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업데이트 (MM/DD/YYYY) : 05/14/2018

비 휘발성 MRAM을위한 3D 스태킹 프로세스 개발

-새로운 세대 단일 결정 MRAM의 가능한 제작을위한 길을 열어보세요-


바카라 추천원 : Kay Yakushiji, Metal Spintronics 팀, Spintronics Research Center, Hideki Takagi 및 Yuichi Kurashima, 유비쿼터스 Mems 및 Micro Engineering의 바카라 추천 센터, Katsuya Kikuchi 및 Naoya Watanabe, Nanoelectronics Research Incistite Research; JST 및 캐비닛 사무소

요약

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3D 프로세스 기술의 회로도
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파도의 직접 결합 후 MRAM 단면의 변속기 전자 현미경 이미지



새로운 결과

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배경

비 휘발성 MRAM은 레코딩 비트, 비트 선택에 사용되는 반도체 트랜지스터 (CMO) 및 금속 와이어로 수직으로 자화 된 TMR 장치로 구성됩니다 기존 제조 공정에서 CMO가 먼저 형성 된 다음 금속 와이어 및 다결정 TMR 장치가 CMO에 성공적으로 쌓여 MRAM 장치를 형성합니다 MRAM의 용량을 증가시킬 때, 원자 수준의 불균일성과 장치 표면의 불균일함에 따라 다결정 TMR 장치의 변화 감소와 재료의 선택에 대한 한계가 있었다

향후 계획 및 적용 가능성

단결정 TMR 박막에 대한 3D 스태킹 프로세스 및 CMOS 베팅은 2 년 이내에 완료됩니다







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