력을 향상시키는 것이었다
이러한 배경을 바탕으로 AIST Ceramics Research Group은 온라인 바카라의 저온 합성 및 "상향식 프로세스"의 저온 합성을 허용하는 수성 솔루션 프로세스를 최대한 활용하여 초고전적이고 초경량 중력 인 "매우 유연한 마이크로 가스 센서"를 성공적으로 개발했습니다
구체적으로, 1 내지 3 나노 미터의 두께를 갖는 무기 층을 사전 코팅함으로써 가스 감지 온라인 바카라 박막과 중합체 필름 사이의 접착제 층으로서 중합체 필름에서 1 내지 3 나노 미터 (1 나노 미터는 1 미터의 10 억 분의 길이이다)를 미리 코팅함으로써, 중합체 필름과 온라인 바카라 박막 사이의 우수한 접착력을 보장 할 수있게되었다 또한, 가스 탐지 온라인 바카라 박막을 형성하기 전에, 기술은 특정 영역의 접착제 층에서 온라인 바카라 박막을 부착하는 것을 방지하는 유기 층 (두께가 1 내지 3 나노 미터)을 형성함으로써 중합체 필름에서 원하는 위치에서 마이크로 온라인 바카라 센서를 선택적으로 제조하는 데 개발되었다
온라인 바카라 박막에 가스 선택성을 부여하는 기술이 확립되며, 여러 가스를 동시에 탐지 할 수있는 마이크로 가스 센서가 하나의 중합체 필름에 통합 될 것이다