온라인 바카라원들은 1mm의 공간 분해능으로 표면 전위 분포를 측정할 수 있는 정전기 스캐닝 시스템을 개발했습니다 시스템은 고속 신호처리 장치와 정전용량형 소형 고성능 어레이 센서로 구성된다
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정전기 스캐너의 개략도 |
온라인 바카라원들은 1mm 간격으로 배치된 30개의 평행 마이크로센서로 구성된 선형 배열 센서를 개발했습니다 포토리소그래피 기술을 이용해 마이크로 센서와 기타 부품을 제작해 센서를 소형화했다 그들은 또한 고속 신호 처리 장치를 개발했습니다 개발된 약한 신호를 측정할 수 있는 어레이 센서와 고속 처리 장치를 이용하여 물체 표면을 15mm/s의 속도로 고속 스캐닝하고 1mm의 공간 분해능으로 표면 전위 분포를 시각화할 수 있는 시스템이 개발되었습니다
다양한 센서를 사용하여 공정을 자동화하는 스마트 제조가 촉진되었습니다 그러나 제품에 사용되는 절연재에는 정전기가 발생할 가능성이 높으며, 재료 표면에 정전기가 불균일하게 분포되어 생산을 방해하는 요인이 됩니다 기기나 제품 내부에는 항상 고정되지 않은 전하 분포가 존재하며, 방전으로 인한 회로 파손 및 먼지 등 미세한 물체 부착으로 인한 품질 저하의 원인이 될 수 있습니다 중화를 실시하더라도 전체적으로 실시되어 효과가 불분명한 경우가 많습니다 이에 따라, 넓은 면적을 고속으로 스캔할 수 있고, 작은 결함까지 검출할 수 있는 정전기 분포 측정 장치가 요구되고 있다
기업의 요청, 의뢰 등에 따라 온라인 바카라원들은 유리, 인쇄 회로 기판, 필름, 수지 및 세라믹과 같은 다양한 물체의 정전기 분포를 측정하고 평가하는 테스트를 시작합니다 또한, 넓은 면적을 측정할 수 있는 고속, 고공간 해상도의 정전기 스캐너를 개발하고 수년 내 실용화를 목표로 하고 있습니다