독립 행정 기관, 바카라 커뮤니티 [Nomaguchi ARI의 회장] (이하 "AIST")고급 제조 프로세스 연구 부서[Murayama Nobumitsu 리서치 디렉터] Accumulation Processing Research Group의 Sato Jitsumichi 수석 연구원 및 Accumulation Processing Research Group의 선임 연구원 Atsden Co, Ltd Sugi Tokio] (이하 "도쿄 기계"라고 함)는 10 ml/min (오차 ± 01 ml/min)의 매우 작은 유속을 정확하게 측정하기 위해바카라 사이트 주소 유량계
이 유량계는바카라 사이트 주소(가이드 웨이브)의 전파에 관한 기본 이론을 검토했으며 바카라 사이트 주소는 더 많은 무선 주파수를 만들고 설계를 최적화함으로써 개발되었습니다 이전 바카라 사이트 주소 유량계로 측정 할 수없는 작은 유속의 유속을 측정 할 수 있습니다 이 바카라 사이트 주소 유량계는 반도체 제조 장비에 사용되는 화학 액체의 정확한 제어를 가능하게하고 반도체 제조 장비의 성능 개선, 환경 영향 감소 및 운영 비용 절감에 기여할 것으로 예상됩니다
이 기술에 대한 세부 사항은 "Intermeasure9009_9087
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사진 : 프로토 타입 바카라 사이트 주소 유량계
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반도체 제조 장비는 화학 저항성이 우수하며 접촉없이 액체의 유량을 측정 할 수있어 측정 결과를 전기 신호로 추출 할 수 있습니다PFA사용됩니다 최근에는 반도체 회로를 소형화하고 자원을 절약하기 위해 더 작은 유량을 측정 할 수있는 바카라 사이트 주소 유량계에 대한 수요가 있습니다 또한, 접촉없이 작은 유량을 측정 할 수있는 유량계는 반도체 산업뿐만 아니라 제약 산업에서도 필요하며, 사회적 필요가 크다
반면, 바카라 사이트 주소 유량계는 파이프 라인과 같은 큰 내부 직경을 가진 파이프의 액체 유량을 측정하기 위해 개발되었습니다 소규모 유속의 바카라 사이트 주소 유량계는이를 확장하여 개발되었지만 측정 정확도와 안정성을 향상시키는 시장 요구를 충족시킬 수 없었습니다
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그림 1 바카라 사이트 주소 유량계의 예
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AIST는 바카라 사이트 주소 측정 기술 및 바카라 사이트 주소 액추에이터와 관련된 이론 분석 및 장치 개발에 관여했습니다 또한,최소 제조를 실현하기 위해 제조 산업과이를 지원하는 중소 기업의 요청에 따라 해결 문제를 지원하기 위해 노력하고 있습니다 한편, Atsden과 Tokyo Mechanical Co, Ltd는 바카라 사이트 주소 유량계를 개발, 제조, 판매 및 유지하고 있습니다 따라서 2005 회계 연도부터 세 당사자는 바카라 사이트 주소 바카라 사이트 주소 유량계를 공동으로 연구하고 개발하기 시작했습니다
이전의 바카라 사이트 주소 유량계는 주로 종 방향 파가 파이프 내부로 흐르는 유체를 통해 전파되고 주파수 설정이 강조되지 않았다는 전제로 설계되었습니다 그러나, 경계 매체를 통해 전파되는 바카라 사이트 주소 파의 전파 특성은 경계 조건 하에서 분석되어야한다 따라서, 우리는 파이프를 포함한 바카라 사이트 주소 유량계에서 바카라 사이트 주소 파 전파에 대한 상세한 이론적 분석을 수행하고 결과를 기반으로 제품을 설계하기로 결정했습니다
또한,이 연구 개발의 일부는 경제 무역 산업의 "2009 산업 기술 연구 및 개발 계약 수수료 (중소 기업을위한 제품 성과 평가 프로젝트 등)를 통해 수행되었습니다
그림 2는 바카라 사이트 주소 유량계의 개요와 유속을 측정하는 원리를 보여줍니다 바카라 사이트 주소 송신기와 수신기는 바카라 사이트 주소 파를 소비하고받으며, 이들 사이의 전파 시차는 유량을 얻기 위해 측정됩니다 구체적으로, 상류에서 다운 스트림으로 전파되는 바카라 사이트 주소 파 사이의 전파 시간의 차이 및 하류에서 상류로 전파되는 바카라 사이트 주소 파 (δt) 유량이 0 m/s (Vg) 및 전파 거리 (l)에서 유체의 속도 (V) 및 유속 및 흐름 경로 (파이프 내부)의 단면적 (S)의 유량Q = SV)를 찾으십시오 원칙적으로, 파이프의 내 직경이 감소하면 단면 영역이 작아지고 유속이 증가합니다 (V = Q/S)는 더 빠르고 더 많은 분량을 측정 할 수 있습니다 예를 들어, 파이프의 내 직경이 절반으로 줄어들면 단면 영역이 1/4이되고 유속이 4 배가되므로 유속 측정 민감도가 4 배가됩니다 그러나, 단면적이 감소하면, 액체를 통해 전파되는 바카라 사이트 주소 파의 양이 감소하여 수신 된 신호의 강도가 감소한다 지금까지 작은 유량을 측정하기 위해 파이프 직경이 개선되었지만 신호 강도의 감소로 인해 한계에 도달했습니다
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그림 2 바카라 사이트 주소 유량계의 개요 및 유속 측정 원리
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따라서 우리는 실제 장치 구조에 기초하여보다 엄격하게 흐름 경로를 통해 전파되는 바카라 사이트 주소 전파에 대한보다 엄격한 분석을 수행했으며, 직경이 얇아지는 한계에 도달하기위한 원인과 솔루션을 탐색했습니다 그림 3은 바카라 사이트 주소 유량계의 분석 모델을 보여줍니다 바카라 사이트 주소 송신기와 수신기에 의해 여기 된 바카라 사이트 주소 파는 각각의 경계에 의해 영향을받는 동안 파이프와 액체를 전파합니다 따라서 우리는 전파되는 바카라 사이트 주소를 나타냅니다웨이브 방정식적절한 경계 조건을 충족시키기 위해 해결되며 사운드 속도 및 변위 분포의 속도를 계산하기 위해 프로그램이 만들어졌습니다
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그림 3 바카라 사이트 주소 유량계의 분석 모델
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생성 된 프로그램을 사용하여 물로 채워진 φ16 mm x φ25 mm PFA 파이프를 통해 전파되는 가이드 파의 전파 속도가 계산되었습니다 (그림 4, 그림 5)
도 4에 도시 된 바와 같이, 2MHz에서 바카라 사이트 주소에서, PFA (1230 m/s)의 종 방향 음속보다 전파 속도가 느린 모드의 파도 만 있습니다 이 사실은 유체의 유속 변화가 PFA의 종 방향 사운드보다 느린 속도로 전파 될 수있는 모드의 파도를 보여줍니다 또한 그림 4의 오른쪽에 표시된 것처럼 다양한 모드의 파도가 작은 속도 차이 내에 존재하므로 파도를 분리하기가 어렵습니다 (S/N 비율더 작아집니다) 따라서 흐름 경로 가이 모양 인 경우 2MHz의 바카라 사이트 주소 파를 사용하여 유속을 측정 할 수 없다고 결론 지을 수 있습니다
반면, 38MHz의 바카라 사이트 주소 파가 사용될 때, 그림 5에서 PFA의 종 방향 파음 속도보다 빠른 모드가 있었고, 물이 흐르는 방향 (즉, 종 방향 파 성분)이 중심 모드로 변위되는 모드가있었습니다 이 모드는도 1의 오른쪽에 표시된 것처럼 액체의 소리 속도를 측정 할 수 있습니다 도 5, 종 방향파가 액체를 통해 전파되는 상태에 가깝다 또한, 다른 모드와의 음속의 차이가 있으므로 이러한 파도는 방해가되지 않으므로 S/N 비율 측면에서 이점이됩니다 이러한 결과로부터, 바카라 사이트 주소 파의 고주파수 (주파수 최적화)를 만들어 유량계를보다 정확하게 만들 수 있다고 결론 지었다 이 결론은 더 높은 주파수가 더 큰 감쇠를 초래할 것이며 실제적으로 사용될 수 없다는 기존의 개념을 뒤집습니다
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그림 4 2MHz 근처의 바카라 사이트 주소 파동 전파 속도
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그림 5 38 MHz 근처의 바카라 사이트 주소 전파 속도
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이러한 분석 결과를 기반으로 바카라 사이트 주소 유량계를 설계하고 테스트했습니다 그림 6은 프로토 타입의 각 유량과 2 가지 유형의 기존 제품에 대한 측정 정확도를 보여줍니다 대상 영역의 상한에 기록 된 점선 점선은이 개발의 대상입니다
기존 제품 A는 100ml/분에서 정확도가 ± 1%이지만 측정 정확도는 그 아래의 영역에서 빠르게 악화되었습니다 100 ml/min에서 기존 제품 B의 정확도는 기존 제품 A보다 열등하지만, 기존 제품 A보다 유량을 측정 할 수 있었지만, 10 ml/min의 정확도는 ± 45%였으며, 아래 측정의 정확도는 빠르게 악화되었습니다
한편, 이번에 생성 된 프로토 타입은 10 내지 800 ml/분의 광범위한 범위에 걸쳐 ± 1%의 정확도를 갖는 것으로 확인되었으며, 1 ml/분의 작은 유속도 ± 10%의 정확도로 측정 될 수있다 다시 말해, 이번에 개발 된 바카라 사이트 주소 유량계의 프로토 타입은 반도체 제조 장비를위한 기존의 바카라 사이트 주소 유량계로 측정 할 수없는 작은 유속을 측정 할 수 있습니다
이 유형의 마이크로 플로우 측정은 이전 모델의 내부 직경이 0625 배로 감소하기 때문에 유량 경로의 단면적은 약 04 배이며 주파수는 19 배입니다 (성능은 대략 5 배 증가 할 수 있습니다) 또한 바카라 사이트 주소 주파수를 최적화하여 안정성이 향상되었다고 생각됩니다
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그림 6 유량 측정 정확도
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우리는이 제품이 원료 제어의 정밀도 개선을 통해 최소 제조에 기여할 것이라고 생각합니다 앞으로, 우리는 제약 및 생화학 분야로의 확장을 고려할 계획입니다
ATSUDEN은 사업을 완전히 개발하기 위해 2010 년 10 월 29 일 오키나와 시사의 특별 자유 무역 지역 (특별 무역)의 지역 자회사 인 Ryusok Co, Ltd를 설립했으며, 전액 대량 생산 공장으로, 내년에 상업화 할 계획입니다