세계 최고 정밀 평탄도 온라인 바카라 사이트 달성

바카라 커뮤니티 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) (이하 "AIST")온라인 바카라 사이트 표준 연구 부서[부서장 Akira Ono], Fuji Photography Koki Co, Ltd의 협력과 함께 [Higuchi Takeshi 사장 겸 CEO] (이하 "Fuji Photography Koki")의 협력과 함께, Fiszeau-type grangess inepferness (plartness experness)를 발전 시켰습니다 세계에서 가장 높은 정확도로 온라인 바카라 사이트 이 장치의 온라인 바카라 사이트 범위는 직경이 약 300mm이며 10 nm (1 나노 미터 : 10 억 미터)의 온라인 바카라 사이트 정확도가 가장 높습니다

AIST는 또한 표준 온라인 바카라 사이트을위한 테스트 및 온라인 바카라 사이트 서비스를 제공하는 공개 연구소이며, 4 월에 우리가 개발 한 Fiszeau 유형의 대형 직경 평면 간섭계를 사용하여 평평성 테스트 (평평성 표준 공급)를 시작할 계획입니다

○ 지금까지 일본의 평탄도에 대한 표준이 없었으며 평탄도에 대한 객관적인 평가가 불가능했습니다
고형도는 "사물"의 표면이 얼마나 평평한지를 나타내는 지표입니다 반도체 및 하드 디스크의 밀도 및 수율을 높이기 위해 실리콘 웨이퍼 및 하드 디스크 기판과 같은 재료의 평탄도가 매우 중요합니다 따라서 공공 기관의 평탄도에 대한 객관적인 평가가 필요하지만 일본에서는 표준 평탄도를 제공하기 위해 공공 기관이 제공하는 온라인 바카라 사이트 서비스가 구현되지 않았습니다

○ 세계 최고 정밀 Fiszeau 유형 대형 직경 평탄성 간섭계를 개발했습니다
Fuji Photo Optical Machinery와 협력하여 AIST는 세계 최고 정밀 피자 유형 대형 직경 평탄도 간섭계를 개발했습니다 이 장치는 지름이 약 300mm의 온라인 바카라 사이트 범위에서 10nm의 정확도로 온라인 바카라 사이트 된 물체의 평탄도를 온라인 바카라 사이트 할 수있어 세계에서 가장 높은 정확도가됩니다 이 정확도를 염두에두기 위해, 3mm의 정확도로 칸토 평원에 존재하는 불균형을 온라인 바카라 사이트하는 능력과 비슷한 온라인 바카라 사이트 정확도가 매우 높습니다

○ 세계에서 가장 높은 정밀도로 평탄도의 표준 공급을 시작했습니다
공공 기관으로서 AIST는 온라인 바카라 사이트 표준 (길이, 기하 수량, 질량, 힘, 토크 등)과 관련된 다양한 항목에 대한 테스트 및 온라인 바카라 사이트 서비스를 제공하며 다양한 온라인 바카라 사이트 결과를 기반으로 인증서를 발행합니다 우리는 이번에 개발 된 Fiszeau 유형의 대형 직경의 단풍을 사용하여 4 월에 평탄도 테스트 (표준 평탄도 공급)를 요청하기 시작할 계획입니다

○ 통합 회로 및 하드 디스크의 밀도 및 수율 증가에 기여합니다
이번에 개발 된 Fizeau 유형의 대형 직경 평탄도 간섭계를 사용하여 평탄도 표준을 공급함으로써 실리콘 웨이퍼 및 하드 디스크 기판의 평탄도를 객관적으로 평가할 수 있으며, 통합 회로 및 하드 디스크의 밀도 및 수율을 증가시키는 것이 가능할 것으로 예상됩니다

사진 1 : Fiszeau-Type 대형 직경 평탄도 간섭계

평탄도 온라인 바카라 사이트 결과의 예

반도체 제조에는 유리에 크게 그려진 반도체 회로가 재료 인 실리콘 웨이퍼에 빛을 사용하여 구운 과정이 있습니다 이 과정에서 실리콘 웨이퍼가 평평하지 않은 경우, 초점이 제자리에 있고 부분이 서로 일치하지 않는 부분이 형성됩니다 이로 인해 세부 회로가 생성되지 않거나 강제로 만들도록해도 제품 수율이 악화 될 수 있습니다

또한 저장 장치 인 하드 디스크 내부에서 알루미늄으로 만든 디스크 또는 유리가 고속으로 회전합니다 읽기 헤드는 최소한이 디스크의 표면에 최소한 가깝게 가져오고 디스크 표면에 기록 된 데이터를 읽고 작성합니다 이 경우 디스크가 평평하지 않으면 디스크가 안정적으로 회전하지 않으므로 읽기 헤드가 디스크의 위아래로 이동하기가 어렵 기 때문에 하드 디스크 기록 데이터의 높은 밀도를 방해합니다 이러한 이유로, 반도체 제조를위한 재료 인 실리콘 웨이퍼의 평탄도는 매우 중요하며, 반도체 및 기타 제품의 제조업체는 자체 상업용 평탄도 온라인 바카라 사이트 기계를 사용하여 실리콘 웨이퍼의 평평성을 온라인 바카라 사이트하지만 상업적으로 이용 가능한 평평성 온라인 바카라 사이트의 온라인 바카라 사이트을위한 수요를 평가할 수있는 방법은 상업적으로 이용 가능한 고급의 가치를 평가할 수있는 방법이 없다 최근 몇 년 동안 주류가 된 대형 12 인치 실리콘 웨이퍼의 평탄도 온라인 바카라 사이트 기계 또는 평평성 온라인 바카라 사이트 기계의 정확성을 확인하기위한 원본 (마스터 디스크)의 경우 예를 들어, 현대 물리학 실험에서, 몇 킬로미터 씩 빛을 날려 야하며, 사용 된 거울의 평평성이 매우 중요합니다

지금까지 일본은 표준 평탄도를 제공하는 온라인 바카라 사이트 서비스를 제공하지 않았으므로 상업적으로 이용 가능한 평탄도 온라인 바카라 사이트 기계를 사용하여 얻은 온라인 바카라 사이트 결과를 신뢰하는 것 외에는 선택의 여지가 없습니다 그러나 상업적으로 이용 가능한 평탄도 온라인 바카라 사이트 기계의 온라인 바카라 사이트 정확도는 약 30 nm에서 충분하지 않으며 각 장치마다 온라인 바카라 사이트 정확도가 약간 다르기 때문에 공공 기관의 고정밀 온라인 바카라 사이트을 기반으로 평판 표준을 공급해야합니다

Fuji Photo Optical Machinery의 협력으로 AIST는 1990 년대 후반부터 Fiszeau 유형의 대형 직경 평탄도 간섭계를 개발해 왔습니다 2002 년부터 연구 "Nanotechnology Program, Nanoprocessing, 온라인 바카라 사이트 기술 및 3D 나노 미터 평가 프로젝트 [프로젝트 리더, AIST, 온라인 바카라 사이트 표준 연구 부서, ADEST Materials Department, AIST 부서, AIST] (2002-2006)"(2002-2006)를 통해 연구가 가속화되었습니다 간섭계

이 프로젝트에서 우리는 X- 레이를 사용하여 반도체를 구성하는 박막의 두께를 온라인 바카라 사이트하는 장치를 개발하고 있습니다 이 경우, 시편의 평탄도는 중요한 요소이며, 이전 연구 결과를 기반으로, 높은 정확도로 평탄도를 온라인 바카라 사이트 할 수있는 장치가 개발 되었으며이 장치의 결과로 개발되었습니다

Fizeau 유형 대형 직경 평탄도 간섭계는 매우 정확하게 연마 된 기준 평면이 아래쪽으로 향하고 온라인 바카라 사이트 객체가 위쪽을 향하고 있으며 레이저 표시등이 해제 될 때 관찰 된 줄무늬의 굽힘에 기초하여 온라인 바카라 사이트 객체의 모양을 온라인 바카라 사이트합니다 그러나, 기준 평면의 상대적 형상과 온라인 바카라 사이트 객체의 상대적 형태의 차이가 온라인 바카라 사이트되기 때문에, 기준 평면이 평평하지 않으면 그것이 얼마나 평평한 지 판단 할 수 없다는 문제가있다 그리고 실제로 이상적인 평면이있는 기준 평면은 없습니다

이 문제를 해결하기 위해, 기준 평면 및 온라인 바카라 사이트 대상에 세 번째 샘플이 사용되었습니다3 플레이트 일치 방법[그림 2 참조]라는 기술이 채택되었습니다 트리플 패드 방법은 원칙적으로 간단하지만 실제 계산은 매우 복잡합니다 따라서 도쿄 덴키 대학교 (Toma Yoshihiro) 대학 (Toma Yoshihiro)의 푸루야 스즈아키 교수의 협력으로 우리는 3 테이블 방법에 대한 계산 프로그램을 완료했습니다 이 장치에 통합 된 기준 평면은 가능한 한 이상적으로 높은 정밀도로 연마되지만 여전히 미세한 모양 오류가 있습니다 3- 패턴 방법으로 모양 오차를 계산하고 온라인 바카라 사이트 결과에서 빼면 온라인 바카라 사이트 객체의 절대 모양을 얻을 수 있습니다

또한, 기준 평면은 중력에 의해 변형되기 때문에 변형의 양을 수정해야합니다 Mitsutoyo Co, Ltd [Tezuka Kazusaku 사장 겸 CEO] Tsukuba Research Institute의 협력을 통해 컴퓨터 시뮬레이션을 사용하여 변형의 양을 분석하여 정확도를 더욱 향상 시켰습니다

이 장치는 Fuji Photo Optical Machine에 의해 설계 및 제조되었으며, 초고속 정밀도, 진동 내성 구조, 3 피스 정렬을위한 정확하게 수행하기위한 샘플 스테이지, 고정성 렌즈 및 CCD 카메라가 거의없는 것보다 훨씬 높은 정밀도 온라인 바카라 사이트을위한 CCD 카메라를 수행하기위한 샘플 스테이지 인 초고 정밀도, 진동 내성 구조, 3 피스 정렬 및 CCD 카메라로 제작 된 기준 평면으로 구성됩니다

이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 깨끗한 표면으로 거울의 평탄도를 정확하게 온라인 바카라 사이트 할 수 있습니다 온라인 바카라 사이트 가능한 크기는 직경이 약 300mm 인 원형 모양이며 12 인치 실리콘 웨이퍼를 덮을 수 있습니다

온라인 바카라 사이트 오류는 10nm 이며이 온라인 바카라 사이트 크기 및 온라인 바카라 사이트 오류는 세계에서 가장 높으며 다른 국가의 국립 표준 연구소를 능가합니다 이 정확도를 염두에두기 위해, 3mm의 정확도로 칸토 평원에 존재하는 불균형을 온라인 바카라 사이트하는 능력과 비슷한 온라인 바카라 사이트 정확도가 매우 높습니다

지금까지 일본에는 평판 표준을 공급할 서비스가 없었기 때문에 다른 국가의 표준 연구소에 평탄도 증명을 얻도록 요청했습니다 이 비용과 시간이 많이 걸리는 운송이지만 앞으로 일본에서 세계 최고 정밀 평탄도에 대한 보정 증거를 단기간에 얻을 수 있습니다

실리콘 웨이퍼 및 하드 디스크 기판 외에도,이 장치의 온라인 바카라 사이트 목표는 반도체 제조에 사용되는 리소그래피 마스크, 대형 디스플레이를위한 유리 기판, 공급 도구를위한 유리 표면, 심지어 평평성이 필요하며 미래의 많은 필드에 기여할 것으로 예상되는 과학 분야의 온라인 바카라 사이트 객체에 적용될 수 있습니다

◆ Fizeau 유형 간섭계 (Fizeau 유형 대형 직경 평탄성 간섭계)

광 간섭 현상을 사용하여 매우 높은 정밀한 연마 기준 평면과 온라인 바카라 사이트 객체가 서로 마주보고있는 배열로 온라인 바카라 사이트 객체의 모양을 온라인 바카라 사이트하는 기술 둘 다 이상적인 평면 모양을 가지고 있다면, 직선 간섭 프린지가 관찰되지만, 그 중 하나가 이상적인 평면에서 벗어나면 곡선 간섭 프린지가 관찰됩니다 따라서, 간섭 프린지의 굽힘 정도를 관찰함으로써, 온라인 바카라 사이트 목표의 형태를 알 수있다[참조로 돌아 가기]

그림 1 : Fiszeau 간섭계 원리

◆ 온라인 바카라 사이트 작업 요청

AIST는 전통적으로 평탄도 외에 다양한 유료 온라인 바카라 사이트 서비스를 제공했습니다 사용자의 요청에 따라 사용자가 가져온 온라인 바카라 사이트 샘플을 온라인 바카라 사이트하고 결과에 따라 인증서가 발행됩니다
URL :http : //wwwnmijjp/koseihtml　[참조로 돌아 가기]

◆ 3 패턴 방법

그림 2와 동일한 모양의 3 개의 샘플 (a, b, c)을 제조하고 이들을 비교함으로써 각각의 절대 모양을 얻는 방법 상호 비교는 3 개의 샘플에 대해 3 개의 간섭 프린지를 제공합니다 이것은 3 개의 미지의에 대해 3 개의 방정식이있는 동시 방정식으로 간주 될 수 있습니다 동일한 수의 미지수 및 방정식을 갖는 동시 방정식을 해결할 수 있으므로 각 샘플의 절대 모양이 결정됩니다 실제 계산은 알려지지 않은 "숫자"가 아니라 알려지지 않은 표면 "모양"이므로 많은 수의 데이터가 있으며 방정식을 해결하기는 쉽지 않습니다 이 방법은 다른 참조 표준을 필요로하지 않고 자신의 형태를 결정할 수있는 자체 교정 방법 중 하나입니다[참조로 돌아 가기]

그림 2 3 피스 조합 방법의 원리