바카라 커뮤니티 [Nakabachi Ryoji 회장] (이하 "AIST")Flexible Electronics Research Center[연구 센터 이사 Kamata Toshihide] Yamada Toshikazu, 최고 연구원 (현재 질화물 반도체 실험실 연구원), Hasegawa Tatsuo, 최고 연구원 (및) 국립 대학교 (University of University)와 협력 한 도코타 (University of Tokyo) (Gogamio)와 협력했습니다 (Koyama Kiyoto 회장) (이하 "Yamagata University"라고 함) 및 Tanaka Kiki Metal Industries Co, Ltd (Tanae Akira 회장) (이하 "Tanaka Kiki"라고 함)와 회사는 자산 조약 조사가있는 제품을 패턴 화했습니다실버 나노 입자실버 나노 잉크의 표면을 코팅하여 단순히 초고 정의은 배선 패턴을 허용하는 "Supr-NAP (표면 광 반응성 나노 메탈 실시간 바카라 사이트) 방법"이라는 획기적인 실시간 바카라 사이트 기술을 개발했습니다
실시간 바카라 사이트 된 전자 기술 중에서, 미세한 전자 회로의 구성에 필수적인 고화질 금속 배선을 실시간 바카라 사이트하는 기술은 지그 및 플레이트의 오염, 코팅 후 기판 표면에서 금속 입자의 소결 및 융합으로 인해 반복성이 좋지 않아, 고온 후, 처리 후 플라스틱 기질의 팽창 및 전선의 융합으로 인한 플라스틱 기판의 융합으로 인해 반복성이 좋지 않아 문제가 발생했습니다 이번에 개발 된 기술은 자외선과의 조사에 의해 형성된 고도로 활성 기판의 표면에있는은 나노 잉크에서은 나노 입자를 선택적으로 사용하는 것이다화학 흡착| 입자들 사이의 자체 융합에 의해 저항성은 배선을 형성하는 데 사용됩니다 이를 통해 진공 기술을 사용하지 않고 최소 선 너비가 08 마이크로 미터 인 매우 높은 정의 금속 배선으로 대형 지역 기판에서 쉽고 빠른 실시간 바카라 사이트 할 수 있습니다 유연한터치 패널 센서이 기술을 사용하여 실질적으로 사용될 예정이며 이번에는 8 인치 프로토 타입을 만들었습니다 이 성과에 대한 자세한 내용은 영국 온라인 과학 저널을 참조하십시오Nature Communications에 게시됩니다 4 월 19 일 (영국 시간)
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| Supernap 방법 (왼쪽) 및 Flexible Board (오른쪽)를 사용하여 금속 배선을위한 실시간 바카라 사이트 제조 공정의 일부 |
실시간 바카라 사이트 기술을 사용하여 다양한 전자 장치를 제조하는 실시간 바카라 사이트 된 전자 기술은 진공 상태를 사용하지 않고 거의 실온에서 제조 할 수 있으므로 유연하고 넓은 영역을 만들 수 있습니다휴먼 인터페이스 장치모든 생활 상황을 디지털화합니다 미세한 전자 회로에 필수적인 고화질 금속 배선 실시간 바카라 사이트를 달성하기 위해 잉크 개발 및 다양한 실시간 바카라 사이트 방법이 널리 수행되었습니다
입자 크기가 약 10 내지 100 나노 미터 인 고농도의은 나노 입자를 함유하는은 나노 잉크 (나노 미터는 1/1 억 미터)가 유망한 것으로 간주된다 안정성을 잉크로 유지하기 위해,은 나노 입자의 표면은 보호 층으로 코팅된다 최근에는은 나노 잉크의 제조 공정이 크게 개선되었으며 질량 합성이 가능해졌습니다 또한 은색 나노 잉크를 사용하여스크린 실시간 바카라 사이트 방법,마이크로 연락처 실시간 바카라 사이트 방법,잉크젯 실시간 바카라 사이트 방법등을 사용하여 실시간 바카라 사이트되고 있습니다 그러나 실시간 바카라 사이트 후은 나노 입자 보호 층은 고품질의 저항성 실버 배선을 얻는 데 방해가되므로 제거 될 때 열에 민감한 유연한 기판을 손상시킬 때 잉크 액세서에 대한 제한이 있으며, 잉크 방울에 대한 제한이 있습니다 실시간 바카라 사이트를 통해 얻은은 배선은 패턴 정의, 전도도, 기판에 대한 접착력, 처리 온도 등을 제공합니다제조 처리량의 관점에서, 실제 성능은 지금까지 달성되지 않았습니다 기존 실시간 바카라 사이트 기술의 개선으로 인해 이러한 문제를 해결하는 것은 어렵고, 은색 나노 잉크의 잠재력을 최대한 활용하는 새로운 원칙을 기반으로 실시간 바카라 사이트 기술을 개발할 필요가있었습니다
AIST는 실시간 바카라 사이트 된 전자 제품을 실현하기위한 광범위한 연구 개발을 수행하고 있습니다 이의 일환으로, 우리는 잉크 적용을위한 표면 수정 기술을 사용하여 반도체 층과 강유전 전기 층을 실시간 바카라 사이트하는 기술을 향상시키기 위해 노력하고 있습니다2011 년 7 월 14 일에 AIST 언론의 애니메이션,AIST : 액체를 강하게 방출하는 표면에 바카라를 적용하는 새로운,AIST : 인쇄 전자 제품을위한 액적 시뮬로투스 바카라션,바카라 : Microdroplets의 단일 혼합 메커니즘,2015 년 10 월 1 일에 AIST Press의 애니메이션) 더욱이, 표면 변형 기술을 사용하여 금속 배선의 실시간 바카라 사이트 기술을 개선하기 위해 노력하는 과정에서, 야마가타 대학교의 학업 연구 학부 (과학 학부)의 쿠리하라 마사토 (Kurihara Masato) 교수는 그것을 발명하고 개발하고 (2013 년 11 월 12 일에 Yamagata University Press에 의해 출판 됨) 특별한은 나노 인크 (Silver Nanoparticles)를 발견했을 때 (13 나노 파티 클라스를 가졌을 때) 그것을 개발했다 Kiki Metal은 자사의 제품,은 나노 입자가 특정 표면 변형 된 기판의 표면을 선택적으로 화학 화하는 현상 및 입자가 서로 융합하는 현상을 개발하고 있습니다 우리는이 현상을 분석하고이를 기반으로 실시간 바카라 사이트 기술을 개발해 왔으며이 시간의 결과를 달성했습니다
또한,이 연구 개발은 전략적 혁신 창조 프로모션 프로그램 (S-Inov)의 지원으로 개발되었습니다 "새로운 고성능 폴리머 반도체 재료 및 실시간 바카라 사이트 프로세스를 사용한 AM-TFT 기반 유연한 디스플레이 개발"(프로젝트 관리자 : Takimiya Kazuo (Takimiya Kazuo, Riken University Institute 및 Development and Development and Development and Development and Development and Development Institute), 그룹 이사) 나노 입자는 조직의 특허 그룹에 의해 지원됩니다 우리는 또한 조직의 산업-학술 공동 공동 실용 개발 프로젝트 (Nextep) "미세 금속 와이어를 사용하는 터치 패널 용 센서 필름"(개발 회사 : Tanaka Kiki Metals, CEO : Hasegawa Tatsuo)의 지원을 받았습니다
그림 1은 이번에 개발 된 슈퍼 나프 방법을 사용하여 금속 배선의 실시간 바카라 사이트 및 제조 공정을 개략적으로 보여줍니다 먼저, 비정질불소 기반 중합체잠재적 인 조각상(그림 1 (2)) 다음으로, 기판의 전체 표면이 은색 나노 잉크로 습윤 된 날로 스윕 될 때,은 나노 입자는 반응성 표면에서만 선택적으로 흡착되고 (도 1 (3)),은 배선 패턴은은 나노 입자를 자체 흡수함으로써 얻어진다 (도 1 (4))
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그림 1 수퍼 나프 방법의 개략도
(1) 자외선의 마스크 노출, (2) 반응성 표면에서의 잠재 이미지 형성, (3)은 나노 잉크의 블레이드 코팅, (4)은 배선 패턴의 형성 |
그림 2는 얻은은 배선의 현미경 사진을 보여줍니다 가장 얇은 것은 선 너비가 08 마이크로 미터 인은 배선을 산출했습니다 이것은 스크린 실시간 바카라 사이트 또는 기존의 잉크젯 실시간 바카라 사이트보다 수십 배 더 많은 개선입니다 또한, 잉크 농도를 변경함으로써, 두께는 30 내지 100 나노 미터 범위에서 제어 될 수있다 또한, 종래의 실시간 바카라 사이트 방법을 사용하면, 적용된 잉크의 주변 부분의 두께가 매우 두껍게된다커피 반지 효과배선의 저항이 디자인에서 크게 바뀌지만이 방법에서는 그림과 같이 문제를 일으킨다 도 3에서, 얻어진은 배선의 두께는 선 너비에 관계없이 일정하였고, 커피 링 효과의 효과는 관찰되지 않았다 전자 현미경을 사용한 관찰은 반응성 표면에서,은 나노 입자의 용융으로 인해 구형 모양이 사라져서 얇은 은층을 형성하는 것으로 밝혀졌다 은 배선은 또한 5 메가 파스 칼 이상 (대기압의 50 배)의 힘으로 기판 표면에 강하게 부착되었다 이은 배선은 유연한 기판 (80 ℃ 미만)에 영향을 미치지 않는 온도에서 열처리에 의해 충분히 높은 전도도를 나타냅니다
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| 그림 2 실시간 바카라 사이트 금속 배선의 현미경 사진 |
| 왼쪽 : 5 마이크로 미터, 3 마이크로 미터, 08 마이크로 미터 라인 너비, 오른쪽 : 08 마이크로 미터 라인 너비를 갖는 금속 배선의 전자 현미경 사진을 갖춘 금속 배선의 광학 현미경 사진 |
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| 그림 3 실시간 바카라 사이트은 배선의 두께 분포 및 단면 전자 현미경 |
이번에 사용 된은 나노 잉크는알킬 아민
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| 그림 4 : SuperNAP 방법의 실시간 바카라 사이트 메커니즘 |
| 빛 조사에 의해 기질 표면에 형성된 카르 복실 기는 은색 나노 입자에 결합하고, 표면 진행에 화학적으로 흡착 된 수많은은 나노 입자의 융합 |
기질의 표면층으로 사용되는 플루오로 폴리머 상에 자외선으로 조사 될 때, 중합체 내의 화학 결합의 절단에 의해 야기된다카르 복실 그룹생성됩니다 은 나노 입자 가이 표면과 접촉 할 때, 이들은 보호 층에서 알킬 아민 대신 강한 결합력을 갖는 카르복실기에 결합한다 (도 4) 이것은 표면에 다수의은 나노 입자를 흡수하고, 접촉 된은 나노 입자의 융합이 시작됩니다표면 강화 라만 산란 방법얇은은 층과 반응성 표면 사이의 계면에서 카르 복실베이스 층이 형성되는 것으로 밝혀졌다 은색 나노 입자의 융합에 따라은 표면 온도가 증가함에 따라, 알킬 아민의 추가 탈착 및은 나노 입자의 융합이 눈사태에서 진행되어 공극이없는 고체은 얇은 층이 형성됩니다 (그림 3 오른쪽)
현재 스마트 폰과 같은 터치 패널 센서는 다음과 같은 기능이 있습니다인듐 주석 산화물 (ITO)를 사용한 투명 전도성 필름 사용됩니다 그러나, 그것은 단단한 산화물 결정으로 만들어진 박막이기 때문에, 구부러지면 갈라지며 진공 환경에서 제조해야하므로 유연하고 비용 절감 및 자원 절약 어려움이 필요합니다 이러한 이유로, 메쉬 모양으로 육안으로 보이지 않는 여러 마이크로 미터의 선 너비를 갖는 금속 배선을 형성함으로써 투명 전도성 필름을 제조하기위한 기술이 개발되고있다 이번에 개발 된 기술을 사용하여, 가시 광선의 회절 한계에 가까운 선 너비 (약 2 마이크로 미터)의은 배선이 플라스틱 기판 상에 형성되었고, 유연한 터치 패널 센서가 생성되었다 (도 5) 이 터치 패널 센서는 높은 굽힘 저항성을 나타내며 ITO,은 나노 와이어, 그래 핀 등을 사용하여 다른 투명 전도성 필름에 비해 우수한 광 투과율 및 시트 저항을 나타냅니다 (그림 5의 오른쪽) 정상 온도 및 압력 하에서,은 나노 잉크의 소비가 줄어들어 환경 충격이 낮은 과정에서 이러한 터치 패널 센서를 제조 할 수 있습니다
이번에 개발 된 기술은 미래에 얇은 플라스틱 필름을 붙여 넣어 단순히 터치 센서를 만들 수있는 기술로 개발 될 것으로 예상됩니다 그리고 실시간 바카라 사이트 방법을 사용하여 다양한 전자 장치가 형성되는 실시간 바카라 사이트 전자 장치를위한 필수 기술과 코팅 방법을 사용하여 금속 박막 패턴을 쉽게 형성하기위한 새로운 기술로 형성됩니다
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| 그림 5 프로토 타입 터치 패널 센서 시트 및 그 특성 |
| 왼쪽 : PET 필름에서 제작 된 정전기 터치 패널 센서 (8 인치 크기) 및 오른쪽 : 다양한 투명 전도성 필름의 시트 저항 및 광 투과율 비교 |
현재 Tanaka Kikinzoku는 2017 년 1 월 샘플을 선적하기 위해이 기술을 사용하여 유연한 터치 패널 센서를 상용화하기 위해 노력하고 있습니다