Iwasaki Electric Co, Ltd Akatsuki, Akatsuki, Advanced Industrial 기술 연구소 Iwamori Akira 공학부 기계 공학부, 공학부 학부환경 관리 기술 연구 부서(위치 : 16-1 IBARAKI 현지, 연구 부서 책임자 : Tao Hiroaki) 측정 기술 연구 그룹의 선임 연구원 인 Noda Kazutoshi의 연구 그룹이 이용 가능Crystal Microbalance (석영 크리스탈 미생물, QCM) 메소드반응성 바카라 게임개발 모니터가 개발되었습니다
활성 바카라 게임는UV (UV) 램프ya대기압 플라즈마를 사용하여 표면 처리 과정의 분야에서 널리 사용되지만 지금까지는 그 효과의 양을 쉽게 측정 할 수있는 방법이 없었습니다 공간에서 활성 바카라 게임를 측정하는 방법에는 레이저-유도 형광 및 진공 자외선 흡수 분광법이 포함되지만, 둘 다 측정 장치가 수천만 엔 이상의 비용이 들며 장치 자체가 크다는 단점이있다
개발 된 방법에서크리스탈 공진기상단에 형성유기농 박막사이의 반응으로 인한 박막 질량의 변화량 활성 바카라 게임는 석영 결정 공진기의 공명 주파수의 변화량으로 측정 될 수 있으며, 활성 바카라 게임의 표면 작용을 지속적으로 모니터링 할 수있다 그림 1은 활성 바카라 게임 감지 모니터의 크리스탈 미생물 센서 헤드 섹션의 사진을 보여줍니다 결정 공진기에 형성된 유기 박막의 재료를 변경하면 활성 바카라 게임 검출의 민감도가 변경되어 적용에 따라 다르게 사용할 수 있습니다 이 개발 된 제품은 산업, 정부 및 학계 간의 협력의 결과이며, 표면 처리 과정에서 활성 바카라 게임 효과를위한 모니터로 사용될 것으로 예상되어 공정 수율 개선 경로가 열립니다
이 연구 및 개발은 일본 과학 및 기술 기관 (JST) 연구 결과 개발 프로젝트 개발 프로젝트 최적 개발 지원 프로그램 (A-Step) 종자 증상 유형 (문제 이름 : "멸균 과정 및 평가 및 모니터링 기술 개발에 대한 반응성 바카라 게임 종의 적용"(Kinoshita Shinobu) 및 연구에 의해 수행됩니다 (Tokai University))
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활성 바카라 게임 감지 모니터를위한 결정 요소
각 요소 표면은 다른 유형의 유기 박막으로 코팅됩니다
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현재, UV, 혈장, 전자 빔 및 기타 재료는 유리 기판 세척, 다양한 공학 플라스틱의 표면 변형 (중합체 재료)의 표면 변형 및 의료 제품의 표면 멸균과 같은 산업 표면 처리 공정에 사용됩니다 "활성 바카라 게임"는 이러한 표면 처리와 공통된 중요한 제제로서 기능하는 것으로 오랫동안 알려져왔다
활성 바카라 게임는 문자 그대로 공기에 포함 된 지상 상태 (정상, 발전되지 않은) 바카라 게임 분자 (O2)보다 더 활성화 된 바카라 게임 종에 대한 일반적인 용어로 정의되며 산화력이 높습니다 공정 동안 생성 된 활성 바카라 게임의 양을 측정하는 방법에는 레이저 장치 (레이저 유발 형광) 사용과 진공 자외선 흡수를 이용하는 방법 (진공 자외선 흡수 분광법)을 사용하는 방법이 포함되지만,이 두 장치는 모두 UV 또는 PLASMA와 같은 각 공정 장치에 설치하기가 어렵습니다
이러한 상황에 비추어, 우리는 활성 바카라 게임를 측정하는 저렴하고 편리한 방법을 확립했으며, 각 공정 장치에 설치를 가능하게하기 위해 석영 미생물 방법의 적용을 고려했으며, 활성 바카라 게임의 표면 작용량을 모니터링 할 수있는 활성 바카라 게임 검출 모니터를 개발했습니다
석영 미생물 방법은 오랫동안 주변에있었습니다증착 속도/필름 두께 모니터가스 감지에 적용되는 장치는 작고 저렴합니다
우리는 2009 년경 부터이 방법을 사용하여 활성 바카라 게임 검출에 대한 기본 연구를 시작했으며 다양한 탐지 재료를 사용하여 검증 테스트를 수행하여 유기 박막이 산업 공정 장비 내부에서 생성 된 활성 바카라 게임를 모니터링하는 데 효과적임을 보여줍니다
이 기술을 사용하여 활성 바카라 게임 효과의 양을 감지하기 위해, 쿼츠 미생물의 염기 인 "석영 공진기"에 은은 박막이 형성되고, 은산 (AG2o)의 형성과 관련된 질량 증가의 양을 모니터링하는 방법이보고되었지만, 은색 산화물 층으로 점차 코팅되어 장기간 동안 작용의 양을 모니터링 할 수 없게된다
새로운 개발 방법은 크리스탈 공진기에 사용됩니다고주파 스퍼터링 방법활성 바카라 게임와 반응하여 형성된 유기 박막으로 인한 화학 반응에칭결정 공진기의 공명 주파수의 변화량으로서 또한, 새로운 유기 박막의 표면은 활성 바카라 게임와의 반응에 의해 지속적으로 노출되고, 활성 바카라 게임에 노출되므로,은 박막을 사용하는 데 문제가 해결 될 수있다
그림 2는 다양한 출발 물질을 사용하여 고주파 스퍼터링에 의해 형성된 유기 박막으로 인한 활성 바카라 게임 (원자 바카라 게임)의 모니터 특성을 보여줍니다 수평 축은 활성 바카라 게임와의 조사 시간을 나타내고, 수직 축은 결정 공진기의 공명 주파수의 변화량을 보여준다 (단위 : Hz) 탄소 기반 박막 (그림에서 "탄소"), 출발 물질로 폴리이 미드를 사용하여 형성된 유기 박막 (그림"폴리이 미드”), 폴리 테트라 플루오로 에틸렌 (Polytetrafluoroethylene)를 사용하여 형성된 유기 박막 (그림의 "PTFE")은 상이한 주파수 증가 특성, 즉 질량 감소 거동, 즉 동일한 양의 활성 바카라 게임 조사에 대해, 활성 바카라 게임 측정의 민감도가 형성된 박막에 따라 다양 할 수 있음을 보여 주었다
보다 유기적 인 박막 재료를 개발함으로써, 의도 된 사용 및 장치에 따라 활성 바카라 게임 모니터링이 가능하여 유기 박막의 물리적 특성과 활성 바카라 게임와의 반응 메커니즘을 명확하게 할 수 있습니다
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그림 2 : 유기농 박막 장착 석영 크리스탈 공진기에 대한 활성 바카라 게임 모니터 결과
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| 유기 박막을 사용하여 활성 바카라 게임 (원자 바카라 게임)를 선형으로 모니터링 할 수 있음이 입증되었습니다 또한, 유기 박막의 재료를 변화시킴으로써, 다른 검출 감도를 갖는 활성 바카라 게임 검출 모니터가 생성 될 수 있음이 밝혀졌다 그림에서 "PTFE"는 폴리 테트라 플루오로 에틸렌을 말합니다 "polyimide "is polyimide,"탄소"는 탄소로 제작 된 필름이 출발 물질로 만들어졌습니다 |
이번에 개발 한 활성 바카라 게임 검출 모니터는 2011 년 내에 150 만 엔 미만의 이와사키 덴키에서 장치를 판매 할 예정입니다 또한이 장치를 사용하여, 우리는 표면 처리 과정에서 활성 바카라 게임 효과의 모니터링 결과와 실제 처리 효과 (세정, 개혁, 스 체일화 등), 새로운 처리 속도, 최적화, 최적화, 최적화, 최적화, 최적화, 최적화, 최적화, 최적화, 최적화의 상관 관계를 명확히하고자합니다 장치 등)