새로 개발 된 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소, 프로젝션 디스플레이 등의 핵심

바카라 커뮤니티 (Nomaguchi Ari 회장) (이하 "AIST")고급 제조 프로세스 연구 부서[Murayama Nobumitsu 리서치 디렉터] 연구원 Park Jae-Ke와 Jun Ambu는 다음과 같습니다투영 (프로젝션 유형) 디스플레이등에 사용하기위한 금속 기반 고속광학 바카라 사이트 쿠폰너 (광 바카라 사이트 쿠폰너)더 높은 성능과 저렴한 비용을 달성하기 위해 개발되었습니다

이번에 개발 된 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 독특한 아이디어였습니다Lamb Wave공명piezoelectric드라이브 시스템이 채택되었고, 100도 이상의 큰 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 각도 (미러 진동 각도)가 25kHz 이상이고 20V 이하의 낮은 전압이 20V 이하의 낮은 전압으로 달성되었습니다 또한 금속 기본 구조를 사용하여 제조 비용을 전보다 1/10으로 줄일 수 있습니다 30,000 시간 이상의 지속적인 내구성 테스트를 통과했으며 20,000 스캔 중 스캔 시간 변동 범위Nanosecond주문 레벨 아래에있었습니다

이 금속 기반의 고속 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 2010 년 2 월 17 일부터 19 일까지 도쿄의 빅 광경에서 개최 될 국제 나노 기술 일반 전시회 및 기술위원회에서 개최됩니다Nano Tech2010 "의 디스플레이 장치와 같은 다양한 해당 장치와 함께 전시 될 것입니다

LAMB WAVE 공명 압전 구동 방법을 사용한 고속 금속 기반 광 바카라 사이트 쿠폰닝 요소 상단의 광원에서 방출되는 레이저 표시등은 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소에 의해 반사되며 광범위한 각도에 따라 투사 될 수 있습니다

휴대용 프로젝터 및 레이저 디스플레이와 같은 레이저 광원을 사용하는 투영 (투영 유형) 디스플레이는 이미지 디스플레이 장치로서 높은 색상 재현성 (넓은 색 영역)을 제공 할뿐만 아니라 전력 소비를 줄일 것으로 예상됩니다 최근 고성능과 비용 효율성을 결합한 고속 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 이러한 문제를 달성하기위한 주요 구성 요소로 주목을 끌고 있습니다

광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 반사 미러와 바카라 사이트 쿠폰닝 레이저 라이트를위한 구동 장치로 구성됩니다 주행 원리는 반사 미러 (Torsion Drive)를지지하는 빔 (유연한 힌지)을 비틀리는 방법이며, 구동 장치의 진동으로 인한 공명 현상은 미러의 바카라 사이트 쿠폰닝 비틀림을 증가시킵니다

광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소에는 휴대용 프로젝터, 대형 스크린 레이저 디스플레이 및 심지어헤드 마운트 디스플레이ya헤드 업 디스플레이뿐만 아니라 다양한 센서 및 레이저 프린터에도 적용 할 수 있습니다 또한,이 요소를 사용하여 몇 센티미터의 사각형을 갖는 작은 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 모듈의 개발이 빠르게 진행되고있다 (도 1)

그림 1 : 프로젝터에서 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소를 사용할 때 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소 및 작동 원리의 구조 화면은 고속 수평 레이저 바카라 사이트 쿠폰닝과 느린 수직 레이저 바카라 사이트 쿠폰닝 및 CRT 텔레비전과 같은 방식으로 드로잉을 결합하여 구성됩니다

고품질 투영 디스플레이를 실현하기 위해 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 수평 방향으로 표시등을 바카라 사이트 쿠폰닝 할 때 높은 바카라 사이트 쿠폰닝 속도를 필요로하고 얇고 큰 화면 디스플레이를 실현하려면 미러에 의해 반사 된 빛을 가능한 한 가깝게 투사하기 위해 큰 바카라 사이트 쿠폰닝 각도가 필요합니다 그러나 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 기본적으로 바카라 사이트 쿠폰닝 속도 (공진 주파수)와 바카라 사이트 쿠폰닝 각 (미러 진동 각도) 사이의 상충 관계를 갖습니다 현재까지는 25kHz 이상의 바카라 사이트 쿠폰닝 속도가 60 도의 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 각도를 초과하는 높은 해상도 및 성능을 달성했습니다

AIST는 자체 원본을 개발했습니다에어로졸 증착 방법(AD Method)를 사용하여 압전 필름 및 장치 응용 프로그램의 형성 및 회사와 협력하는 작업mems를 사용하여 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소를 개발해 왔습니다

또한, 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 구동 원리를 재검토함으로써 AIST의 고유 한 양 웨이브 공명 주행 원리 및 금속 기반 구조가 고안되었으며 성능 향상 및 비용 절감 가능성 (Nikkei Micro Devices Journal 2006 년 2 월호) 그 후, 이들을 실용적으로 사용하기 위해 설계 최적화 및 금속 재료 검색을 기반으로 성능, 신뢰성 및 내구성 향상을 개발하고 검토했으며 시장 요구를 충족시키는 제품화 연구에서 일했습니다 결과적으로, 우리는 바카라 사이트 쿠폰닝 각도의 상당한 개선 및 주행 전압 감소를 포함하여 성능 및 내구성 향상에 성공하여 제품에 설치할 수있는 실제 수준 성능을 달성했습니다

현재 새로운 에너지 및 산업 기술 개발 조직 (NEDO)의 계약 프로젝트에서 "R & D는"나노 기술 및 고급 구성 요소 및 고급 컴포넌트/고급 기술 개발을위한 고급 기술 개발/고성능 광고 기술을위한 고도로 안정적인 광학 바카라 사이트 쿠폰너를위한 고급 기술 개발/개발을위한 기본 기술 개발/개발에 대한 고급 기술자/개발 (Piezoelectric Films 및 Nanotube 고무”(Princeal Researcher : A Kido Jun), 현재 공동 연구 및 MICRO의 CORISION을 사용하고있다 NEC Tokin Co, Ltd 및 Fine Rubber Research Institute, Inc 및 경제, 무역 및 산업부 및 중소 기업 제품 성능 평가 프로젝트 "레이저 프린터를위한 MEMS 광 바카라 사이트 쿠폰너 단위 제작"(주요 연구원 : Akido Jun)

이 연구 개발에서, 성능과 안정성을 향상시키기 위해 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 구동 원리를 검토함으로써 Lamb Wave Resonance 방법의 압전 구동 원리는 실용적인 수준에서 확립되었습니다 구체적으로, 저렴한 비용 및 높은 내구성을 달성하기 위해, 내피 바카라 사이트 쿠폰닝 요소 본체를 실리콘 단일 결정에서 금속 스프링 스틸로 구성하는 구성 요소를 변경함으로써 금속 기반 고속 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소가 새로운 MEMS 광학 장치로서 개발되었다 (도 2)

그림 2 개발 흐름

양 웨이브 공명 압전 구동의 원리와 관련하여, 판파 (Lamb Waves,Lamb Wave)를 생성합니다 압전 본체의 크기와 배열을 최적화함으로써 프레임 부분 및지지 방법의 형상을 최적화함으로써, 플레이트 파의 일부 (플레이트 파에서 움직이지 않는 곳)는 거울을지지하는 힌지의 바닥 근처에서 생성되어 높은 효율성으로 힌지 부분에서 비틀림 진동을 유도한다 이 새로운 작동 원리는 미러 섹션의 비틀림 공명 시스템과 거리에서 압전 재료와 같은 구동 원을 배열함으로써 매우 높은 운전 효율로 비틀림 공명을 생성 할 수 있습니다 (그림 3) 따라서, 기존의 유사한 방법과 비교하여, 힌지 부분의 비틀림 공명 구조는 기계적으로 단순화되어 고 정밀성 비틀림 진동을 보장한다 또한, 드라이브 소스의 증가 된 면적은 생성 된 에너지를 증가시켜 높은 공명 주파수와 큰 비틀림 각도에서 큰 거울을 스캔 할 수있게한다 구동 원으로 사용하는 압전 재료는 벌크 얇은 플레이트에 부착 될 수 있지만, AD 방법을 사용하여 금속 요소 프레임 섹션의 압전 박막을 직접 형성함으로써 생산 수율을 향상시키고 구동 전압을 줄이며 온도 특성을 향상시킬 수 있습니다

그림 3 : 금속 기반 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 구조

그림 4 양고기의 공명 유전 전기 구동 원리 금속 기반 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소

지금까지보고 된 대부분의 공진 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 실리콘으로 만든 MEM을 사용하는 요소입니다 사용 된 실리콘 웨이퍼는 단결정 물질이기 때문에, 고정밀 미세 가공 기술을 사용하면 공진 상태에서 사용될 때에도 높은 내구성을 제공 할 수 있으며, 대량 생산 동안 공진 주파수의 변화는 낮게 유지 될 수 있다고 생각된다 그러나 실제 장치에서 실리콘 자체는 ​​깨지기 쉬운 재료이며 자동차 또는 모바일 제품에 적용될 때 외부 교란 충격으로 인해 갑작스런 손상이 발생하여 신뢰할 수없는 문제가 발생합니다 물론 포장의 독창성으로 개선이 이루어질 수 있지만 가벼운 수집 속도가 높을 가능성이 있습니다오프닝 각도|, 1 미러 유형 프로젝터 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 경우 15192_15303 ||를 결정하기 때문에, 미러 크기는 반드시 1 mm 정사각형 이상이며, 고밀도 및 광 응축 특성을 갖는 레이저 빔을 실현합니다 따라서 미러 크기는 10 μm입니다DLP 프로젝터와 달리, 거울 자체는 상당한 무게를 가지므로 충격 신뢰성 문제가 완전히 해결되지 않을 수 있습니다 또한, 이러한 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소를 사용하면 미러 크기의 크기는 전체 장치 크기 5mm 정사각형 이상을 만들고 단일 실리콘 웨이퍼에서 제조 할 수있는 비교적 적은 양의 장치가 불가피하게 증가하는 것은 불가피합니다

대조적으로,이 개발에서, 우리는 자동차 부품에 사용되는 저렴한 고 강성 고 탄성 금속 스프링 재료를 사용했으며 Lamb Wave 공명 압전 구동 원리를보다 효율적으로 만들기 위해 설계를 최적화했습니다 이것은 세계 최초의 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소를 성공적으로 개발하여 동시에 28kHz의 고속 바카라 사이트 쿠폰닝 속도와 1mm 직경 이상의 미러 크기에서 104도 (미러 유출 각도)의 큰 바카라 사이트 쿠폰닝 각도를 달성하여 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소로 완전히 활용할 수 있습니다

이번에 개발 된 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 20V의 구동 전압 및 100도 이상의 주사 각도를 가지며, 이는 기존의 압전 구동 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소보다 5 ~ 10 배 더 큽니다 이는 동일한 바카라 사이트 쿠폰닝 각도를 얻기 위해 구동 전압을 살펴보면 약 5 ~ 100%로 감소 될 수 있으며 전력 소비는 100MW 미만으로 낮은 구동 전압 및 저전력 소비가 필요한 모바일 애플리케이션에 적합한 장치 애플리케이션의 길을 열었다고 말할 수 있습니다 (그림 5)

그림 5 : 이번에 개발 된 금속 기반 고속 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 구동 전압과 주사 각도의 관계

그림 6 램 파도 공명을 사용한 금속 기반 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 미러 바카라 사이트 쿠폰닝 정확도

미러 바카라 사이트 쿠폰닝 정확도와 관련하여, 바카라 사이트 쿠폰닝 시간 (바카라 사이트 쿠폰닝 사이클)의 변화는 28kHz의 바카라 사이트 쿠폰닝 속도, 90 도의 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 각도 및 대기 중 20,000 스캔에서 수많은 스캔에서 나노 초의 순서에 있었다 (도 6) 이 바카라 사이트 쿠폰닝 정확도는 실제 프로젝션 디스플레이에 적용하기에 충분합니다 예를 들어, 3 나노 초 미만의 스캔 정확도 성능은 고화질 클래스의 고화질 디스플레이에 적용될 수있는 수준입니다 또한, 우리가 개발 한 금속 기반 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 30,000 시간 이상 (현재 지속적인 내구성 테스트를 받고 있음) 동안 지속적인 내구성 테스트를 통과했습니다 과거에는 금속 물질을 이러한 응용 분야의 구조 재료로 사용할 때 금속 피로가 문제로 간주되었지만,이 연구의 결과는 이러한 상식을 뒤집는 새로운 지식이며 소비자 장비 제품에 완전히 적용될 수있는 수준입니다

이번에 개발 된 장치는 고속 바카라 사이트 쿠폰닝 속도와 넓은 바카라 사이트 쿠폰닝 각도를 모두 달성 할 수 있었으며, 이는 이전에 제안 된 실리콘 기반 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 장치로 달성 할 수 없었습니다 (그림 7) 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 크기는 또한 몇 mm 정사각형에서 수십 mm 정사각형까지 다양한 미러 크기로 수용 될 수 있으며, 2 차원 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소가 생성되어 광범위한 응용 분야를 가질 수 있습니다 또한 제조 비용 측면에서 금속 스프링 재료는 제조 비용 측면에서 실리콘 재료보다 약 2 배 저렴하며 클린 룸과 같은 고가의 제조 인프라가 필요하지 않기 때문에 가격 경쟁력이 강할 수 있습니다

그림 7 금속 기반 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소와 기존 실리콘 MEMS 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소 간의 성능 비교

이번에 개발 된 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 장치를 실질적으로 사용하는 것을 목표로, 우리는 대량 생산 회사와의 개발을 적극적으로 홍보 할 것이며 새로운 응용 프로그램을 탐색 할 것입니다 결과는 2010 년 2 월 17 일부터 19 일까지 도쿄 큰 시야에서 개최됩니다Nano Tech2010 International Nanotechnology General Exhibition and Technology Conference는 디스플레이 장치와 같은 다양한 적용 장치와 함께 전시되고 시연 될 것입니다

Lamb Wave (S0 Mode)	Lamb Wave (A0 모드)

◆ 투영 (투영 유형) 디스플레이

이것은 이미지를 확대하고 화면 (즉, 텔레비전 화면)에 투사하여 이미지를 만들기 위해 디스플레이 장치 유형이며 일반적으로 두 가지 유형의 방법이 있습니다 예를 들어, 프로젝터의 경우 이미지가 화면 전면에서 투사되고 후면 프로젝션 텔레비전의 경우 이미지가 화면 뒷면에서 투사됩니다 대형 스크린 디스플레이 장치는 저렴한 비용, 경량 및 에너지 절약의 장점이 있습니다[참조로 돌아 가기]

◆ 광학 바카라 사이트 쿠폰너 (광 바카라 사이트 쿠폰너)

스캔 라이트 (레이저 또는 LED 조명) (스캔 :스캔) 레이저 프린터, 복사기, 레이저 현미경, 프로젝터 등에서 사용할 수있는 장치 일반적으로 세 가지 유형의 방법이 있습니다 다각형 바카라 사이트 쿠폰닝 요소의 경우, 모터는 빛을 스캔하기 위해다면 미러를 회전시키는 데 사용되며, Galvano 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 엄격하게 모터가 거울을 왕복하고 진동시키는 데 사용됩니다 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소 (광학 바카라 사이트 쿠폰너)는 미세한 구조의 미러가 보답하여 (비틀림 구동) 진동 요소의 힘을 사용하여 빛을 스캔하는 시스템입니다[참조로 돌아 가기]

◆ Lamb Wave (플레이트 웨이브)

평평한 판을 통해 전파되는 가이드 웨이브의 한 유형이며, 얇은 판에 수직 인 진동 방향으로 전파되고 전파 방향에서 동일한 진동 성분을 갖는 파동입니다 두 가지 진동 모드가 있습니다 : A0 모드 (제로 주문 비대칭 모드 Lamb Wave) 및 S0 모드 (제로 주문 대칭 모드 Lamb Wave) Lamb Wave Resonance Piezoelectrally 구동 광학 바카라 사이트 쿠폰닝 요소는 A0 모드를 사용합니다[참조로 돌아 가기]

◆ Nanosecond

Nanosecond (Nano-Second)는 10 억 분의 1 초를 나타내는 시간 단위입니다 종종 "ns"로 쓰여집니다 Nano는 10 억의 전력 (마이너스 9)을 나타내는 단위 접두사입니다 빛은 나노초 당 진공에서 약 30cm를 이동합니다[참조로 돌아 가기]

◆ Piezoelectric

압전 효과 (압전 효과)는 압력이 적용될 때 압력에 비례하는 분극 (표면 전하)이 나타나는 현상을 나타냅니다 반대로, 전기장이 적용될 때 압전체 자체 자체가 변형되는 현상을 역 압전 효과라고도합니다 일반적으로,이 두 현상은 모두 압전 효과라고합니다 유전체의 유형 인 압전 몸체는 라이터 및 가스 스토브, 소나, 스피커 등의 압전 요소로 널리 사용됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ 헤드 마운트 디스플레이

헤드 마운트 디스플레이 (헤드 마운트 디스플레이, HMD)는 헤드에 부착 된 디스플레이 유형이며, 모양 측면에서, 투사 장치가 유리의 상단 또는 전면에 부착되어 투명한 플레이트 부분에 투사되는 스펙터클 유형이 있으며, 모자가 브림에서 매달려있는 모자 유형이 있습니다 투영 방법에는 두 가지 유형이 있습니다 하나는 눈 앞에 반 거울 등을 사용하여 이미지를 투사하는 것이며, 하나는 망막에 직접 이미지를 투사하는 것입니다 (망막 투영 유형 : 사용자는 근시 또는 과수기 일 때도 명확한 이미지를 볼 수 있습니다)[참조로 돌아 가기]

◆ 헤드 업 디스플레이

헤드 업 디스플레이 (헤드 업 디스플레이, hud)는 정보를 인간 비전에 직접 반영하는 수단이며 군용 항공 분야에서 개발되었으며 자동차의 앞 유리에 운전자 지향 이미지를 제공하는 등 다양한 분야에 실제로 적용됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ 에어로졸 증착 방법

에어로졸 증착 방법 (AD 메소드)은 실온에서 기판에 스프레이하기 위해 고체 세라믹 파우더를 사용하여 밀도가 높은 (꿀), 고도로 투명하고, 고강도 및 고 부착 세라믹 코팅을 형성하여 가열없이 기계적 영향력 만 사용하고, 필름 형성 속도를 극적으로 향상시키고 구체적 필름 형성을 감소시키는 방법입니다
(AIST 보도 자료 2004 년 5 월 20 일)[참조로 돌아 가기]

◆ mems

mems (마이크로 전기 기계 시스템) 반도체 통합 회로 제조 기술을 액추에이터, 센서, 전자 회로 등에 적용하여 제조 한 미세 구조화 된 장치에 대한 일반적인 용어 일반적으로 마이크로 마인과 동의어입니다 현재 잉크젯 헤드, 압력 및 가속도계, 디지털 미러 장치 (프로젝터) 등이 시장에 나와 있습니다[참조로 돌아 가기]

◆ 오프닝 각도

오프닝 각도 (Angular Aperture, na 값) 광학 설계에서, 광학 시스템의 광학 축의 객체 점에서 입구 동공의 직경, 또는 광학 축의 이미지 지점에서 출구 동공의 직경에 이르기까지 각도를 나타냅니다[참조로 돌아 가기]

◆ DLP 프로젝터

dlp (디지털 조명 처리) 프로젝터는 디지털 미러 장치입니다 (디지털 미러 장치, dmd)를 사용하는 비디오 디스플레이 프로젝터 유형입니다 DMD는 Texas Instruments에서 개발 한 MEMS 장치이며 많은 마이크로 마이러가 평면 표면에 배열되는 디스플레이 장치 유형입니다[참조로 돌아 가기]