게시 및 게시 날짜 : 2012/12/10

진공을 사용하여 전원 스위치를 개발했습니다

-바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체를 사용한 세계 최초의 성공-

포인트

  • 절연체로서 우수한 절연 및 고효율 전류 제어를 위해 진공을 사용합니다
  • 전자 배출원으로서 바카라 사이트 쿠폰아몬드 특정 원리의 적용
  • 스마트 그리드 및 기타 요인에 크게 기여하는 소형 초고 전압 전력 변환기의 개발 예상

요약

JST는 업무를 달성하기위한 기본 연구의 일환으로, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소의 Takeuchi Daisuke와 국립 재료 재료 연구소의 Koizumi Satoshi와 같은 주요 연구원 그룹입니다바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체참고 1)의 특징을 사용하여 진공을 사용한 고압 저항전원 스위치참고 2)| 세계 최초의 운영을 성공적으로 시연했습니다

전기 시스템에 재생 가능한 에너지 소개스마트 그리드참고 3)개념을 실현하려면 전압, 전류 및 주파수를 변환하고 제어하려면 소형 고출력 컨버터 (여러 전원 스위치를 결합한 장치)가 필요합니다 그러나 실리콘 및 기타 재료를 사용하는 전원 스위치가 지금까지 개발 된 경우 고전압을 견딜 수있게하려고 할 때 전력 변환기가 크게 생겨 실제적으로 사용되는 문제가 발생했습니다 따라서 고체 반도체보다 더 나은 절연 전압을 갖는 진공을 사용하는 혁신적인 초고 전압 및 고효율 소형 전력 스위치를 개발할 것으로 기대가 높습니다

진공을 스위칭 요소로 사용하려면 스위치가 켜져있을 때 전류가 진공을 통해 흐르는 전자 방출 원이 필요합니다 이 연구 그룹은 바카라 사이트 쿠폰아몬드의 표면이 수소 원자로 덮여있을 때 전자가 진공 상태로 자유롭게 튀어 나옵니다 따라서, 바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체는 전자 방출원의 재료로 사용되었다진공 파워 스위치참고 4)를 개발 한 후 작동을 확인하면서 10kV 전압에서 전원 스위치 역할을하는 것으로 확인되었습니다 이 실험의 결과를 바탕으로 약 100kV의 고전압을 견딜 수있는 진공 파워 스위치를 만들 수 있다면 이론적으로 기존 전력 크기의 10 분의 1 인 고전력 변환기가 가능합니다

이 기술은 일본 근처의 해역에서 해상 풍력 에너지를 도입하고 일본 군도 사이의 효율적인 전력 전파를 도입 할 때 미래의 새로운 에너지 전략에 기여할 것으로 예상됩니다

이 연구 결과는 2012 년국제 전기 장치 회의(IEDM2012) 2012 년 12 월 10 일 (Eastern Time) 회의에서 발표 될 예정입니다

이러한 결과는 다음과 같은 비즈니스 및 개발 문제를 통해 얻었습니다
  전략적 크리에이티브 리서치 프로모션 프로젝트 고급 저탄소 기술 개발 (ALCA)
개발 문제 이름 : "초고 전압 및 고효율 소형 진공 파워 스위치"
연구 및 개발 담당자 : Takeuchi Daisuke (독립 행정 기관, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소에너지 기술 연구 부서최고 연구원)

연구 및 개발 기간 : 2012 년 10 월 ~ 2018 년 3 월 (계획)

이 프로젝트에서 JST는 새로운 과학적 및 기술 지식을 기반으로 온실 가스 감소의 잠재력을 가진 기술을 만들기 위해 연구 및 개발을 수행하고 있으며, 획기적인 획기적인 실현을 실현하고 기존 개념을 극적으로 변화시킬 "게임 변화 기술"을 만들기 위해 중간 기간 동안 온실 가스 배출량을 꾸준히 줄이려고합니다

연구 배경과 역사

에너지를 절약하여 이산화탄소 배출량을 줄이려면 전력 시스템을 스마트 그리드로 변환하여 많은 양의 재생 에너지 및 제어 전력을 도입해야합니다 예를 들어, 일본 근처의 해수의 해상 풍력 에너지는 엄청나지 만,이를 사용하려면 해상에서 100kV 이상의 고전압 전력을 안전하고 안정적으로 제어 할 수있는 초 높아진 전압 및 고효율 소형 전력 스위치를 개발하는 것이 필수적입니다 또한, 일본 군도 사이의 재생 에너지의 효율적인 전송을위한 스마트 그리드 개념은 매우 높은 전압입니다DC 전력 전송참고 5)| 매우 높은 전압 전원 스위치를 만드는 것은 중요한 과제입니다

실리콘 및 기타 재료로 만든 반도체 장치는 기존의 전원 스위치로 개발되었지만 고전압을 견딜 수 있으려면 많은 요소가 직렬로 연결되어 있어야하므로 거대한 전력 변환기가 발생하여 실제 사용에 문제가 발생합니다

따라서, 고체 반도체보다 더 나은 절연체가 필요했다 진공 청소기는 회로 차단기 및 변전소의 X- 선 발생기에 사용되는 탁월한 절연체입니다 또한, 전자의 움직임을 방해하지 않기 때문에, 충분한 전자 방출이 전자 공급원으로부터 자유롭게 얻어지면, 전류는 작은 전압으로도 잘 흐릅니다 따라서, 전자 방출이 방출되지 않는 "OFF"상태를 사용하여 스위치를 구성 할 수 있고 전자 방출을 갖는 "ON"상태 (도 1), 더욱이 전자는 고체 상태보다 진공 상태에서 더 빠르게 이동하여 고속 켜기를 허용 할 수있다

연구 컨텐츠

진공을 전원 스위치로 사용하려면 고효율 및 저전압이있는 진공 상태에서 큰 전류를 사용해야합니다이상적인 전자 배출원참고 6)를 달성하려면 재료가 필요합니다 전통적인 진공 튜브의 전자 방출 공급원 인 필라멘트는 큰 전류가 빠르게 켜지고 꺼져 있으면 꺼지고 신뢰성, 효율 및 응답 성으로 인해 진공 전원 스위치에 사용할 수 없습니다 이 문제를 해결하기 위해 연구 그룹은 바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체를 진공에 전자 방출원의 재료로 채택했습니다

첫째, 바카라 사이트 쿠폰아몬드의 표면이 수소 원자로 덮여있을 때, 바카라 사이트 쿠폰아몬드의 유리 전자의 에너지 위치는 외부 진공보다 높을 것이며, "음성전자 친화력참고 7)" 수소로 덮인 바카라 사이트 쿠폰아몬드는 수소 원자와 탄소 원자 사이의 강한 공유 결합에 의해 안정화되며 대기 중에도 안정적이며,이 연구에서는 고온으로 진공 상태에서 안정적인 것으로 나타났습니다PN JunctionNote 8)나는 바카라 사이트 쿠폰오드를 제조하고 바카라 사이트 쿠폰오드가 켜질 때 전자 방출이 발생한다는 것을 발견했습니다 그러나, 바카라 사이트 쿠폰아몬드의 유전 상수는 다른 반도체 재료의 유전 상수보다 작기 때문에 이동할 수있는 전자의 양은 작고 실온에서의 흐름은 작기 때문에이 단계에서 고전압 진공 스위치의 작동을 확인하기가 어렵습니다

따라서 붕소에 대한 p- 레이어와 인은 고농도로 추가되었습니다+층과 혼합 된 불순물이 층 사이에 배치되는 고유 형태 (I-Layer)의 층핀 접합 유형Note 9)의 바카라 사이트 쿠폰아몬드 바카라 사이트 쿠폰오드를 개발했습니다 전자 방출원을 생성했습니다 (그림 2) 그런 다음 양극을이 바카라 사이트 쿠폰오드의 상단에서 약 100 마이크로 미터 떨어진 곳에 배치하여 진공 파워 스위치로 테스트했습니다 (그림 3) 바카라 사이트 쿠폰오드가 꺼져 있으면 진공은 절연체 역할을하므로 진공 전원 스위치가 꺼지고 양극 전압이 최대 10 kV에 적용되는 경우에도 전류 흐름이 없습니다 한편, 전압이 바카라 사이트 쿠폰오드에 가해 졌을 때 전자 방출 전류가 약 0V에서 상승하여 진공 전력 스위치가 켜져 있음을 확인했습니다

작업을보다 상세하게 확인하기 위해, 바카라 사이트 쿠폰오드 입력이 온/오프되었고, 출력이 된 고전압 회로의 전류가 부하에 적용된 전압의 변화를 측정 하였다 (도 4) 바카라 사이트 쿠폰오드가 켜지면 전류가 10kV 고전압 회로를 통해 흐르고, 약 10kV의 전압이 하중에 적용되는 것으로 관찰되었습니다 바카라 사이트 쿠폰오드에 대한 입력 전력은 826MW이며, 바카라 사이트 쿠폰오드 전압은 236V, 전류는 7mA 및 구동 시간은 05 초이며 부하에 대한 출력 전력은로드 전압Note 10)964 kV, 현재 48 μA, 운전 시간 05 초, 231 MW, 231/(826+231) = 737%전력 전송 효율참고 11)확인되었습니다 이는 세계 최초의 세계에서 고체 장치와 유사한 전력 스위칭이 진공관으로 달성 될 수 있음을 보여 주었다 이론적으로, 전력 전송 효율이 999% 이상인 설계는 100kV 이상 가능할 것으로 예상된다 진공을 사용하여 100kV 이상의 전압 설계가 충분하다는 사실은 솔리드 스테이트 장치의 기존 전력 스위치에 비해 주요 이점입니다

또한,이 연구를 위해 핀 접합 바카라 사이트 쿠폰오드를 제조 할 때, 우리는 JST 전략적 크리에이티브 리서치 프로모션 프로젝트 팀 유형 연구 프로모션 프로젝트에서 "초대형 전력 장치 실현을위한 기초 구축"(주요 연구원 : Yamazaki Satoshi, 고급 산업 과학 및 기술 연구소)로부터 협력을 받았습니다

미래 개발

바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체의 우수한 물리적 특성을 활용하여 실온에서 작동하는 진공 파워 스위치의 작동을 입증 할 수 있다는 사실은 재생 가능 에너지와 스마트 그리드 기술을 완전히 활용할 수있는 전력 시스템을 실현하는 첫 단계입니다 앞으로, 우리는 진공 전원 스위치의 특성을 더욱 개선하여 절연 전압 저항 및 전력 전환 전위에서 장점을 확인하여 이전 모델의 1/10 미만의 크기를 가진 초고 전압 고효율 소형 전원 스위치를 구체적으로 사용하게됩니다

참조 바카라 사이트 쿠폰어그램

진공 파워 스위치 개념 바카라 사이트 쿠폰어그램
그림 1 : 진공 파워 스위치의 개념적 바카라 사이트 쿠폰어그램
왼쪽은 이상적인 상태이며, 오른쪽은 진공의 전극에 충분한 수의 전자로 채워진 상태입니다 꺼짐으로, 진공 공간은 고전압으로부터 분리되고, 켜져있을 때, 진공은 전자로 채워져 전류가 흐릅니다 진공은 전자 흐름에 내성이 없기 때문에 원칙적으로 스위치에 남아있는 전압의 제로를 제로 할 수 있습니다

고농도 불순물 층을 사용한 바카라 사이트 쿠폰아몬드 핀 바카라 사이트 쿠폰오드 전자 소스의 개략도
그림 2 고농도 불순물 층 (N+레이어
바카라 사이트 쿠폰아몬드의 유전 상수는 다른 반도체 재료의 유전 상수보다 작기 때문에, 움직일 수있는 전자가 적고 간단한 PN 바카라 사이트 쿠폰오드는 실온에서 작동 할 때 작은 전류가 흐릅니다 따라서, 붕소가 첨가 된 P- 레이어 및 N+핀 접합 바카라 사이트 쿠폰아몬드 바카라 사이트 쿠폰오드가 개발되었으며, 여기서 고유 층 (I-Layer)이 층과 층 사이에 배치되어 불순물의 포함을 최소화합니다 N+많은 전자가 실온에서도 층으로부터 I-Layer에 주입 될 수 있으며, 전기적으로 중립적이므로 많은 구멍이 포함되어 있으며 저항은 거의 0이므로 큰 전류를 통과 할 수있는 바카라 사이트 쿠폰오드 형 전자 방출 소스가 전체로 발전했습니다

전자 방출 특성 및 진공 전력 스위치의 작동
그림 3 : 전자 방출 특성 (왼쪽) 및 작동 상태 (오른쪽)
(왼쪽) 바카라 사이트 쿠폰오드가 꺼져 있습니다 (ig= 0 ma); 그러나, 전류가 바카라 사이트 쿠폰오드를 통과 할 때, 전류는 진공을 통과 할 때 전류가 진공을 통과 할 때, 전류는 진공을 통과한다 전류는 거의 제로 양극 전압에서 상승합니다 (오른쪽) 진공 스위치가 켜지면서 위에서보기 바카라 사이트 쿠폰오드가 켜지면 가시 광선이 빛을 방출하지만 전체 바카라 사이트 쿠폰오드가 켜집니다 전자 방출은 또한 농도가없는 전체 빛에서 발생한다고 생각됩니다

10kV 고전압 회로 측면에서의 전류 변화 그림 및 하중의 저전압 측 전압
그림 4 : 10kV 고전압 회로의 출력에서 (Ia) 및 하중의 저전압 측 전압 (va)
바카라 사이트 쿠폰오드가 꺼져 있으면 하중의 저전압 측면의 전압 (va)는 약 10kV이며, 고전압 회로의 10kV의 전자 력과 거의 같으며 하중에는 전압이 적용되지 않습니다 바카라 사이트 쿠폰오드가 켜지면 전류 (ia) 부하의 저전압 측면에서 흐르고 전압 (va) 갑자기 떨어지고 약 10kV의 전압이 하중에 적용됨을 알 수 있습니다 여기서, 바카라 사이트 쿠폰아몬드 핀 바카라 사이트 쿠폰오드에 대한 입력 전력의 출력 전력의 대략 3 배가 하중 저항으로 전송 될 수 있으며, 10kV에서 74%의 효율을 갖는 스위치가 형성됩니다 실제 응용 분야에서, 하중 및 진공 스위치의 위치는 역으로 사용되지만, 데모 실험에서는 측정을도 1에 도시 된 바와 같이 수행 하였다 4 전기 회로의 움직임은 정확히 동일하고 단순하기 때문에

추가 설명

주 1) 바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체
바카라 사이트 쿠폰아몬드는 주기율의 요소 테이블에서 그룹 IV의 탄소로만 구성되며 전자 구성 요소의 주인공 인 Group IV 실리콘 (실리콘)과 동일한 결정 구조를 갖습니다 따라서, 그것은 실리콘의 반도체와 유사한 특성을 갖는다 그러나 불순물이나 격자 결함이 거의없는 고품질 바카라 사이트 쿠폰아몬드가 없었기 때문에 반도체로서의 바카라 사이트 쿠폰아몬드에 대한 연구는 진행되지 않았습니다 그러나 1980 년경, 고품질 바카라 사이트 쿠폰아몬드는 화학 증기 상 합성에 의해 인위적으로 합성되었으며, 반도체에 대한 연구는 급격히 진행되어 심층 UV 방출 LED 및 트랜지스터를 제조 할 수있게되었습니다 전력 장치에 필요한 절연 전압 및 열전도율과 같은 특성은 실리콘 (SI), 실리콘 카바이드 (SIC) 및 질화 갈륨 (GAN)보다 우수합니다[참조로 돌아 가기]
참고 2) 전원 스위치
전압, 전류 및 주파수를 변환하고 제어하기위한 장치 현재 반도체 장치가 주류입니다 기본 작동 원리는 메모리 및 마이크로 컴퓨터와 동일하지만 전원 스위치는 고전압과 고전류를 제어 할 수있는 스위치입니다 실리콘 (SI)은 일반적으로 전원 스위치의 반도체 재료로 사용되지만 사용 가능한 성능은 전압 저항, 전류 용량, 내열성 및 작동 속도 측면에서 거의 한계입니다[참조로 돌아 가기]
주 3) 스마트 그리드
효율적인 에너지 사용을위한 정보 통신 기술 (IT)과 함께 전원 스위치 및 스토리지 기술로 구성된 새로운 전력망[참조로 돌아 가기]
참고 4) 진공 파워 스위치
| 진공 전자 방출 소스에서 전자를 방출하지 않는 "OFF"상태 및 전자 방출을 포함하는 "ON"상태를 사용하여 전환 및 끄는 상태를 사용하여 전환 할 수있는 "OFF"상태를 사용하여 켜지거나 끄는 진공 스위칭 요소를 나타냅니다 진공에서, 충분한 전자 방출 공급원으로부터 충분한 전자 방출이 자유롭게 얻어지면, 전류는 소량 전압에서도 잘 흐르고, 전자는 고체 상태보다 더 빠르게 움직일 수 있으므로 고체 상태와 유사한 전원 전원 전원 전원을 전원으로 전원으로 전원으로 전원을 전원으로 전원으로 이동할 수 있지만 이전에는 작동을 입증하는 데 필요한 전자 공급원이 없었습니다[참조로 돌아 가기]
참고 5) DC 전력 전송
1970 년대에는 400km 이상의 바다와 장거리 전송에서 현재 AC 대신 DC를 사용하여 전력을 전송하면 손실을 줄이며 600 ~ 800km를 초과하면 비용이 저렴할 것입니다 100kV를 초과하는 변속기 전압에서 DC 변속기 및 DC/AC 변환이 이루어질 수 있다면, 일본과 동부 동부의 주파수 차이에 관계없이 전력을 전송할 수 있으며, 이는 전력 시스템에서 스마트 그리드 개념을 실현하는 데 매우 중요한 기술 요소입니다[참조로 돌아 가기]
참고 6) 이상적인 전자 배출원
기존의 진공 튜브 및 형광등에 사용되는 열전 전자 소스는 매우 높은 열 손실을 가지므로 스위치를 고속으로 작동 할 수 없습니다 한편, 전기장에 의해 고체 내부에서 전자를 끌어들이는 필드 방출 전자 공급원 (콜드 캐소드)은 작은 손실을 가지지 만 추출 된 전기장에 매우 민감하여 전류가 집중할 가능성이 높아져 작동하기가 매우 어려워서 특히 고압 스위치의 경우 개발하기가 매우 어렵다 진공 파워 스위치의 경우, 두 가지의 약점을 극복하고 실온에서 전자를 자발적으로 배출 할 수있는 전자 공급원은 "이상적"이라고 할 수 있습니다[참조로 돌아 가기]
주 7) 전자 친화력
금속, 반도체, 절연체와 같은 모든 재료는 재료 내의 자유 전자의 에너지 위치가 외부의 에너지 위치보다 낮을 때 안정적입니다 (진공) 유리 전자 에너지 (전도 대역의 바닥)의 위치에서 원자 및 분자에서 볼 수있는 진공 (진공 수준)의 위치로의 에너지 벽을 "전자 친화력"이라고합니다 재료의 에너지 위치는 자유 전자의 경우 외부보다 높기 때문에 바카라 사이트 쿠폰아몬드를 "음성 전자 친화력"이라고합니다[참조로 돌아 가기]
Note 8) PN Junction
전도성 캐리어로서 구멍을 갖는 P- 타입 반도체의 영역을 전도성 캐리어와 전도성 전자를 갖는 N- 타입 반도체의 영역을 PN 정션이라고한다 전압이 적용되면 전자와 구멍이 접합을 넘어 확산되고 서로 재조합되어 전류가 흐릅니다 그것은 반도체 장치의 다양한 기능의 원천입니다[참조로 돌아 가기]
참고 9) 핀 접합 유형
PN 접합부보다 두 캐리어의 균형이 잘 잡힌 넓은 면적 재조합을 얻으려면, 매우 높은 품질의 동일한 반도체 재료의 고유 모양 (I- 형)을 핀 접합이라고합니다 재조합에 의해 효율적으로 빛을 방출하는 빛이 빛을 방출하는 바카라 사이트 쿠폰오드 (LED)로 사용될 수 있습니다 바카라 사이트 쿠폰아몬드 반도체에서, I- 타입 층에 결합 된 전자 및 구멍을 갖는 유리 엑시톤은 쉽게 형성 될 수 있으며, 전자 방출 특성은 자유 엑시톤 생성을 통해 깊은 자외선 광선 방출과 함께 확인되어 장치 개발의 중요한 구조가된다[참조로 돌아 가기]
참고 10) 하중 전압
이상적으로는 하중에 적용된 전압으로 인해 스위치가 켜지면 전원 공급 전압을 전송해야합니다 이 데모 실험에서, 양극 전압의 간단한 측정을 위해 큰 10 gΩ 저항을 사용한 전압 분배기 회로를 사용 하였다 결과적으로 OFF 시대의 양극 전압은 980kV이며 ON/OFF 변화 속도는 약 1 초로 제한됩니다 부하가 없으면 온/오프는 0001 초 미만입니다 또한, 전자 방출 전류가 켜질 때 전자 방출 전류는 하중과의 균형에 의해 결정됩니다[참조로 돌아 가기]
참고 11) 전력 전송 효율
스위치로 유입되는 총 전력에 출력 할 수있는 전력의 백분율 이상적인 스위치는 100%이지만 스위치 작동으로 인해 항상 손실이 발생하여 100%미만입니다 일반적으로 손실은 열이되며 발전소 규모의 거대한 시스템에서 주요 문제입니다[참조로 돌아 가기]

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