바카라 커뮤니티 [Nakabachi Ryoji 회장] (이하 "AIST")제조 기술 연구 부서[연구 부서 이사 나오키 (Ichikawa Naoki)] Uehara Masato, Sensing Materials Research Group, Sensing Masureing Co, Ltd [Murata Tsuneo 대표] (이하 "Murata Manufacturing Co, ltd)와 공동으로 협력했습니다RF 스퍼터링 방법, 단결정에 해당하는piezoelectric우리는 성능을 나타내는 질화 갈륨 (GAN) 박막을 만드는 방법을 찾았습니다 게다가,Scandium (SC)우리는 온라인 바카라 사이트 특성의 추가가 극적으로 향상되었음을 보여 주었고 Gan은 세계 최고의 성능 온라인 바카라 사이트 박막을 개발했습니다
GAN은 LED 및 전력 전자 장치에 사용되는 것으로 유명하지만, 자질 알루미늄 (ALN)과 마찬가지로 기계적 특성이 우수한 온라인 바카라 사이트 재료이며 통신 용고주파 필터A, 센서,Energy Harvester등에 사용될 것으로 예상됩니다 다양한 응용 분야가 있지만 GAN은 ALN에 비해 온라인 바카라 사이트 박막을 제조하기가 어렵고 RF 스퍼터링에서 온라인 바카라 사이트 재료로 사용할 수있는 충분한 품질입니다오리엔테이션박막을 생산할 수 없었습니다 이번에는, 하프 늄 (HF) 또는 몰리브덴 (MO)의 금속 정렬 층 상에 GAN 결정을 성장시킴으로써, 고품질 GAN 방향 박막이 생성되었다 이 박막은단결정평균온라인 바카라 사이트 상수d33(약 35 PC/N)가 표시되었습니다 또한 SC가 추가되면d33약 145 pc/n으로 약 4 배 증가했습니다 이 결과는 GAN의 적용을 온라인 바카라 사이트 재료로 확장 할뿐만 아니라 GAN 박막 제조 기술에 파급 효과를 허용합니다
이 결과에 대한 세부 사항은 Applied Physics 협회의 78 번째 가을 아카데믹 강의에서 발표 될 예정이며, 2017 년 9 월 5 일부터 8 일까지 후쿠오카 국제 컨퍼런스 센터에서 개최됩니다
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| 이번에 생산 된 간 온라인 바카라 사이트 박막의 전자기 (왼쪽) 및 도식 구조 (오른쪽) |
온라인 바카라 사이트 몸체는 진동과 같은 기계적 에너지를 전기 에너지로 변환하는 재료입니다 특히, ALN 및 GAN과 같은 온라인 바카라 사이트 질화물 재료는 산화물에 비해 우수한 기계적 특성을 가지며 센서 및 에너지 전환 효율에 매우 민감하여 통신, 센서 및 에너지 수확기의 고주파 필터로 유망합니다 Aln은 이미 스마트 폰용입니다BAW 유형 고주파 필터로 사용되며 차세대 장치에서 사용될 것으로 예상됩니다 (시장 규모는 800 억 엔 이상) 반면에, Gan Piezoelectric 장치 제조는 ALN보다 어렵 기 때문에 온라인 바카라 사이트 체로 GAN의 연구 및 개발이 거의 진행되지 않았다
GAN은 무선 파동 및 신호 처리를 전송하고 수신하는 전자 장치입니다고주파 장치로 사용될 것으로 예상됩니다 차량 간 통신 및 차량 내 레이더의 신호 처리를 사용하는 차량 간 통신 및 자율 주행 시스템을 사용하는 자율 주행 시스템은 커뮤니케이션 소사이어티의 향후 확장에 필수적이며, GAN 기반 고전자 이동성 트랜지스터에 대한 높은 기대치가 있으며 높은 생산량 및 낮은 손실로 작동합니다 전자 밀도는 온라인 바카라 사이트에 의해 제어되기 때문에 GAN의 온라인 바카라 사이트에 관한 연구 및 개발이 중요합니다 또한 GAN 기반 고성능 온라인 바카라 사이트 요소 및 트랜지스터가 개발되면 차세대 통합 고주파 필터 및 앰프가 통합됩니다고주파 통합 회로의 개발로 이어진다
AIST는 차세대 통신 고주파 필터 및 가혹한 환경에서도 사용할 수있는 고주파 고주파 필터 및 센서에서 사용하기 위해 높은 온라인 바카라 사이트 특성을 나타내는 ALN 온라인 바카라 사이트 박막 개발을 위해 노력해 왔습니다 SC가 추가 (AIST : 높은 압전적 특성을 나타내는 질산 바카라 사이트 쿠폰물) 및 Mg 및 NB가 동시에 추가되었습니다 (AIST : 희토류를 추가하지 않고 질화로 세계적 수준의 라이브) ALN은 세계에서 가장 높은 온라인 바카라 사이트 박막입니다 이번에는 세계에서 가장 진보 된 기술로 Murata Manufacturing과 함께 지금까지 진행되지 않은 Gan Piezoelectric 기관의 개발을 연구했습니다
온라인 바카라 사이트 몸체로서 GAN 연구 및 개발의 문제는 제조 방법에있다 Gan Piezoelectric 장치는입니다MOCVD 메소드이 방법은 고품질 GAN 단일 결정을 생산할 수 있지만 많은 제조 비용이 들었습니다 또한, 700 ℃ 이상의 높은 가열이 일반적으로 필요하며, 고온 가열은 온라인 바카라 사이트 장치에 필수적인 전극에 사용되는 금속이 GAN을 불순물로 오염 시킨다는 것을 의미한다 따라서, 금속 전극은 GAN 필름 형성 후 복잡한 공정에서 제조되어야한다 Gan Piezoelectric 장치를위한 저온, 저비용 제조 기술이 개발 될 수 있다면, 온라인 바카라 사이트 몸체로서 GAN의 연구와 개발이 가속화되고, 온라인 바카라 사이트체가 ALN과 유사한 온라인 바카라 사이트체 바디로서 적용이 가능할 것입니다
이번에 개발 된 기술에서, GAN과 결정 학적으로 호환되는 Hafnium (HF) 또는 MOLYBDENUM (MO)의 정렬 층은 사전에 실리콘 기질에서 자라게되며, 그 위에는 RF 스파퍼에 의해 얇은 층이 자라게되며, 이는 상대적으로 낮은 온도에서 퇴적 될 수 있습니다X-ray 잠금 곡선 방법를 사용하여 방향 박막의 결정 학적 품질 평가 결과를 보여줍니다 잠금 곡선의 반 폭 (빨간색 화살표)이 더 작은 방향 박막의 더 나은 품질을 나타내지 만, HF 또는 MO의 방향 층에서 자란 방향 박막은 실리콘 기질상에서 직접 성장한 박막보다 낫다는 것이 밝혀졌다 이 간 지향 박막의 온라인 바카라 사이트 상수d33MoCVD 방법 등에 의해 생성 된 단결정 GAN의 공개 된 값과 동일하며 (그림 2, 약 35 PC/N), 고품질 박막이 생성되었음을 나타냅니다 이번에 개발 된 기술을 통해 GAN 박막을 MOCVD 방법보다 낮은 온도로 제작할 수 있으므로 비용을 줄이고 금속 전극을 더 쉽게 제조 할 수 있으며, 이전에는 GAN 증착 후 복잡한 단계가 필요했습니다 또한, 비교적 저온에서 제조 될 수 있기 때문에, Gan piezoelectric 재료는 다른 장치 및 제품에 적용될 수 있다고 믿어집니다
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| 그림 1 X- 선 잠금 곡선 (왼쪽)의 개략도 및 X- 선 회절 잠금 곡선의 절반 폭은 실리콘 또는 금속 정렬 층 (오른쪽)에 제작 된 Gan piezoelectric 박막의 반 폭 |
또한, 우리는 또한 GAN과 ALN의 온라인 바카라 사이트 성능을 극적으로 향상시키는 것으로 알려진 SC를 추가하려고 시도했다 ALN은 결정으로 한 방향으로 온라인 바카라 사이트 특성을 나타내지 만 SC의 첨가는 결정 구조를 약간 변화시켜 이온이 그 방향으로 이동할 가능성이 높아져 온라인 바카라 사이트 특성을 향상시키는 것으로 여겨진다 이 기사에서 개발 된 금속 정렬 층을 사용하여 SC가 동일한 결정 구조로 GAN에 첨가되는 온라인 바카라 사이트 박막이 생성 된 온라인 바카라 사이트 박막이 생성되었다 결과적으로, 온라인 바카라 사이트 상수는 IS입니다d33SC-free gan의 4 배인 약 14 pc/n을 보여 주면서 상당히 개선되었습니다 이전의 제조 기술을 사용하면 SC와 같은 다른 요소가 추가 될 때 고품질 지향 박막을 생산할 수 없었지만 이번에 개발 된 방법을 사용하여 SC가 추가 된 경우에도 고품질 지향 박막을 생산할 수있었습니다 이 제조 방법을 사용하면 GAN의 연구 및 발전이 온라인 바카라 사이트 몸체로서 촉진 될 것이라고 믿어집니다
또한, BAW 유형 고주파 필터는 이번에 개발 된 방법을 사용하여 생산 된 GAN 온라인 바카라 사이트 박막을 사용하여 제조되었으며, 공명 특성이 검사되었을 때, SC-free 및 SC- 구 접힌 박막 모두 우수한 공명 특성을 나타냈다 특히 SC가 추가 된 박막의 경우전자 기계 커플 링 계수K2첨가제 단결정보다 3 배 높은 약 6%였다 또한, 이번에 생성 된 SC 도핑 간 GAN의 온라인 바카라 사이트 상수가d33전자 기계 커플 링 계수K2현재 GAN 시스템의 세계에서 가장 높은 가치입니다
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