- 우리는 온라인 바카라 사이트아몬드 표면에서 개별 원자를 성공적으로 시각화했으며, 이는 궁극적 인 전력 반도체가 될 것으로 예상되며 시각화 방법을 밝혀 냈습니다
- 온라인 바카라 사이트아몬드 박막 성장 및 장치 성능과 관련된 원자 수준 결함이 관찰되었습니다
- 온라인 바카라 사이트아몬드 박막의 성장 메커니즘을 설명하고 온라인 바카라 사이트아몬드 장치의 성능을 향상시키는 데 큰 기여를 할 수 있습니다

원자력 현미경을 사용하여 온라인 바카라 사이트아몬드 표면 관찰 이미지
도쿄 대학의 새로운 지역 제작 과학 대학원의 Sugimoto Yoshiaki 교수의 연구 그룹은 Tokyo University of The University Properties of the Adgur allogo and the Adgur aviko and the Adguro Masahiko와의 협력에서 원자가 수준에서 온라인 바카라 사이트아몬드 표면을 관찰하는 기술을 개발했습니다 국립 고급 산업 과학 기술 연구소 (AIST)의 센터
온라인 바카라 사이트아몬드는 최고의 반도체 및 전력 및 양자 장치의 재료로 주목을 받고 있습니다 장치 제조 공정에서 마이크로 가공 기술을 사용하여 더 많은 마이크로 장치가 제작 될수록 장치 성능에 대한 원자 수준 결함의 영향을 무시하기가 더 어려워집니다 장치 성능을 향상 시키려면 원자 규모로 온라인 바카라 사이트아몬드 표면을 평가해야합니다
이 연구 그룹은 세계 최초의 원자력 현미경을 사용하여 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 개별 탄소 원자를 시각화 한 최초의 것입니다 이 방법은 원자 규모의 온라인 바카라 사이트아몬드 분석을위한 길을 열어 주며 온라인 바카라 사이트아몬드 박막의 성장 메커니즘의 설명에 크게 기여하고 향후 온라인 바카라 사이트아몬드 장치의 성능을 향상시킬 것으로 예상됩니다
온라인 바카라 사이트아몬드는 높은 캐리어입니다이동성(참고 1) -이 재료는 높은 열전도율 및 높은 고장 전기장과 같은 우수한 특성을 갖기 때문에 궁극적 인 반도체가 될 것으로 예상됩니다 온라인 바카라 사이트아몬드 필름의 표면에는 구멍과 다른 구멍이 포함됩니다포인트 결함(주 2) 및재배치(주 3)가있을 수 있으며 장치의 성능을 줄이는 요인입니다 장치 성능을 향상 시키려면 미세한 구조를 이해하기 위해 원자 규모로 온라인 바카라 사이트아몬드 표면을 시각화해야합니다 지금까지 원자 규모 구조 분석을 허용하는 몇 가지 미세 기술이 있지만 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 개별 탄소 원자의 시각화는 달성되지 않았습니다 특히 고대부터스캐닝 터널 현미경(주 4)를 사용하여 관찰되었지만 해상도는 원자 수준에서 도달하지 않았습니다 그 이유는 온라인 바카라 사이트아몬드의 낮은 전도도와 표면의 조밀 한 탄소 원자를 포함합니다
이 연구 그룹은 매우 높은 진공 환경에서 작동합니다원자력 현미경(afm, Note 5)를 사용함으로써, 우리는 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 개별 탄소 원자를 시각화하는 데 성공했습니다
aist has플라즈마 CVD(주 6)을 기반으로 한 고품질 온라인 바카라 사이트아몬드 박막 성장 기술은 박막 성장 조건의 최적화를 위해 원자 수준에서 평평한 표면을 생성 할 수 있습니다 이 연구 에서이 기술을 사용하여 온라인 바카라 사이트아몬드가 생산되었습니다(001) 얼굴(주 7)을 샘플로 사용했습니다 이 표면에는 쌍의 탄소 원자가 들어 있습니다 (그림 1 (a)) 쌍의 탄소 원자의 간격은 단지 139Å (앙스트롬, 1 Å = 10 억 미터) 이었으므로 개별 탄소 원자의 시각화가 어렵습니다 이번에는 AFM 관찰을 활성 실리콘 프로브를 사용하여 수행 하였다 단지 몇 Å의 거리에 의해 표면에 가까운 프로브를 관찰하면, 우리는도 1 (b)에 도시 된 바와 같이 개별 탄소 원자가 관찰 될 수 있음을 발견했다 이 AFM 기술은 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 포인트 결함을 분석 할 수 있습니다

그림 1 온라인 바카라 사이트아몬드 구조 모델 및 AFM 이미지
(a) (a) 온라인 바카라 사이트아몬드의 (001) 표면의 구조 모델 위의 온라인 바카라 사이트어그램은 위에서 보이는 구조를 보여주고 아래 온라인 바카라 사이트어그램은 측면에서 보이는 구조를 보여줍니다 검은 원은 상부 표면의 탄소 원자이며,이를 안정화시키기 위해 쌍을 형성합니다
(b) 온라인 바카라 사이트아몬드의 (001) 표면의 AFM 이미지 개별 탄소 원자가 시각화되었습니다 오른쪽 상단에서, 카본 원자 쌍이 누락 된 공석이 관찰 될 수있다 (흰색 타원)
(원본 용지 온라인 바카라 사이트어그램의 수정 된 버전을 사용합니다)
물리적 특성 연구소의 OpenMX에 의해 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 개별 탄소 원자가 시각화되는 메커니즘을 명확히하기 위해첫 번째 원칙 계산(주 8)가 수행되었습니다 도 2에 도시 된 바와 같이, 쌍의 탄소 원자는 프로브 및 결합을위한 공간을 가지고 있음이 밝혀졌다 실리콘 프로브 모델이 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 모델에 근접하게되면 실험에서 검출 된 탄소 원자의 강한 신호가 재현되었다

그림 2 : 첫 번째 원리 계산에 사용되는 온라인 바카라 사이트아몬드 및 AFM 프로브의 (001) 평면의 모델
이것은 프로브 끝의 실리콘 원자와 온라인 바카라 사이트아몬드 표면의 탄소 원자 사이의 화학적 결합을 보여줍니다 파란색은 가장 외부 탄소 원자가 진공 쪽 (화살표)에서 접근하는 원자와 상호 작용할 수있는 영역을 나타냅니다 본드는 각도로 생성되는 것으로 나타났습니다
이번에는 온라인 바카라 사이트 사이트아몬드 표면을 원자 규모로 분석 할 수있는 것으로 나타 났으며, 이는 향후 온라인 바카라 사이트 사이트아몬드 장치의 성능을 향상시키는 데 기여할 것입니다 예를 들어, 다양한 조건 하에서 제조 된 온라인 바카라 사이트 사이트아몬드 박막을 분석하여 결함의 평평성 및 분포를 조사함으로써 원자 수준의 평평한 평평한 온라인 바카라 사이트 사이트아몬드 박막을 준비하는 조건을 명확하게 할 수 있습니다 또한, 온라인 바카라 사이트 사이트아몬드 표면에서 도펀트 및 불순물 원자의 분포는이 연구 그룹에 의해 개발 된 단일 원자 요소 식별 방법 (※)을 사용하여 분석 될 수있다 이를 통해 결함을 사용하는 양자 장치를 평가할 수 있으며 새로운 기능을 탐색 할 수 있습니다
* 보도 자료 "최종 원자 스케일 화학 분석 - 샘플 프로브의 끝에 부착 된 하나의 원자의 요소를 성공적으로 식별"(2020 년 3 월 13 일)
https : //wwwku-tokyoacjp/information/category/press/8097html
발표자도쿄 대학
새로운 지역 제작 과학 대학원
Sugimoto Yoshiaki 교수
물리적 속성 연구소
오자키 야스 수케 교수
국가 선진 산업 과학 기술 연구소의 고급 전력 전자 연구 센터의 국립 연구 및 개발 회사
Ogura Masahiko, 최고 연구원
공동 연구 그룹
도쿄 대학
새로운 지역 창조 과학 대학원
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도쿄 대학 물리적 속성 연구소 |
고대 산업 과학 및 기술 Advanced Power Electronics Research Center |
・ 대학원생 Zhang Jungun ・ 조교수 Yasui Yuki ・ Sugimoto Yoshiaki 교수
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・ 조교수 후쿠다 마사 시로 ・ 오자키 야스 수케 교수
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・ Ogura Masahiko의 최고 연구원 ・ 연구 팀장 Makino Toshiharu ・ 부국장 연구 센터 이사 Takeuchi Daisuke
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잡지 이름 :나노 편지
제목 :온라인 바카라 사이트아몬드에 대한 원자 관찰 (001) 근접 연락 원자력 현미경이있는 표면
저자 이름 :Runnan Zhang, Yuuki Yasui, Masahiro Fukuda, Taisuke Ozaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Yoshiaki Sugimoto*
doi :101021/acsnanolett4c05395
URL :https : //doiorg/101021/acsnanolett4c05395