배선 너비가 3μm 인 Ultra-Fine Inkjet 구리 배선 실시간 바카라 사이트을 개발했습니다

Nedo, Sij Technology Co, Ltd, Iox Co, Ltd, Nippon Special Ceramics Co, Osaka Municipal Industrial Research Institute (JGD) 및 National Institute of Advanced Industrial Technology (GD)는 Inkjet Copper Wiring을 사용하여 세계에서 가장 작은 라인 너비 인 3μm의 초고속 배선 실시간 바카라 사이트을 개발했습니다 이번에 개발 된이 실시간 바카라 사이트은 잉크와 보드 사이의 충분한 접착력을 통해 IC 패키지 보드에 필요한 신뢰성을 보장하고 저항이 낮은 미세 구리 배선을 형성하여 차세대 IC 보드 및 스마트 폰 및 IC 태그에 사용되는 초 압축 인쇄 회로 보드로 개발할 수 있도록 설계되었습니다 이 실시간 바카라 사이트은 미래에 더욱 발전 할 것이며 우리는 고화질을 달성 할 수있을 것입니다3D 구현에 적용하는 것을 목표로합니다

그림 1 : Ultra-Fine Inkjet 드로잉 장치 및 그림 예제

현재 시장을 확장하고있는 스마트 폰에 사용되는 LSI는 현저한 속도로 진행되고 있습니다 이러한 LSI를 사용하면 IC 칩의 소형화 및 IC 칩 터미널의 수가 눈에 띄고 IC 패키지에 대한 배선 패턴의 추가 소형화가 필요합니다 그러나 Photolithography 장치는 IC 패키지에 대한 배선 패턴을 생성하는 기존의 프로세스에서 사용되었으며 미세 패턴이 한계에 도달하고 있습니다 이 프로젝트에서 연구울트라 페인 잉크젯 실시간 바카라 사이트IC 패키지 기판을위한 기존의 포토 리소그래피 장치로 달성하기 어려운 마이크로 미터 주문 배선 패턴을 생산할 수 있기 때문에 매우 환경 친화적 인 실시간 바카라 사이트이며, 기존의 광선 극화에 의해 생성 된 유기 및 에칭 액체 폐기물 액체를 상당히 줄일 수 있습니다 이 실시간 바카라 사이트은 점점 더 기능적인 스마트 폰 시장을 지원하고 환경 친화적 인 실시간 바카라 사이트로 관심을 끌고 있습니다

그림 2 : IC 패키지	그림 3 : 미세 배선

특히이 시간의 결과로 세 가지 주요 요점이 언급 될 수 있습니다

• 나노 입자우수한 잉크젯 방출 특성을 가진 구리 나노 입자 잉크 개발
• Ultra-Fine Inkjet 실시간 바카라 사이트은 디지털 데이터를 기반으로 배선 너비 3μm의 배선 너비로 구리 배선을 직접 그립니다
• 매우 저산소증 감소 실시간 바카라 사이트진화, 구리배선 저항달성 4μΩ ・ cm

IC 패키지 기판에 필요한 신뢰성을 달성하기 위해 잉크와 기판 사이의 충분한 접착력을 달성하면서 잉크젯 방법과 호환되는 구리 나노 입자 잉크를 개발했습니다 이 구리 나노 입자 잉크를 사용하여, 본 발명자들은 초트라 페인 잉크젯 실시간 바카라 사이트을 사용하여 라인 너비와 에폭시 기판에 6 μm의 피치를 갖는 라인을 직접 형성하는 데 성공했습니다 (그림 4 및 5) 이 방법을 사용하면 판을 만들지 않고 컴퓨터의 디지털 데이터만으로 미세 배선을 형성 할 수 있습니다 구리 잉크에 필수적인 발사 감소와 관련하여, 우리는 초저 산소 감소 실시간 바카라 사이트을 발전시키고 배선의 저항력을 4μΩ ℃로 줄일 수있는 새로운 공정을 성공적으로 개발했습니다 잉크젯 실시간 바카라 사이트을 사용하여 구리 배선을 형성 할 때, 3 μm의 선 너비와 4 μΩ · cm의 배선 저항력이 최고의 값입니다

그림 4 :이 실시간 바카라 사이트의 결과 (선 너비 3μm, 피치 6μm)

그림 5 : 배선 패턴 샘플 (실제 사진)

이 프로젝트에서는 각 원소 실시간 바카라 사이트의 효과, 실제 사용 문제를 식별하고 방향을 확인했습니다 이번에 얻은 결과를 바탕으로, 우리는 실질적인 사용을 향한 개발 단계로 이동하고 그것을 상업화하는 것을 목표로 할 것입니다 결과는 차세대 IC 패키지 보드뿐만 아니라 스마트 폰과 같은 소규모 정보 및 통신 터미널을위한 초소형 인쇄 회로 보드 및 IC 태그와 같은 RFID 안테나와 같은 새로운 산업으로 확장 될 것입니다

◆ 3D 구현

이것은 여러 칩을 패키지 내에서 3 차원 방향으로 쌓아서 구현하는 실시간 바카라 사이트입니다 메모리 및 마이크로 컨트롤러에 일반적으로 사용되며 와이어 본딩 실시간 바카라 사이트을 사용하여 칩을 칩 또는 인터페이스에 연결하는 데 사용됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ Ultra-Fine Inkjet Technology

Ultra-Fine Inkjet 실시간 바카라 사이트은 01 FL (FEMTRITRES)에서 비교적 큰 방울로의 초정부 방울로부터 비교적 큰 액 적의 방출을 허용하는 실시간 바카라 사이트이며, 비교적 큰 액 적을 방출 할 수있는 실시간 바카라 사이트이며, 비교적 큰 방출을 가능하게하는 실시간 바카라 사이트입니다 05 ~ 10,000 cps의 높은 점도 (Centipoise = MPA · s) 또한이 실시간 바카라 사이트은 경제, 무역 및 업계의 2010 년 실시간 바카라 사이트 전략 맵 및 나노 테크놀로지 필드 실시간 바카라 사이트 맵에서 주요 하향식 방법 중 하나 (대규모에서 소규모로 생산되는 소규모 제조 실시간 바카라 사이트을위한 일반적인 용어)로 나열됩니다[참조로 돌아 가기]

◆ 나노 입자

재료는 나노 미터 (1 억 미터) 크기의 입자로 만들어집니다[참조로 돌아 가기]

◆ 매우 저산소증 감소 실시간 바카라 사이트

일반 가스에 스며 들어 산소 이온 (산화 이온)에 스며드는 능력을 갖는 연질 전해질은 연료 전지의 기본 성분으로 알려져 있습니다 반면,이 물질에 외부 전압을 적용함으로써 산소 가스 만 운반하는 펌프로 작동 할 수 있습니다 Canon Machinery Co, Ltd와의 공동 연구 프로젝트에서 국립 고급 산업 과학 실시간 바카라 사이트 연구소 (Institute of Advanced Industrial Science and Technology)는이 산소 펌프를 불활성 가스의 순환 시스템에 적용함으로써 600 ° C의 산소 부분 압력은 10^-30대기압을 떨어 뜨릴 수있는 매우 낮은 산소 부분 압력을 성공적으로 생성했습니다 (특허) 낮은 산소 부분 압력은 강한 감소력을 의미하며, 질소 및 아르곤과 같은 불활성 가스의 산소 부분 압력을 낮추면 강한 감소 대기가 생성 될 수 있습니다 초저 산소 감소 실시간 바카라 사이트은 이러한 대기에서 열처리를 통해 상대적으로 낮은 온도에서 구리와 같은 금속을 감소시키고 금속 입자 표면의 산화물 필름을 제거하는 실시간 바카라 사이트입니다[참조로 돌아 가기]

◆ 배선 저항력

전기의 용이성 비교를위한 물리적 특성 저항의 크기는 길이에 비례하고 단면적에 반비례하기 때문에 저항 값은 치수에 의존하지 않는 색인으로 사용됩니다 이를 전기 저항 또는 특이 적 저항이라고도합니다 (단위는 [ω · m] 또는 [μΩ · cm])라고합니다 전기 저항 R [ω]의 값은 저항 ρ [ω ・ m], 도체 L [M]의 길이 및 도체의 단면적 A [M²], r = ρ ・ l/a 또는 저항성은 ρ = r ・ a/l로 표현됩니다 저항성은 온도 및 불순물의 양과 같은 다양한 조건에 따라 다르며 20 ° C의 실온에서 다양한 금속의 저항 값은 각각 159은, 168 구리 및 221 골드 [μΩ cm]입니다[참조로 돌아 가기]