바카라 커뮤니티 [Nakabachi Ryoji 회장] (이하 "AIST")Flexible Electronics Research Center[연구 센터 이사 Kamata Toshihide] 온라인 바카라 프로세스 팀 연구원 Kanazawa Shusuke와 연구팀의 책임자이자 센터 보조 책임자 인 Ushijima Hiroshi는 캔틸레버, 교량 등으로 일하고 있습니다부유 부품이있는 미세 구조를 제조 할 수있는 기술을 개발했습니다 온라인 바카라 방법을 사용하여 고효율과 저렴한 비용으로
일반적으로, 그러한 작은 부동 부품을 형성 할 때, 기판과 접촉하는 부분이 제거되고 공기에 떠있는 부분이 남아 있습니다에칭 메소드사용되어 많은 제조 공정이 있으며, 재료 및 에너지 소비의 낭비가 어려웠습니다 이번에는 기술이 개발되면, 필수 구조 만 기판에 쌓여 부유 부품을 형성하여 기존의 방법에 비해 제조에 필요한 시간을 80% 줄여 에너지 절약 및 저비용 제조를 달성 할 수있게합니다 부유 부품을 갖는 이러한 미세 구조는 다양한 센서의 탐지 단위로 사용될 수 있으므로이 기술에는 대량의 센서가 도입되어야합니다iot의 본격적인 구현에 기여할 것으로 예상됩니다 또한, 직물 및 고무와 같은 다양한 재료가 기판에 사용될 수 있으며, 플로팅 부분은 광범위한 방식으로 선택 될 수 있으며, 부동 부분은 목적에 맞는 형태로 형성 될 수 있으므로 공정에서 높은 수준의 자유를 제공 할 수 있습니다 또한 개발 된 기술을 사용하여 제조 된 헤드 마이크 호흡 센서는 이전과 거의 동일한 장비를 가진 대중 교통 운전자의 졸음과 같은 건강 상태를 감지 할 수 있습니다
관련 기술은 JPCA Show 2017 (47 번째 국제 전자 회로 산업 전시회)에서 2017 년 6 월 7 일부터 9 일까지 도쿄 빅 시력 (도쿄 코토 쿠)에서 열릴 예정입니다
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이번에 개발 된 온라인 바카라 기술을 사용하여 떠 다니는 부품으로 미세 구조를 제조하는 예
(a) 문자열 형 캔틸레버 구조, (b) 정사각형 브리지 구조 |
보다 안전하고 안전한 사회를 실현하기 위해서는 사람들이 건강을 적절히 파악하고 관리 할 수있는 기술이 필요합니다 예를 들어, 과거의 고통스러운 사례는 대중 교통 운전자의 건강과 노인 및 유아의 활동을 적절하고 효율적으로 모니터링해야 할 필요성을 보여주었습니다 이를 위해서는 생활 공간에 혼합되는 방식으로 원하는 이벤트를 정확하게 캡처하는 센서 장치를 제공해야합니다 모든 것에 센서를 통합하고 정보 통신 기술을 통해 고급 서비스를 효율적으로 배포하는 "사물 인터넷 (IoT)"은 그러한 이니셔티브의 일반적인 용어라고 할 수 있습니다
다양한 센서 감지 메커니즘이 있지만, 감지 장치 이동이 자주 사용될 때 민감한 기계적 변위 검출 메커니즘은 압력 및 가속도와 같은 물리적 수량에서 화학 물질의 흡착에 이르기 때문에 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있기 때문에 자주 사용됩니다 이 검출 섹션과 같이, 캔틸레버 또는 브리지와 같은 부유 부품이있는 미세 구조는 대상 이벤트를 위해 큰 "편향"을 얻을 수 있으며 명확한 변위를 생성 할 수있어 매우 민감한 센서를 제작하는 데 매우 유용합니다 또 다른 장점은 부동 부분의 폭, 두께 또는 재료를 변경함으로써, 편향 정도를 조정할 수 있고, 주변 구조와 무관 한 변위가 생성 될 수 있고, 예를 들어, 기판에 고정 된 변형 센서와 비교하여 더 넓은 범위의 감도를 수용 할 수있는 감지 장치를 형성 할 수 있다는 것이다
플로팅 부품을 갖는이 미세 구조는 고성능 탐지기로 사용되지만,이를 사회에서 널리 사용하기 위해서는 먼저 효율적이고 저렴하게 제조해야합니다 또한, 센서가 IoT를 홍보하여 거실 공간을 둘러싸도록 설치 될 것이라는 점을 고려할 때, 사람들의 삶에서 다양한 유형의 센서를 보드로 사용하여 센서를 형성하려면 보드의 높은 자유가 필요합니다 그러나, 기존의 제조 기술, 소위 반도체 제조 공정은 많은 단계를 가지고 있으며 많은 양의 폐기물을 방출하여 저비용 생산을 효율적으로 다루기가 어렵습니다 또한, 기판의 평면 정확도 및 공정 저항에 대한 수요가 높았으며, 유연한 기판상의 센서의 형성도 크게 제한되었다 따라서, 가장 간단한 가능한 방법을 사용하여 부유 부품을 갖는 미세 구조를 다양한 기판으로 형성 할 수있는 새로운 기술이 필요하다
AIST의 Flexible Electronics Research Center는 온라인 바카라 기술을 사용한 고효율 장치 제조 기술의 연구 및 개발을 위해 노력하고 있습니다 광범위한 재료를 기판으로 사용하여 고효율 장치 제조를 달성하기 위해 매우 생산적인 전송 온라인 바카라 방법을 사용합니다접착제 대비 온라인 바카라 방법ya,화면 오프셋 온라인 바카라 방법와 같은 독특한 기술을 만들었습니다
캔틸레버 및 교량과 같은 부유 부품을 갖는 미세 구조는 실리콘 기판에 기초하여 전통적으로 가공되고 형성되며 기계적 변위에 걸리기 쉬운 구조적 이점은 특히 센서 감지 섹션으로 유용하다mems현장에서 제출 반면에, 기존의 온라인 바카라 방법은있다3D 프린터와 같은 스캐닝 방법을 사용한 소규모 로트 생산 기술을 제외하고, 형성 될 수있는 구조는 2 차원 형태로 제한되었다 따라서, 우리는 대량 생산에 적합한 전송 온라인 바카라 방법을 기반으로 부유 부품으로 3 차원 구조를 형성 할 수있는 온라인 바카라 기술을 개발하기 위해 노력해 왔습니다
또한,이 연구 중 일부는 과학 제휴 과학 연구 보조금 프로젝트 Young Research (B) "
이번에 개발 된 기술은 단순히 층의 일부를 접촉하여 특정 층을 전송하는 것입니다오프셋 온라인 바카라이것은 방법을 기반으로하는 기술로,이 방법에 배치하는 데 필요한 부품 만 쌓아 부유 부품으로 미세 구조를 생성합니다liftON-OffsetP린팅 (루프) 방법 "루프 방법을 사용하여 캔틸레버 구조를 형성하는 과정은 기존의 반도체 제조 공정과 함께 그림 1 (a) 및 1 (b)에 나와 있습니다담요
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그림 1 : 캔틸레버 구조를 만드는 프로세스 개요 (a) 새로운 기술 "루프 방법", (b) 반도체 제조 공정,
및 (c) 두 프로세스에 대한 모든 프로세스 통합 시간 비교 |
루프 방법의 가장 큰 장점은 제조에 걸리는 시간을 크게 줄일 수 있으며, 그림 1 (c)에 표시된 것처럼 모든 제조 공정의 축적 시간은 반도체 제조 공정에서 약 80% 감소한다는 것입니다 대기의 모든 프로세스를 수행하고 필요한 구조 만 생성함으로써 시간이 크게 줄어 듭니다 또한, 담요 상에 전달 될 구조를 제조하는 과정 및 이들을 수신하는 기판 상에 볼록 부분의 형성은 다른 기판에서 병렬로 수행 될 수 있으며, 이는 또한 시간을 단축시키는 데 기여할 수있다
루프 방법의 주요 기술적 특징은 레이어의 일부를 촉진하여 전체 층을 전송할 수 있다는 것입니다 따라서 부유 부품이있는 구조를 만들 수 있습니다 이것은"부착스위칭 프로세스"라는 프로세스를 도입함으로써 달성되었습니다 (그림 1 (a) ④) 접착력 스위칭 공정은 담요에 사용 된 고무 재료의 특성을 사용하는 기술이며, 담요 상에 경화 된 층의 접착력은 적절한 타이밍으로 감소시켜 담요에서 쉽게 벗길 수 있습니다 무화과 도 2는 접착력 전환 과정의 효과를 측정하기위한 측정의 개요 (그림 2 (a)) 및 측정 결과 (도 2 (b))를 보여준다 상업적으로 이용 가능한은 페이스트를 담요 표면에 온라인 바카라 한 다음 경화시키고, 필름의 일부를 접착력 전환 처리에 적용하고, 처리되지 않은 영역과 함께 접착력을 측정 하였다 이 처리는 접착 강도를 1/3 미만으로 만들어 27 ± 068 mn/mm의 매우 약한 힘으로도 껍질을 벗길 수 있습니다 이를 통해 루프 방법에 의해 형성된 부동 부분은 모양이 높은 자유도를 가질 수있게되며, 끈과 같은 캔틸레버 및 직사각형 파형 브릿지와 같은 복잡한 구조가 파손되지 않고 전달 될 수 있습니다
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| 그림 2 접착력 힘 스위칭의 유무 또는 부재로 인한 접착력의 차이 (a) 측정 개요, (b) 측정 결과 |
루프 방법의 장점은 제조의 고효율, 수지 및 기능 입자가 온라인 바카라에 사용되는 잉크에 첨가되어 작은 젊은 모듈러스가있는 부드러운 재료를 사용하여 전자 기능을 제공하는 것과 같은 목적에 따라 부동 부분의 특성을 조정할 수 있다는 것입니다 또한, 다양한 재료가 기판으로 사용될 수 있습니다 기존의 반도체 제조 공정에서, 기판에 높은 평면 정확도가 필요하며, 반응성 가스 또는 산성 또는 기본 액체에 노출되므로 직물이나 기질과 같은 고무와 같은 재료를 사용하기가 어렵다 루프 방법은 온라인 바카라 기술을 기반으로하기 때문에 부유 부품을 갖는 미세 구조는 반도체 제조 공정에 사용되는 유리 기판 및 실리콘 기판뿐만 아니라 스폰지와 같은 부드러운 재료에도 형성 될 수 있습니다
또한, 에칭을위한 보호 저항과 같은 프로세스로 인해 반드시 폐기되는 부유 부품 및 재료를 형성하기 위해 하층으로 사용되는 희생 층이 없기 때문에, 재료 사용 효율성이 높고, 제조 공정의 수는 기존의 반도체 제조 공정에 비해 크게 감소된다 또한 라미네이팅 및 전송 방법으로 인해회전 유형 온라인 바카라와 같은 대량 생산 공정에 쉽게 배포 할 수 있으며, 모든 프로세스는 대기에서 수행되므로 실제로 대량 생산 기술로 사용되기를 희망합니다
이번에는 루프 방법의 다양한 장점을 활용하여 대중 교통 운전자가 사용하는 헤드 마이크의 끝 부분에 스폰지 부품에 전도성 캔틸레버 (그림 3 (a))를 형성하여 통합 헤드 마이크 (그림 3 (c))가있는 호흡 센서를 개발했습니다 (그림 3 (c)) 이 센서의 원리는 스폰지 뒷면에 제공된 전도성 캔틸레버와 공기 갭을 통해 서로 마주 보는 반대 전극 사이의 커패시턴스를 측정하는 것입니다 캔틸레버가도 3 (b)에 도시 된 바와 같이, 커패시턴스는 호기로 인해 변하기 때문에, 깊이와 호흡 기간은 커패시턴스의 변화로 감지 될 수 있으며,도 3 (d)에 도시 된 바와 같이, 활성 주간 호흡과 느리게, 수면 동안의 심호흡 사이의 차이는 명확하게 감지되었다 많은 연구에 따르면 호흡의 깊이와주기는 졸음 및 피로와 같은 건강 상태와 깊은 관련이있는 것으로 나타 났지만, 실질적인 측면에서는 센서를 사용하여 마이크의 끝을 늘리기 위해 센서를 사용하여 건강과 호흡 센서를 사용하여 높은 구속 감으로 사용하는 것이 가장 좋습니다 이번에 개발 된 호흡 센서는 운전자의 건강 관리를 관리하기 위해 이전과 거의 동일하게 헤드 마이크에 통합 될 수 있기 때문에 매우 실용적입니다 의료 테이프와 마스크에서도 비슷한 호흡 센서를 형성 할 수 있으므로 노인과 영아를 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다 이러한 방식으로 루프 방법을 사용함으로써 사람들이 자신의 환경과 평화롭게 살 수있는 센서를 효율적으로 형성 할 수있게되었습니다
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| 그림 3 (a) 직물에 형성된 호흡 센서를위한 캔틸레버, (b) 호흡으로 인한 캔틸레버의 센서 구성 및 변위의 회로도, (c) 호흡 센서를 포함하는 헤드 마이크의 출현, (D) 습기 감지 결과 |
앞으로 우리는 루프 방법을 사용하여 다양한 재료를 처리 할 수 있도록 성능을 향상시키고 센서 변형을 향상시키는 것을 목표로 할 것입니다 또한 온라인 바카라 영역을 늘리고 대량 생산 공정으로 확립하는 것을 목표로합니다 IoT의 본격적인 구현을위한 고도로 효율적인 센서 생산에 기여하기 위해, 우리는 기술을 개인 회사로 계속 전송하여 안전하고 안전한 사회의 실현에 기여할 것입니다