바카라 커뮤니티 (Nomaguchi Ari 회장) (이하 "AIST")NanoElectronic Device Research Center【리서치 센터 이사 Kanayama Toshihiko】 Akinaga Hiroyuki, 리서치 센터 부사장 Akinaga Hiroyuki 및 Advanced Nanointerface Devices Research Team의 연구원 인 Shima Hisashi는 Sharp Corporation (CEO)과 공동 노력을 창출했습니다 (CEO), Ulvac "(CEO) (CEO) (이하) Semiconductor Electronics Research Institute (CEO) Hirotsuna, Semiconductor Electronics Technology Research Institute (CEO) (이하 "ULVAC"), Kanazawa University (CEO) (이하 "Kanazawa University") 및 Kitagawa Akio, Nakayama Kazua and Nakayama Kazua and Nakayama Akio, Nakayama Akio, Nakayama Akio로 언급 된 Semiconductor Electronics Technology Research Institute (CEO) (CEO) 책임자 Hirotsuna 저전력 소비와 고속 작동 성능을 결합한 저항 변화 메모리 장치 우리는 그것을 Kbit 메모리 칩에 통합하는 프로세스를 개발했으며 8 인치 웨이퍼에 칩 어레이를 성공적으로 제작했습니다 이 메모리는 다음과 같습니다저항 변경 메모리(저항 랜덤 액세스 메모리: 카지노 바카라)라고합니다
이 카지노 바카라 칩 어레이는 기존의 반도체 제조 공정을 사용하여 제조되며 특수 처리가 필요한 귀금속 전극이나 원료와 같은 고가의 구성 요소를 사용하지 않습니다 따라서 비트 비용 경쟁력이 뛰어나고 자원 절약 및 에너지 절약을 달성하는 메모리입니다
이 개발은 카지노 바카라 운영 성능 및 신뢰성 평가를 수행하기위한 평가 플랫폼을 만들었습니다이 평가는 칩 수준 및 웨이퍼 수준에서 정보 및 전자 제품 분야에서 에너지 절약의 핵심 인 정보 및 전자 제품 분야에서 고속으로 대량의 정보를 교환하는 기능의 중요성이 점점 더 중요 해지고있는 평가 플랫폼을 만들었습니다 앞으로, 우리는이 새로운 메모리를 빠르게 구현하고 상업화하는 것을 목표로합니다
이 결과는 5 월 18 일에 제 2 차 국제 메모리 워크숍에서 5 월 16 일부터 5 월 19 일까지 한국 서울에서 개최 될 예정입니다
 |
|
사진 1 : 128 KBIT 카지노 바카라 칩 어레이 8 인치 웨이퍼에 제작
|
최근 몇 년 동안 사회의 정보 발전으로 PC와 같은 IT 장비는 산업 활동과 일상 생활에 없어서는 안될 것이며 빠르게 인기를 얻었습니다 결과적으로 IT 장비와 관련된 전력 소비도 급격히 증가했으며 일본 총 전기 소비의 비율이 너무 커져 무시할 수 없습니다 반면에, IT 장치 자체의 성능 향상에만 국한된 것은 아니지만, 기능의 발전으로 필요한 메모리 용량은 계속 증가했습니다 따라서 메모리로 인한 전력 소비를 줄이는 것은 IT 장비의 에너지를 절약하는 데 효과적이라고 생각됩니다 다시 말해, 현재 주류 DRAM의 고속 이상 또는 더 높은 속도로 작동 할 수 있고 전력 소비가 낮은 메모리, 특히 데이터를 작성하고 읽을 때만 전력을 소비하는 비 휘발성 메모리를 갖는 메모리가 필요합니다
카지노 바카라은 전이 금속 산화물 필름이 금속 전극 사이에 끼워지는 구조를 가지고 있으며, 산화물 필름의 전기 저항의 변화를 메모리 정보로 사용하는 메모리 요소입니다 전력 소비량이 낮고 고속 상승력이 뛰어나기 때문에 카지노 바카라은 고도로 정보 사회를 지원하는 차세대 비 휘발성 기억의 유망한 후보로 실질적으로 사용할 것으로 예상됩니다
AIST는 저항 스위치 현상의 기원에 대한 연구를 수행하고 있으며이 현상을 사용하여 저항 변화 기억의 연구 및 개발을 위해 노력하고 있습니다 2006 년에 우리는 카지노 바카라 요소의 작동을 성공적으로 증가 시켰습니다 그 후, 카지노 바카라 운영의 저전류 및 고속 운영 및 정량적 제어를 달성하기 위해 연구 개발이 수행되었으며, 2008 년에는 매우 낮은 전력 소비와 고속 재 작성에 우수한 카지노 바카라 장치를 성공적으로 개발했습니다
이는 장치의 성능 만 크게 향상되지만 실제 용도로 메모리 장치가 통합 될 때 명백한 문제를 해결하고 통계적 신뢰성 데이터를 기반으로 전반적인 성능을 보장하고 웨이퍼 수준에서 대량 생산 메모리를위한 기술을 개발하기 위해서는 분명해지는 문제를 해결해야합니다 따라서 웨이퍼 레벨에서 통합 회로 및 메모리 어레이를 제조하는 프로세스를 개발하고 메모리 어레이의 신뢰성 테스트를 수행하기위한 평가 플랫폼을 구축하기로 결정했습니다
과거에는 플래시 후 기억의 후보로 간주되는 많은 비 휘발성 기억은 기존 SI 생산 라인에 사용되지 않은 특수 자료를 사용하여 주변 기술을 개발하고 추가 자본에 투자해야합니다 개별 성능에서 플래시 메모리보다 우수하지만, 플래시 메모리의 소형화 속도를 따라 잡을 수 없었으므로 실제 사용에 대한 주요 장벽을 만듭니다 대조적으로 Sharp and Ulvac은 2008 년에 개발 된 필름 증착 및 처리 공정 기술을 개발하여 8 인치 웨이퍼에서 균일하고 신뢰할 수있는 특성을 결합한 카지노 바카라 요소 구조를 제조하고 128 KBIT 메모리 칩에 통합했습니다 사진 1은 이번에 개발 된 카지노 바카라 칩 어레이를 보여줍니다 약 100 개의 카지노 바카라 칩이 8 인치 웨이퍼에 형성됩니다 카지노 바카라의 메모리 요소를 구성하는 재료는 최신입니다CMOS프로세스에 익숙한 자료입니다 따라서 카지노 바카라 및 CMOS 프로세스는 선호도가 우수하여 현재 반도체 미세 가공 기술을 사용하여 카지노 바카라 칩 어레이를 통합 할 수 있습니다 이 기능을 통해 새로운 자본 투자를 최소화 할 수 있으므로 카지노 바카라 요소가 우수한 비트 비용 경쟁력을 가진 메모리 요소가됩니다 8 인치 웨이퍼에 메모리 어레이를 제조하는 데 중요한 산화물 박막의 필름 품질의 균일 성을 박막의 웨이퍼 평면 내에서 굴절률을 측정함으로써 평가되었다 (사진 2) 그림의 색상 차이는 굴절률의 차이를 나타내며 필름 품질에 해당합니다 필름 형성 동안 사용되는 산소 가스의 양을 제어함으로써, 8 인치 웨이퍼 평면 내에서 균일 한 박막을 생성 할 수있다 (사진 2 오른쪽)
사진 3은 카지노 바카라 메모리 어레이 칩의 확대 된 이미지입니다 칩 크기는 대략 5mm 정사각형이며 칩에 형성된 메모리 배열 외에도 주소 디코더, 이퀄라이저, 센스 증폭기 및 쓰기 회로가 장착됩니다 정보는 주소 디코더 또는 쓰기 회로를 사용하여 작성되며 Sense Amplifier를 사용하여 읽습니다
또한이 카지노 바카라 메모리 어레이 칩은 Kanazawa University에서 설계 한 평가 회로를 사용하므로 메모리 어레이의 신뢰성을 평가하는 데 사용될 수도 있습니다 칩에서, 16 가지 유형의 테스트 요소 그룹은 2 kbit ~ 128 kbit 범위의 메모리 어레이로 형성됩니다 메모리 어레이 작동 전류 제어는 칩에 내장 된 트랜지스터를 사용하여 1T-1R (1T-1R) 구조에서 신뢰성 평가를 허용합니다 메모리 요소를 낮은 전류 상태로 작동 할 수있는 경우 트랜지스터를 작게 만들어 칩의 질량 생산 및 메모리 배열의 용량이 증가 할 수 있습니다
사진 4는 이번에 개발 된 128 Kbit 카지노 바카라 메모리 배열의 감지 작동의 예를 보여줍니다 메모리 배열에는 많은 통합 메모리 요소가 있습니다 사진 4, RAS, CAS 및 CS의 세 가지 제어 신호는 정보를 작성하거나 읽는 위치 (주소)를 지정합니다 그 후, 카지노 바카라 요소에 기록 된 저항 값은 전압 레벨로 변환되고 지정된 주소에 기록 된 데이터는 SE 제어 신호를 사용하여 VOUT로 출력됩니다 사진 4에는 (지우기) 및 데이터 0 writ (프로그램)에 대한 데이터를 읽은 결과가 나란히 표시됩니다 데이터를 읽는 데 85ns 만 필요합니다 이 회로를 사용하면 메모리 배열 작동, 작동 알고리즘 개발 및 통계 신뢰성 평가를 확인할 수 있습니다
이 개발은 칩 및 웨이퍼 레벨에서 메모리 작동 및 신뢰성 평가를 확인하기위한 플랫폼을 만들었습니다 다양한 신뢰성 평가 내용을 유연하게 수용하기 위해 복수의 메모리 배열을 칩에 제작할 수 있습니다 웨이퍼 수준에서 칩 제조 기술을 설립하면 카지노 바카라의 초기 실용적 사용을 향한 연구 개발을 가속화 할 것으로 예상됩니다
 |
|
사진 2 : 필름 형성 조건 8 인치 웨이퍼 평면 내에서 굴절률 분포 의존성
|
 |
|
사진 3 128 KBIT 카지노 바카라 메모리 배열 칩
|
 |
|
사진 4 개발 된 메모리 배열 감지 작동의 예
|
앞으로 우리는 개발 된 평가 플랫폼에서 배열 수준 및 칩 레벨에서 카지노 바카라 요소의 신뢰성을 평가하고 상용화를위한 문제를 추출 및 해결하고 카지노 바카라 요소를 신속하게 구현하는 것을 목표로합니다