8119_8351고정 연마 유형Slice바카라 꽁 머니 기판표면 질감개발 된 형성 기술
이 기술샌드 블래스트and산 에칭 액체와 결합함으로써 표면 텍스처 구조가 형성되고 표면 반사가 감소되어 질량 생산에 적합한 방법이됩니다
이 기술을 사용하여 표면 텍스처 구조를 갖는 기판을 사용하여, 바카라 꽁 머니 태양 전지는 저렴한 비용으로 생산 될 수있을 것으로 예상된다
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이번에 개발 된 바카라 꽁 머니 기판을위한 표면 텍스처 형성 기술
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태양 전지의 질량 확산을 촉진하기 위해서는 더 낮은 비용으로 결정질 실리콘 태양 전지를 제조해야합니다 이 방법 중 하나는 현재 이용 가능한 결정질 실리콘 잉곳을 슬라이스하는 것입니다무료 연마 유형에서 전환 고정 된 연마 곡물 방법이 진행 중입니다 고정 된 연마성 곡물 방법은 자유 연마 성 곡물 방법에 비해 슬라이스 시간을 약 1/3으로 단축하는 능력, 연마 곡물을 함유하지 않는 냉각수의 사용은 폐기물 액체 처리가 덜 부담스럽고 시간에 사용되는 와이어의 길이가 감소 될 수 있음을 의미하며, 폐 와이어의 양이 줄어들 수 있습니다 특히, 단결정 실리콘 기판의 제조에서, 고정 된 연마 곡물 방법으로의 전환이 적극적으로 촉진되고있다 다른 한편으로, 고정 된 연마성 입자 방법을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기질의 표면은 불균일 한 미러 표면에 가까운 형상을 가지며, 표면의 손상된 층의 두께는 또한 자유 연마 곡물 방법의 두께보다 얇다 따라서, 고정 된 연마성 입자 방법에 대한 기대가 높지만, 얇게 썬 기판의 표면에 균일 한 표면 텍스처 구조를 형성함으로써 낮은 표면 반사율을 갖는 기판을 얻는 것은 어렵고, 도입은 지연된다 질량 생산에 적용될 수있는 표면 텍스처 형성 방법은 고정 된 연마성 입자 방법을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기질에 대해 바람직하다
AIST는 고정 연마 전선 (다이아몬드 와이어)을 제조하는 Noritake와 협력하여 고정 연마 방법 (기판 평가 기술 및 표면 텍스처 에칭 기술 포함)을 사용하여 결정질 실리콘 기판을 슬라이싱하는 기술을 개발했습니다 또한,이 기술에 기초하여, 우리는 wako Pure Chemical 및 Noritake와 협력하여 바카라 꽁 머니 기질의 표면 질감을 형성하기위한 산 에칭 용액을 개발해 왔습니다 또한 Fuji Seisakusho는 또한 결정질 실리콘 기질에 샌드 블라스팅을 적용하는 기술을 개발했습니다
이번에는 AIST가 상기 3 개의 회사와 협력하여 진공 장치를 사용하지 않고 고정 된 연마성 곡물 방법을 사용하여 미스 생산에 적용 할 수있는 방법으로 고정 된 연마성 곡물 방법을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기판에 표면 텍스처를 형성하는 기술을 개발했습니다 슬라이스 후 높은 처리량으로 샌드 블라스팅 공정을 도입함으로써, 목표는 자유 연마 곡물 방법보다 저렴한 비용으로 표면 텍스처 구조를 갖는 기판을 생산할 수있는 기술을 만드는 것이 었습니다
도 1은 유리 연마 곡물 방법 및 고정 된 연마 곡물 방법을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기질의 표면 사진을 보여준다 기판의 표면 모양이 슬라이싱 방법에 따라 크게 다르다는 것을 알 수 있습니다
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(a) 자유 연마 곡물 유형 (b) 고정 연마 곡물 유형
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그림 1 방금 얇게 썬 상태에서 바카라 꽁 머니 기판의 표면 사진
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이번에 개발 된 방법에서, 첫 번째 샌드 블라스팅은 고정 된 연마 곡물 방법을 사용하여 균일 한 균일 한 표면을 형성하기 위해 고정 된 연마 곡물 방법을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기판 (도 1 (b))에서 수행된다 다음으로,이 기판은 새로 개발 된 산 에센트에 침지되어 샌드 블라스팅에 의해 생성 된 손상된 층을 동시에 제거하고 기질의 표면 질감을 형성합니다 무화과 도 2는 샌드 블라스팅 후 기판의 표면 사진을 보여준다 3은 산 에칭 후 형성된 텍스처 구조의 표면 사진을 보여준다 그림에서 볼 수 있듯이 도 3, 거의 균일 한 텍스처 구조가 기판 표면에 형성되고,이 방법을 사용함으로써 균질 한 질감 구조를 형성 할 수있게되며, 이는 종래의 방법 만 사용하기가 어려워졌다 또한, 고정 된 연마성 곡물 방법을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기판의 표면 형상은 슬라이싱 조건에 따라 다르지만,이 시간에 개발 된 방법은 샌드 블라스팅 조건을 변화시킴으로써 기질의 표면에 남아있는 손상된 층의 깊이와 불균형을 제어 할 수있다 즉, 개별 슬라이스 조건에 따라 샌드 블라스팅 조건을 변경함으로써 슬라이스 조건이 변하면 최적의 표면 텍스처 구조를 항상 형성 할 수 있습니다
 그림 2 샌드 블라스팅 후 표면 |
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그림 3이 기술을 사용하여 생성 된 텍스처
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도 4는 샌드 블라스팅의 존재 또는 부재와 함께 에칭 후 표면 반사율의 차이를 보여준다 (도 2 및 1 (b)의 기판) 샌드 블라스트 기판의 표면 반사율은 낮아서 태양 전지 생산에 더 적합합니다
또한, 이번에 개발 된 기술을 사용하여 제조 된 기판을 사용하여 바카라 꽁 머니 태양 전지를 생산할 때, 기존의 태양 전지 제조 공정을 사용하여 프로토 타입을 생산했습니다 전형적인 세포 특성, 세포 효율 : 169%, 단락 전류 : 349 ma/cm2, 오픈 회로 전압 : 620 MV, FF : 0780, 면적 : 4 cm2(20 mm x 20 mm) (그림 5)가 얻어졌습니다 기판의 결함의 샌드 블라스팅으로 인한 결합 누출의 문제는 없으며, 우수한 세포 특성이 도시되어있다

그림 4 산 에칭 후 기질의 반사율
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그림 5 프로토 타입 태양 전지의 전류-전압 특성
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고정 된 연마 곡물 방법, 샌드 블라스팅 처리 기술 및 산 에칭 기술을 사용하여 슬라이스 된 바카라 꽁 머니 기판을 제조하는 방법은 더욱 향상 될 것이며, 목표는 질량 생산 공정으로 검증하고 세포 세포의 구조를 고안함으로써보다 효율적인 바카라 꽁 머니 태양 전지를 생성하는 것입니다