바카라 규칙원들은 Toshiba Electronic Devices & Storage Corporation과 협력하여 결정구조의 투과전자현미경 이미지의 넓은 시야에서 원자 수준 결함을 쉽게 검출할 수 있는 이미지 처리 기술을 개발했습니다

투과전자현미경 이미지에서 전위를 시각화하는 기술의 개략도

결함 감지는 반도체 장비의 품질 관리에 있어서 매우 중요한 문제입니다 아주 작은 결함이라도 출력 효율 저하로 이어져 결국에는 치명적인 손상을 초래할 수 있기 때문입니다 원자 수준 결함은 일반적으로 투과전자현미경으로 촬영한 원자 배열의 고해상도 이미지를 육안으로 관찰하여 검출됩니다 배율이 높아질수록 현장 관찰 범위가 좁아지기 때문에 넓은 면적의 결함 검출에는 많은 시간과 노력이 필요합니다

개발된 결함 검출 기술은 샘플링 모아레(Sampling Moiré) 방식이라는 이미지 처리 기술을 적용합니다 모아레 무늬 패턴은 결정의 원자 배열을 격자로 처리하여 원자 배열 이미지에서 디지털 방식으로 생성할 수 있습니다 시뮬레이션 바카라 규칙에 따르면 전위로 인해 모아레 무늬의 불연속성이 발생하므로 모아레 무늬 패턴에서 전위를 쉽게 감지할 수 있는 것으로 나타났습니다 응용으로 질화갈륨(GaN) 반도체의 전위 분포를 모아레 무늬 패턴으로 표시하고 결함 위치를 자동으로 식별했습니다

개발된 기술은 전위 감소를 위한 처리 조건의 효과를 확인하여 반도체 소자의 처리 공정을 개선하고 고성능 및 내구성이 있는 반도체 생산을 가능하게 하는 데 기여할 것입니다