Advanced Manufacturing Process Division [Yoshikawa Hiroyuki의 회장] (이하 "AIST"라고 함), Advanced Manufacturing Process Research Group, Akido Jun, Integrated Process Research Group, Ogiso Hisato는 Agiso Hisato의 이사 인 Akido Jun은 미세 바카라 꽁 머니의 형태를 측정 할 수있는 미세 바카라 꽁 머니 강도 측정 장치를 개발할 수있는 미세 바카라 꽁 머니 강도 측정 장치를 개발할 수있는 미세 바카라 꽁 머니 강도 측정 장치를 측정 할 수있는 미세 바카라 꽁 머니 강도 측정 장치를 개발할 수 있습니다 미터) 및 미세 바카라 꽁 머니의 압축을 테스트하십시오
직경이 1 마이크로 미터 미만인 미세 바카라 꽁 머니는 미세한 세라믹 및 나노 물질 재료의 원료로 주목을 받고 있습니다 그러나 그런 작은 바카라 꽁 머니기계적 강도(이하는 단순히 강도라고도 함)를 측정 할 수 없으며, 미세 바카라 꽁 머니에 압력이나 영향이 적용되면 바카라 꽁 머니에 어떤 일이 발생하는지 예측할 수 없으며 미세 바카라 꽁 머니를 적용하기위한 재료 기술의 개발 속도가 느 렸습니다 이 문제를 해결하기 위해,이 장치는 각 미세 바카라 꽁 머니의 강도를 측정 할 수 있으며, 실제로 미량 미터 크기의 알루미나 미세 바카라 꽁 머니의 강도를 측정하는 데 성공했습니다 이 기술은 미세 바카라 꽁 머니의 분포와 바카라 꽁 머니의 강도에 의해 생성 된 압력을 초래합니다수정를 조사 할 수 있으며, 전 파우더의 기본 특성을 평가하기 위해 분말을 기술로 사용하는 세라믹 기술 및 제약 및 화장품과 같은 분야에서 사용될 것으로 예상됩니다
이 장치 및 미세 바카라 꽁 머니의 강도 평가 연구에 대한 자세한 내용은 MRS-J Academic 강의에서 2005 년 12 월 10 일부터 11 일까지 도쿄에서 개최됩니다
강도 측정의 실험 결과
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압축 시험 전후의 미세 바카라 꽁 머니 표면
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최근에, 바카라 꽁 머니 크기가 1 마이크로 미터 미만인 미세 바카라 꽁 머니를 사용하는 기술은 전자 세라믹, 제약, 화장품 및 기타 제품의 분야에서 주목을 끌고 있습니다 그러나 미세 바카라 꽁 머니의 바카라 꽁 머니 크기 분포를 측정하는 기술이 개발되었지만 기본 물리적 특성과 같은 작은 바카라 꽁 머니로 실제 측정은 이루어지지 않았습니다 미세 바카라 꽁 머니를 사용하여 새로운 기술을 개발할 때 미세 바카라 꽁 머니의 기본 물리적 특성을 측정하는 것이 중요한 기술입니다 이러한 측정 기술이 없으면 미세 바카라 꽁 머니를 사용한 제품의 안정성은 불가능할 것이며, 이는 미세 바카라 꽁 머니를 사용한 기술의 실제 적용을 방해 할 위험이 있으며 측정 기술을 실현하려는 욕구가 있습니다
AIST는 자체 원본을 개발했습니다에어로졸 증착 방법를 사용하여 세라믹 재료를위한 표면 변형 (코팅 기술)을위한 기술을 연구하고 개발하고 있습니다 이 기술은 바카라 꽁 머니 크기가 1 마이크로 미터 이하의 미세 바카라 꽁 머니를 에어로졸 상태에 배치 한 다음 기판 표면에 분사하여 실온에서 세라믹 필름을 형성하고 전 세계적으로 주목을받는 기술입니다 이 필름 형성 과정에서 충돌에 의해 미세 바카라 꽁 머니를 분쇄하는 것이 중요하다는 것이 발견되었다 분무 된 미세 바카라 꽁 머니의 강도는 필름의 특성에 큰 영향을 미치므로 미세 바카라 꽁 머니의 강도를 아는 것이 매우 중요 해집니다 그러나 이러한 미세 바카라 꽁 머니의 강도를 측정하기위한 장치는 없으며이 연구 및 개발이 수행되었습니다
이 연구 및 개발은 Nano-Level Electronic Ceramics 저온 성형 및 통합 기술 프로젝트 (2002-2006) 새로운 에너지 및 산업 기술 개발 기관의 계약 프로젝트에 의해 지원됩니다 또한이 연구 개발에서 우리는 Nanotech Co, Ltd
이 장치의 측정 원리 (그림 1)는 그림 2와 같이 다이아몬드 기판과 다이아몬드 인덴터 사이의 미세 바카라 꽁 머니를 샌드위치하여 압축 테스트를 수행하는 것입니다 원리 자체는 매우 간단하지만, 하위 미터 크기의 미세 바카라 꽁 머니로이를 달성하기 위해서는 다음 기술 과제를 극복해야했습니다
- 서브 마이크로 미터 바카라 꽁 머니 및 바카라 꽁 머니 크기 및 모양 측정의 감지
- 프레임 다이아몬드 계니 팁의 일부
- 모양에서 관찰 된 미세 바카라 꽁 머니의 의심 할 여지없이 압축 테스트를위한 샘플 스테이지의 정확도
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그림 1 : 바카라 꽁 머니 압축 테스트 장치
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바카라 꽁 머니의 압축 테스트를위한 기존의 장비는 광학 현미경을 사용하여 관찰되며, 배율은 빛의 파장으로 인해 약 1000 배로 제한되므로 하위 마이크로 미터 크기의 바카라 꽁 머니를 정확하게 관찰 할 수 없었습니다 바카라 꽁 머니 강도를 측정하기 위해서는 바카라 꽁 머니의 크기와 모양을 정확하게 아는 것이 필수적이며, 광학 현미경 외에도이 장치에는 이러한 작은 바카라 꽁 머니의 모양을 측정하기위한 특수 프로브가 있습니다원자력 현미경 (AFM)이로 인해 나노 미터 (1 억 미터) 측정 해상도가 보장되었습니다
11772_12004포커스 이온 빔 (FIB) 처리, 약 1 마이크로 미터의 평평한 표면으로 다이아몬드 인덴터를 생성하고 장착함으로써 하나의 미세 바카라 꽁 머니를 압축 할 수 있도록 할 수있게되었습니다 또한, 정확한 위치에서 팁에서 미세 바카라 꽁 머니를 압축하기 위해, 01 마이크로 미터 정확도를 갖는 위치 제어 단계가 제공되었다 무화과 도 5는 원자력 현미경 하에서 압축 시험 전후에 알루미나 미세 바카라 꽁 머니를 보여준다 무화과 도 6은 알루미나 미세 바카라 꽁 머니의 압축 시험 동안 하중 변위 곡선 (압축력과 변형 정도 사이의 관계)을 보여준다 이 곡선은 특정 힘으로 인해 바카라 꽁 머니가 빠르게 변형 (파괴)임을 보여줍니다 바카라 꽁 머니의 강도는 현재 압축력과 바카라 꽁 머니의 크기에 따라 측정 될 수 있습니다 무화과 도 7은 여러 바카라 꽁 머니 크기의 알루미나 미세 바카라 꽁 머니의 평균 강도를 측정 한 결과를 보여준다 알루미나 미세 바카라 꽁 머니의 강도는 크기의 -05의 전력에 비례하고, 그러한 바카라 꽁 머니 강도는크기 효과(바카라 꽁 머니 크기에 영향을 미치는 강도의 효과)는 처음으로 측정되었습니다 전통적으로 큰 재료 중Crystal Grain의 크기가있을 때 알려져 있습니다 마이크로 미터보다 작고, 재료의 강도가 증가하지만, 복잡한 요인으로 인해 더 강해지는 메커니즘은 알려지지 않았다 이번에는 단 하나의 미세 바카라 꽁 머니의 강도를 측정했으며 미세 바카라 꽁 머니 자체가 더 강해지고 있음이 확인되었습니다
이 장치는 전체 분말의 강도 분포와 미세 바카라 꽁 머니 강도의 크기 효과를 측정 할 수 있습니다 또한 산업 응용 분야에 대한 응용 프로그램에는 제조 방법과 미세 바카라 꽁 머니의 강도, 품질 관리 및 미세 바카라 꽁 머니 강도 데이터베이스 사이의 관계를 설명하는 것이 포함될 것으로 예상됩니다
그림 2 미세 바카라 꽁 머니 압축 테스트의 개략도
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그림 3 : 바카라 꽁 머니보다 큰 플랫으로 인한 팁 문제
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그림 4 : 집중된 이온 빔을 사용한 다이아몬드 압입 자 끝의 처리
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그림 5 : 압축 테스트 전후의 미세 바카라 꽁 머니
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그림 6 알루미나 미세 바카라 꽁 머니의 압축 시험 중 부하와 변위의 관계
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그림 7 : 측정 된 알루미나 미세 바카라 꽁 머니의 바카라 꽁 머니 크기와 강도 사이의 관계
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지금, 우리는이 기술을 사용하여 다양한 분말의 강도를 측정하고, 분말 물리적 특성의 데이터베이스를 확장하며, 분말 제조 방법과 강도 사이의 관계 또는 분말 크기, 강도 및 변형 강도, 미세 바카라 꽁 머니를 사용하여 코팅 기술을 실용화하는 것을 목표로하는 분말 제조 방법의 기본 지식을 확장하는 것을 목표로합니다
또한 현재 한계는 바카라 꽁 머니 크기를 약 01 마이크로 미터 (100 나노 미터)로 평가하는 것이지만, 약 10 나노 미터의 미세 바카라 꽁 머니를 평가하고자합니다