게시 및 게시 날짜 : 2016/07/05

3 차원 물체의 라이브 바카라에서 다중 벽 탄소 나노 튜브를 재배하는 편리한 방법을 개발했습니다

-광학 장비 필드에 다중 벽 탄소 나노 튜브를 예상한 응용-

포인트

  • 대기의 간단한 라이브 바카라 처리는 CNT 성장에 필요한 촉매 지지층
  • 다층 CNT는 복잡한 모양을 가진 큰 3D 객체의 라이브 바카라에서 자랄 수 있습니다
  • 차세대 광학 장비를위한 광 차폐 재료의 개발에 기여하고 방사선 온도계 교정을위한 표준 광원의 발전에 기여하기를 희망


요약

바카라 커뮤니티 [Nakabachi Ryoji 회장] (이하 "AIST")물질 측정 표준 연구 부서[연구 부서 이사 Fujimoto Toshiyuki] Watanabe Hiromichi, 열 속성 표준 연구 그룹의 최고 연구원,물리적 측정 표준 연구 부서[연구 부서 이사 나카무라 야스 히로] ISHII ISHII Juntaro 부국장 ISHII는 Microphase Co, Ltd와 협력하여 [대표 이사 Ota Keishin] (이하 Microphase ")와 협력하여 멀티 층 방식으로Carbon Nanotube (CNT)금속 또는 탄소 재료로 만든 3 차원 물체의 라이브 바카라에 이런 식으로화학 증기 증착 (CVD)CNT의 성장에 필수적인 금속 촉매지지 층은 기존입니다스퍼터링 방법8707_8726이 아닌 대기 대기에서 쉽게 할 수 있습니다입자 폭발 방법와 함께 세상에서 처음으로 그것을 형성 한 것입니다

최근 몇 년 동안, CNT가 광 차폐 재료와 발광 재료로 사용하려는 시도는 CNT가 거의 0 반사율을 갖는 특성에 초점을 맞추고 있습니다 그러나, CNT가 일반 목적 광학 장치 내에서 광 차폐 재료로 사용되는 예는 없었습니다 이는 기존의 CNT 성장 방법이 스퍼터링 방법과 같은 진공 상태에서 정교한 라이브 바카라 전처리를 요구하기 때문에, 이는 증착 할 수있는 물체의 모양을 제한하기 때문이다 이번에 개발 된 성장 방법을 사용하면 다층 CNT가 스퍼터링없이 다양한 금속 및 탄소 재료의 물체 라이브 바카라에서 쉽게 자랄 수 있습니다 이 기술은 원통형 렌즈 배럴 내부에서 다층 CNT를 직접 성장시키고 렌즈 배럴 내에서 산란 된 빛을 상당히 억제함으로써 카메라 및 천문 망원경의 해상도와 조명 민감도를 극적으로 향상시킬 것으로 예상됩니다 또한,이 기술은 단일 계층 CNT 및 다층 CNT의 성장에 필요한 금속 촉매지지 층을 증착하기 위해 간단하고 저렴한 입자 블라스팅 방법을 사용하며, 조건을 제어함으로써 성장 된 CNT의 특성을 제어 할 수 있으며 CNT의 새로운 방법으로 널리 사용될 것으로 예상됩니다

이 업적에 대한 자세한 내용은 곧 제공 될 예정입니다Nanotechnology의 온라인 버전에 게시되었습니다

내부에 돌출부와 내부 라이브 바카라에 다층 CNT를 쌓기 전후에 사진 이미지를 갖춘 텅스텐 (W) 도가니의 교차 자형 단면도
CrossCrollust 내부에 돌출부가있는 텅스텐 (W)과 내부 라이브 바카라에 다층 CNT를 입금 전후의 사진으로 만든 CrossCrollust
다층 CNT 광 흡수 속도는 거의 100%이므로 돌출부를 볼 수 없습니다


개발의 사회적 배경

최근에 CNT 수직 정렬 본문이 사용되었습니다방출(흡수율) 넓은 파장 범위블랙 바디(완전한 라디에이터)는 거의 1이므로 CNT를 차세대 광학 장비의 검은 색으로 사용하기위한 연구 및 개발이 진행 중입니다 적외선 탐지기를위한 감도 향상 코팅 및 검은 바디 캐비티 내부의 검은 색 공급원 내부의 검은 색 코팅 재료는 방사선 전환기의 보정을위한 표준 광원으로 사용됩니다 그러나, CNT가 용매와 혼합되어 물체의 라이브 바카라에이를 적용 할 때, CNT 정렬 본체 내부의 공동 및 공극이 붕괴되어 광 흡수 속도가 크게 감소합니다 따라서, 1에 가까운 방사율을 달성하기 위해서는 물체 라이브 바카라에서 CNT를 직접 성장시켜야합니다

금속 또는 탄소 재료에서 CNT를 재배하려면 CVD 방법이 현재 가장 실용적인 방법입니다 CVD 방법에서, CNT 성장 및 물체의 라이브 바카라을위한 촉매로서 작용하는 미세 금속 입자 사이의 반응을 피하기 위해, 스퍼터링 등으로 나노 미터의 두께로 산화물 박막 (촉매지지 층)을 형성해야한다 그러나 스퍼터링 방법은 증착 될 수있는 물체의 크기와 모양을 제한하며 처리 비용도 높습니다 또한, 촉매-지원 층 전구체의 용액에 물체를 침지시키는 방법이 제안되었지만, 용액에서 꺼낼 때, 용액은 라이브 바카라에 액 적이되어 균일 한 촉매 지원 층을 형성하기가 어렵게 만들고, 성전 CNT와 물체 라이브 바카라 사이의 접착제가 약한 경우에도 문제가있다 따라서, 스퍼터링과 같은 정교한 라이브 바카라 전처리를 겪지 않고 금속 및 탄소 재료의 라이브 바카라에 단단히 준수하는 균질 한 CNT 필름을 재배하는 방법의 개발을 기다리고있다

연구 이력

AIST는 CNT가 넓은 파장 범위에서 성장하는 라이브 바카라의 높은 방사율을 이용하기 위해 연구 개발을 수행하고 있습니다 고온 물체의 온도를 측정하는 방법은 방사선 온도를 측정하는 방법이며, 이는 물체로부터의 열 방사선의 강도를 기반으로 온도를 결정합니다 이 방법에서, 라이브 바카라의 방사율을 흑체의 방사율에 더 가깝게 측정하도록하는 것은 정확한 측정의 중요한 열쇠입니다 따라서 AIST는 방사선 온도 측정을보다 정확하게 만들기 위해 온도 측정의 라이브 바카라에서 CNT를 성장시키는 방법을 연구하고 개발해 왔습니다

이번에는 CNT 및 그래 핀과 같은 나노 물질을 제조하기위한 장치와 3 차원 물체 라이브 바카라에 다층 CNT를 퇴적하는 새로운 기술을 개발하고 판매했습니다

연구 컨텐츠

입자 블라스팅을받는 물체의 라이브 바카라에 연마제로 사용되는 산화물 분말의 약간의 잔류 물이 쌓이는 것으로 경험적으로 알려져있다 따라서, 이번에 개발 된 다층 CNT 필름 형성 방법에서, 라이브 바카라 상에 증착 된 알루미나 분말의 잔류 물을 알루미나 분말을 사용한 입자 블라스팅 처리에 의해 CNT 필름 형성에 필요한 철 촉매에 대한지지 층으로서 사용되었다 입자 블라스팅을 사용하여지지 된 층 증착 방법의 다양성 및 효과를 확인하기 위해, 알루미나 입자는 텅스텐 (W)을 함유하는 18 가지 유형의 금속 및 탄소 재료로 제조 된 물체의 라이브 바카라에 입자 블라스팅을하였고, CNT 성장 실험을 CVD 방법을 촉매로 사용하여 CVD 성장 실험을 수행 하였다 결과적으로, 다층 CNT의 검은 필름은 18 개의 다른 물체 라이브 바카라에서 균질하게 자라는 것을 확인했다

도 1은 실험 절차의 개략도, 입자 폭파 후 W 기판의 사진 및 다층 CNT 성장 후 W 기판을 보여준다 입자 블라스팅 후, 기판을 가열 용광로에 넣고, 촉매를지지하기 위해 기판 근처에있는 유기 철 화합물 (페로 센) 분말의 승화에 의해 생성 된 철 증기에 노출된다 그 후, 아세틸렌 (C2H2) 및 질소 (n2)의 대기하에 배치되고 가열되면, 다층 CNT는 기판 라이브 바카라에서 자랐다

발달 된 CNT 성장 방법 (상단)의 개략도 및 입자 폭파 및 다층 CNT 성장 (하단) 후 W 기판 사진의 회로도
그림 1 : 발달 된 CNT 성장 방법 (상단)의 개략도 및 입자 폭파 및 다층 CNT 성장 후 W 기판 사진 (

또한, 입자 폭발 후 W 기판의 라이브 바카라의 경우스캐닝 오거 전자 분광법를 사용하여 얻은 알루미늄 분포 비교 주사 전자 현미경 (SEM)을 사용하여 얻어진 라이브 바카라 형상 이미지를 사용하여, 나노 미터 크기의 알루미나 잔기 입자가 고르지 않은 라이브 바카라에 국소 적으로 증착 된 것으로 밝혀졌다 (도 2)

또한, W 기판에서 성장한 다층 CNT 어셈블리의 상부 라이브 바카라을 SEM을 사용하여 관찰 한 다음, 다층 CNT 어셈블리를 제거하고 투과 전자 현미경 (TEM)을 사용하여 CNT 단독의 형태를 관찰 하였다 결과적으로, 이번에 개발 된 성장 방법은 직경이 7 내지 15 nm 인 다층 CNT가 기질 라이브 바카라에 무작위로 배향 함을 보여 주었다 (도 3)

SEM 이미지의 그림 (A) 및 입자 폭발 후 W 기판의 알루미늄 분포 (B)
그림 2 SEM 이미지 (A) 및 입자 블라스팅 후 W 기판의 알루미늄 분포 (B)

SEM 이미지의 그림 (왼쪽 및 중앙) 및 다층 CNT 성장 후 다층 CNT의 TEM 이미지
그림 3 다층 CNT 성장 후 W 기판의 SEM 이미지 (왼쪽 및 중앙) 및 다층 CNT (오른쪽)의 TEM 이미지

도 4는 이번에 개발 된 성장 방법을 사용하여 다층 CNT가 성장하는 라이브 바카라의 방사율 (다층 CNT 검은 라이브 바카라)의 파장 의존성을 보여준다 CNT 검은 라이브 바카라의 방사율은 가시 파장 범위에서 099 이상이고 적외선 파장 범위에서 0985 이상이었다 기존의 검은 색화 페인트의 방사율 (약 096)과 비교하여, 이번에 개발 된 성장 방법에 의해 얻어진 다층 CNT 블랙닝 라이브 바카라은 매우 높은 방사율을 가졌다

다층 CNT 검은 라이브 바카라의 가시 및 적외선 파장 범위의 방사성의 진단 파장 의존성
그림 4 : 가시 및 적외선 파장 범위에서 방사성의 파장 의존성 다층 CNT 검은 라이브 바카라

입자 블라스팅이 페인팅하기 전에 자동차 몸체의 라이브 바카라 전처리에 사용된다는 사실에서 볼 수 있듯이, 크고 복잡한 곡선 라이브 바카라의 라이브 바카라을 처리하기 위해 쉽고 저렴한 비용을받을 수 있습니다 따라서, 다층 CNT가 이번에 개발 한 성장 방법을 사용하여 돌출부 내부의 돌출부와 함께 특별히 형성 된 W 도가니의 내부 라이브 바카라에서 성장했을 때, 이번에 개발 한 검은 색, 조밀 한 다층 CNT 필름이 개요 다이어그램에 도시 된 바와 같이, 가시 수준 내부의 돌출성을 보이도록 도가가 교차로의 내부 라이브 바카라에서 자랐다 이번에 개발 된 방법을 사용하여 카메라 및 천문학적 망원경과 같은 일반 목적 광학 제품 내부의 검은 색 처리에 기여하고 표준 광원 (검은 색 바디 퍼니스)의 성능을 향상시키는 데 기여할 수 있습니다

미래 계획

이번에 개발 된 방법을 사용하여 민간 회사와 협력하여 민간 기업과 협력하여 방사선 온도계의 교정에 사용되는 표준 광원 인 검은 바디 퍼니스의 내부 벽에 다층 CNT 필름을 실질적으로 사용하고 이러한 장치가 관여하는 측정 및 관찰 기술을 개선하는 것을 목표로합니다 또한, 입자 블라스팅을 사용한 CNT 증착 방법의 메커니즘 및 촉매 지원 층의 구조와 CNT의 특성 사이의 관계는 CNT를 사용한 전자 장치 및 복합 재료의 개발에 기여할 것이며, 미래에 단일 층 CNT를 성장시키기 위해이 방법을 개발하는 것을 목표로 할 것이다



터미널 설명

◆ 탄소 나노 튜브 (CNT)
지름이 04 내지 50 nm 인 원통형 1 차원 나노 물질로, 메쉬 같은 결합 탄소 원자를 갖는 둥근 단 모노 토믹 막에 의해 형성 된 원통형 1 차원 나노 물질이다 탄소 필름의 수가 하나로 구성되면, 단일 벽 탄소 나노 튜브로 분류되며, 그 수가 둘 이상인 경우 다중 벽 탄소 나노 튜브로 분류됩니다[참조로 돌아 가기]
◆ 화학 증기 증착 (CVD)
이것은 기판 상에 다양한 물질의 박막을 형성하는 방법으로, 기판이 원료 가스가 흐르는 반응 용광로에서 가열되고, 기판 라이브 바카라에서 화학적 촉매 반응이 생성되어 기질 상에 필름을 형성한다 CNT를 재배 할 때, 탄화수소는 종종 원료 가스로 사용되며, 전이 금속 미세 입자는 종종 반응을위한 촉매로서 사용된다[참조로 돌아 가기]
◆ 스퍼터링 방법
이것은 아르곤 (AR) 가스를 진공에 도입하면서 필름 형성 재료의 기판과 플레이트 (표적) 사이에 고전압이 적용되는 필름 형성 방법입니다 표적 및 기판은 진공 챔버에 둘러싸여 그들 사이에 고전압을 적용하므로, 증착 될 수있는 기판의 모양과 크기에 제한이있다[참조로 돌아 가기]
◆ 입자 폭발 방법
금속 산화물과 같은 단단한 분말을 고압 에어 스프레이 흐름에 혼합하고 고속으로 물체 라이브 바카라과 충돌하여 라이브 바카라에서 오염 물질을 제거하고 라이브 바카라 거칠기를 균질하게 만듭니다 이것은 페인팅 및 결합 과정에 종종 사용되는 전형적인 라이브 바카라 처리 방법입니다 그것이 처음 고안되었을 때, 모래는 종종 분말에 영향을 미치는 데 사용되었으므로 모래 폭파라고도합니다 저렴한 소형 장치도 가정에서 사용할 수 있습니다[참조로 돌아 가기]
◆ 방해
전자기파는 항상 절대 제로 이상의 온도에서 재료 라이브 바카라에서 방출되며 열 방사선이라고합니다 방사율은 동일한 온도에서 흑체에서 방출 된 열 방사선 (흑체 방사선)의 강도로 배출 된 열 방사선의 강도를 나누어 획득 한 0 내지 1 이하의 치수량으로 표현되는 광학 특성이다 열 평형의 물체의 경우, 방사율과 흡수 속도는 에너지 절약 법칙에 따라 동일합니다 일반 재료의 경우, 방사선의 온도와 열 방사선의 파장에 따라 방사율이 변화합니다 열 방사선의 특정 파장 성분에 초점을 맞출 때, 방사율을 스펙트럼 방사성이라고도합니다[참조로 돌아 가기]
◆ 흑체
완벽한 라디에이터라고도 알려진이 제품은 외부에서 사고를 일으키는 모든 파장의 전자기파를 흡수하고 모든 흡수 에너지를 전자기파 (열 방사선)로 방출하는 물체입니다 흑체에 가장 가까운 실제 물체는 등온 벽으로 둘러싸인 캐비티이므로 흑체 방사선을 시뮬레이션하는 장치 인 검은 색 바디 퍼니스는 주로 흑연 또는 내화성 재료로 만든 공동의 내부 벽을 균일하게 가열하도록 구성됩니다 흑체의 경우, 방사율은 파장 또는 온도에 관계없이 항상 1으로 정의됩니다[참조로 돌아 가기]
◆ 스캐닝 오거 전자 분광법
전자 ​​빔으로 샘플을 조사하는 것은 샘플에서 다양한 전자 및 전자기파를 방출하지만, 오거 전자는 나노 미터의 매우 얕은 깊이에서 샘플 라이브 바카라에서 방출되므로 샘플의 대부분의 라이브 바카라에 존재하는 요소의 질적 및 정량적 분석은 동력 에너지의 스펙트럼 분배를 기반으로 할 수 있습니다 조사 된 전자 빔을 스캔하는 동안 오거 전자 분광법 측정을 수행함으로써, 가장 바깥 쪽 라이브 바카라에서의 요소의 라이브 바카라 분포가 측정된다[참조로 돌아 가기]



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