바카라 커뮤니티 (Nomaguchi Ari 회장) (이하 "AIST")측정 표준 연구 부서[Okaji Masahiro 리서치 디렉터] 최고 연구원 야마다 요시로 (Yamada Yoshiro), 온라인 바카라 사이트 및 습도의 방사선 온라인 바카라 사이트 표준 실험실 및 실험실의 이사 인 Ishii Juntaro는 Semiconductor Advanced Technologies Co, Ltd (이 확인)과 함께 일할 것입니다 Manufacturing Co, Ltd플래시 램프 어닐링")는 장치 용 표면 온라인 바카라 사이트 모니터링 시스템을 개발했습니다
이번에 개발 된 기술은 강력한 난방 크세논 램프 광원에서 빛을 방출하고 웨이퍼 표면을 사용하는 것입니다방출거동의 영향이 제거되고 약 1000 ° C로 상승하는 웨이퍼의 표면 온라인 바카라 사이트 변화는 고속으로 정확하고 빠르게 비 연속적으로 측정됩니다 표면 온라인 바카라 사이트 모니터링 시스템이 플래시 램프 어닐링 장치에 장착되면 약 0001 초 만에 빠르게 증가하고 낮아지는 표면 온라인 바카라 사이트 변화를 측정 할 수 있습니다 이 기술은 실리콘 장치의 소형화를위한 기술의 발전에 기여할 것이며, 산업 분야의 다양한 고온 공정 온라인 바카라 사이트 모니터링 기술로 적용될 수 있습니다
이 기술에 대한 자세한 내용은 10 월 7 일부터 9 일까지 Sendai City에서 개최 된 International Solid State Elements and Materials Conference (2009)를 참조하십시오고형 상태 장치 및 재료에 관한 국제 회의: SSDM 2009)에서 발표 될 예정입니다
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플래시 램프 어닐링 장치 및 온라인 바카라 사이트 모니터링 시스템의 개요 다이어그램
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실리콘 장치의 소형화를 달성하기위한 기술로서, 고속 가열 처리 (RTA :빠른 열 어닐링) 기술이 발전해야합니다 따라서, 예를 들어, 고급 RTA 기술인 플래시 램프 어닐링 방법에서, 웨이퍼 표면은 약 1300 ℃의 온라인 바카라 사이트로 높아지고 약 0001 초의 짧은 시간에 낮아진다 가공 조건을 최적화하려면 가열 시간을 0001 초 안에 제어하고 섭씨 몇 도의 수준에서 가열 온라인 바카라 사이트를 제어해야하며, "현장"에서 가열 처리하는 동안 웨이퍼 표면의 온라인 바카라 사이트 변화를 관찰 할 수있는 새로운 측정 기술을 개발할 필요가있었습니다
온라인 바카라 사이트는 열 방사선을 사용한 온도 측정 (방사선 온도 측정) 기술을위한 국가 표준의 개발 및 공급에 대한 연구를 촉진하고 있습니다 방사선 온도 측정은 접촉없이 물체 표면의 온도를 측정하는 방법으로 산업 및 과학 분야에서 널리 사용됩니다 한편, 측정 방법은 온도에 반응하여 방출되는 적외선 또는 가시 광선을 사용하기 때문에 물체 표면의 특성 (방사율)에 의존하고 주변 환경의 빛 (배경 방사선)에 영향을받는 기술적 문제가되어 측정 신뢰성이 감소합니다
이번에 온라인 바카라 사이트는 편광 반사 측정을 사용하여 방사율 보정 방법과 난방에 사용되는 플래시 램프의 배경 방사선을 줄이고 플래시 램프 어닐링 장치 및 매우 신뢰할 수있는 측정에 적용 할 수있는 웨이퍼 표면 온도 모니터 시스템을 개발하는 기술을 제안했습니다
플래시 램프 어닐링 방법을 사용한 웨이퍼 표면의 온라인 바카라 사이트 측정에는 최대 1000 ° C 이상의 고온 측정이 필요하며, 고속 온라인 바카라 사이트 변화는 0001 초 이하로 추적 될 수 있으며 비접촉 및 현장 측정이 필요합니다 적외선 방사선 온라인 바카라 사이트계는 이러한 조건을 충족시키는 유망한 원소 기술입니다 그러나 실제 플래시 램프 어닐링 장치에서 적외선 방사선 온라인 바카라 사이트계를 사용하려면 배경 방사선에서 방출되는 가열을위한 강력한 크세논 램프와 온라인 바카라 사이트 변화로 인한 웨이퍼 표면 변화의 특성 (방출)이라는 두 가지 문제를 해결해야했습니다
이번에 개발 된 시스템에서는 크세논 램프와 웨이퍼 사이에 물 필터 필름이 제논 램프로 인한 배경 싱크로트론 방사선에 대한 대응으로 설치되었습니다 이것은 물이 적외선 (물 흡수 라인의 파장 밴드)의 일부를 흡수하고 크세논 램프의 빛 구성 요소에서 적외선의 일부를 제거하고 가시 광선을 전달하는 특징입니다 실리콘 웨이퍼는 가시 광선을 흡수하고 가열되므로 Xenon 램프의 기능을 가열 광원으로 손상시키지 않습니다 한편, 적외선 방사선 온라인 바카라 사이트계의 관찰 된 파장 대역을 흡수 된 라인 파장 물 대역과 일치 시켜서, Xenon 램프의 방출에 의해 영향을받지 않고 정확한 온라인 바카라 사이트 측정이 가능해졌다
또한, 온라인 바카라 사이트 변화로 인한 웨이퍼 표면의 방사율이 변화한다는 문제를 해결하기 위해, 편광 반사 측정을 사용한 방사성 보정 방법이 도입되었다 고속에서 방사선 온라인 바카라 사이트와 반사율을 측정하기 위해 고속 편광 감지 유형 적외선 정사 온라인 바카라 사이트계와 고속 (0001 초 미만)에서 깜박일 수있는 고 가중 기준 광원을 개발했습니다 적외선 방사선 온라인 바카라 사이트계는 P- 편광 광 (웨이퍼 표면에 수직 인 성분) 및 S- 편광 광 (웨이퍼 표면에 평행 한 성분)의 강도를 측정 할 수 있으며, 기준 광원이 꺼질 때, 웨이퍼 표면으로부터의 열 방사선이 측정되면, 기준 광원의 조명이 측정되면, 웨이퍼 표면에 의해 기준 광원이 측정됩니다 이것은 열 방사선 및 반사 광의 P- 편광 및 S- 편광 성분을 허용하고, 웨이퍼 표면의 방사성 및 열 방사선의 강도를 결정할 수 있으므로, 둘 다의 방사도 보정으로 웨이퍼 표면의 온라인 바카라 사이트 측정을 허용한다
그림은 상기 측정 기술을 사용하여 측정 된 플래시 램프 가열 동안 실리콘 웨이퍼의 표면 온라인 바카라 사이트의 변화 결과를 보여줍니다
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그림 : 플래시 램프 어닐링 장치로 가열하는 동안 웨이퍼 표면 온라인 바카라 사이트의 실제 측정 값
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실제 데이터는 웨이퍼 표면 온라인 바카라 사이트가 약 0001 초 안에 1100 ° C 이상으로 상승한 다음 빠르게 감소 함을 보여줍니다
이번에 개발 된 온라인 바카라 사이트 모니터링 시스템은 스크린 및 치아에서 개발되고 있으며 실질적인 사용 및 상용화를위한 기술 개발이 진행 중입니다
또한 이번에 개발 된 온라인 바카라 사이트 측정 기술은 플래시 램프 어닐링 이외의 실리콘 공정을 포함하여 다양한 산업 분야에서 고온 공정을위한 온라인 바카라 사이트 모니터링 기술로 개발하는 것을 목표로합니다