바카라 커뮤니티 [Nakabachi Ryoji 회장] (이하 "AIST")측정 표준 연구 부서[연구 부서 최고 Koichi Chiba] 길이 표준 실험실, 길이 측정 실험실, Oto Yoichi, Kondo Yonori의 실험실 책임자 인 Oto Yoichi는 Technical Co, Ltd [이하 Ceo Yamauchi Kazuhide] (이하 Technical Co, Ltd)로 일할 것입니다평탄성 λ/1008395_8448
이번에 개발 된 Ultra-High-Precision Flat Glass 바카라 사이트 주소은 AIST (SDP : Scanning deflectometric profiler)를 사용한 평가 기술을 사용하여 장치에 통합 할 때 λ/100의 평평성이 달성되었습니다 현재 제조 부위에 사용되는 평면 측정 장치의 측정 정확도는 약 λ/20 (약 32 nm)이지만,이 초 고정 정밀 평면 유리 바카라 사이트 주소이 기준 플레이트로 통합되면 평면 유리의 측정 정확도는 약 λ/100으로 개선 될 수 있습니다 제조 현장에서 평평성을 측정하고 평가하는 정확도를 향상시킴으로써 평면 미러 및 프리즘과 같은 다양한 광학 구성 요소의 처리 정확도가 개선 될 것으로 예상됩니다
이 기술에 대한 자세한 내용은 Precision Engineering Society에서 National University Corporation (Tottori City, Tottori Prefcture)의 Tottori University에서 개최 될 예정입니다 2014 년 9 월 16 일부터 18 일까지
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이번에 개발 된 초 고정식 평면 바카라 사이트 주소 (직경 100mm) (왼쪽) 및 평면 모양 측정 결과 (오른쪽)
붉은 부분 (외부 주변 근처)과 가장 오목한 파란색 부분 (중앙 근처) 사이의 불균일 차이는 6 nm 미만입니다 |
고정밀 평면 바카라 사이트 주소은 예를 들어 반도체 및 평면 패널 디스플레이의 노출 장치입니다마스크 보드반사기 미러 및 성능에 영향을 미칩니다 또한, 실리콘 웨이퍼의 평탄도 측정 장치와 같은 나노 미터 수준의 불균일을 측정하기위한 장치는 측정을위한 참조 역할을하는 매우 정확한 평면 바카라 사이트 주소이 필요합니다 차세대 반도체 노출 장치 (EUV)는 정확도가 높은 마스크 바카라 사이트 주소이 필요하며,이 평면 바카라 사이트 주소에 필요한 정확도는 해마다 증가하고 있습니다
평평한 바카라 사이트 주소을 제조하려면 바카라 사이트 주소 표면에 대한 연마 기술뿐만 아니라 측정 (평가) 기술이 필요합니다 그러나 λ/100 수준의 초 고정 정밀 평면 바카라 사이트 주소은 지금까지이를 측정하거나 평가할 수 없었으며 "측정 할 수없는 것은 만들 수 없습니다"
AIST는 국가 표준 기관입니다Fizeau 간섭계를 사용하여 세계에서 가장 높은 정밀 평탄도가 표준으로 공급되었지만, 최근 몇 년 동안 우리는 정확도를 더욱 향상시키기 위해 각도 측정을 사용하여 새로운 평탄도 측정 방법을 개발하기 위해 노력해 왔습니다
한편, Technical Co, Ltd는 평평한 바카라 사이트 주소의 정밀도를 개선하기 위해 노력하고 있으며, 이는 사내에서 제조 및 판매 된 다양한 광학 구성 요소의 표준이며 자체 연마 기술이 있습니다 그러나 높은 정확도로 연마 평면을 평가하기가 어려웠 기 때문에 달성 할 수있는 정확도에 제한이있었습니다
이 개발 에서이 회사는 AIST의 측정 기술과 Technical Co, Ltd의 연마 기술을 결합하여 초고속 플랫 바카라 사이트 주소을 실현하는 것을 목표로합니다
이번에는 물체 표면의 로컬 각도 분포를 소개합니다autocollimeter라는 각도 측정 장치를 사용하여 측정하여 결정되었고, 얻어진 각도 분포를 통합하여 물체 표면의 평면 모양 (오목 및 상상력)을 결정했습니다 이 기술은 Fizeau 간섭계와 같은 기준 평면이 필요하지 않으며 평면 측정의 정확도만으로도 평면 측정의 정확도를 결정합니다 그림 1은 이번에 개발 된 회로도와 초 고정식 평탄도 측정 장치 (SDP)의 모양을 보여줍니다 상업적으로 이용 가능한 오토 클리 미터는 각도 측정 장치로 사용되며, 이로부터 방출 된 각도 측정 광선이 사용된다펜타곤 미러|를 통해 측정 샘플의 표면에 적용하십시오 펜타곤 미러는 샘플 표면에 치는 광선의 위치를 스캔하기 위해 이동하고, 국소 각도 분포는 반사 된 광선의 위치로부터 측정된다 측정 원리와 장치 구성은 모두 매우 간단하지만 오늘날 개발 된 장치는 평탄도 측정의 재현성으로 직경 300mm의 ± 1 nm 이하의 매우 높은 정확도를 달성했습니다
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| 그림 1 초고속 평면도 측정 장치 (SDP) (왼쪽) 및 외관 (오른쪽) |
또한 SDP는 기존 Fiszeau 간섭계의 정확도를 향상시킬 수 있었으며 (그림 2) 국가 표준 평탄도 기계로 사용됩니다 지금까지는 더 높은 정밀 평면도 측정 기계가 없었기 때문에 Fizeau 간섭계에 사용되는 기준 평면 플레이트에서 생성 된 중력 편향의 효과를 평가하기가 어려웠으므로 높은 정확도를 달성하기가 어렵습니다 SDP를 사용하면 중력 편향의 고정밀 평가를 달성 할 수있어 기존 국가 표준 행성 항공기에서도 λ/100을 초과하는 측정 정확도를 달성 할 수 있습니다
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| 그림 2 현재의 전국 표준 기계 평탄도 (Fizeau Interferometer) |
Technical Co, Ltd는 AIST의 평면 모양의 평가 결과를 바탕으로 자체 기술을 사용하여 초 고 정밀 평면 유리 바카라 사이트 주소을 연마했습니다 또한, 연마 된 평평한 유리 바카라 사이트 주소에 대한 홀딩 메커니즘도 개발되었다 프레임 재료 및 홀딩 위치, 설치 중에 변형 및 변형이 발생하고 다른 장치에 통합 될 수있는 경우에도 연마의 평평성이 손상되지 않아 λ/100 (직경 100mm : 유효 직경 90%)을 달성했습니다 이 보유 메커니즘은 초 고정 정밀 평면 유리 바카라 사이트 주소을 기준 평면 플레이트로서 제조 공정에서 사용하는 평평성 측정 장치 (시판 가능한 Fizeau 간섭계)에 포함시킬 수 있으며 측정 정확도는 크게 향상 될 수있다 (도 3) 제조 공정에서 평평성을 측정하고 평가하는 정확도가 향상되어 평평한 미러 및 프리즘과 같은 광학 구성 요소가 전례없는 가공 정확도를 제공 할 수있었습니다
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| 그림 3 : 상업적으로 이용 가능한 Fizeau 간섭계의 기준 평면 플레이트로 장착 된 평면 유리 바카라 사이트 주소 |
Technical Co, Ltd는 기준 플랫 플레이트로 개발 된 초고속 플랫 서지를 통합 한 Fizeau 간섭계를 사용하여 사내에서 제조 된 다양한 광학 부품의 정확성과 신뢰성을 향상시키기 위해 노력하고 있으며, 더 큰 초고속 플랫 서지 (직경 150 mm)를 개발하는 데 작용할 것입니다
AIST는 이번 가을에 개발 된 초고속 평평성 측정 장치를 사용하여 평탄도 교정 서비스를 시작할 계획입니다