AIST의 바카라 추천원들은 Panasonic Production Engineering Co, Ltd와 협력하여 세계 최고 수준의 정확도를 달성하는 구 직경 측정 기술을 개발했습니다

최근 몇 년 동안 차량용 카메라 및 내시경과 같이 고화질 이미지가 필수적인 분야에서 광학 부품은 광학 성능을 향상시키기 위해 점점 더 자유형 형상을 채택하고 있습니다 자유형 렌즈와 거울의 경우 표면 프로파일 편차를 나노 수준으로 최소화하는 것뿐만 아니라 곡률 반경을 포함한 절대 형상이 나노 수준에서 설계 형상과 일치하는지 확인하는 것도 중요합니다 이를 위해서는 나노 수준의 가공 기술뿐만 아니라 나노 수준의 가공 정밀도와 동등하거나 이를 능가하는 형상 측정 기술이 필요합니다

자유형 렌즈 및 거울과 같은 광학 부품의 프로파일로미터에서 절대 형상 측정의 정확도는 측정 장비의 기준으로 사용되는 구 직경의 교정 정확도에 따라 달라집니다 지금까지 구 직경의 교정 정확도는 약 100 nm ~ 200 nm의 불확실성을 갖고 있었으며 이는 자유형 표면 프로파일로미터의 측정 분해능 및 반복성보다 우수하지 않습니다 본 바카라 추천에서는 저접촉력 프로브 시스템과 실리콘 게이지 블록을 기준으로 장착된 미소좌표측정기(μ-CMM)를 사용하여 구 직경 교정 방법을 개발했습니다 이 방법을 사용하면 15nm의 불확실성으로 구 직경을 측정할 수 있습니다 이 구를 자유 곡면 프로파일로미터의 기준으로 사용함으로써 자유 곡면 측정의 정확도가 향상될 것으로 기대됩니다

이 바카라 추천의 세부사항은 다음에 출판되었습니다정밀공학2024년 12월 7일

첨단 산업 및 기초 바카라 추천에서는 나노 수준에서 형상 정확도가 보장되는 광학 부품을 얻는 것이 점점 더 중요해지고 있습니다 예를 들어, 구면 및 비구면 렌즈 형상의 정밀도 향상은 스마트폰에 사용되는 컴팩트 카메라 렌즈, 첨단 운전자 보조 시스템(ADAS) 및 자율 주행(AD)을 지원하는 차량용 카메라 렌즈, 내시경용 렌즈의 성능 향상을 위한 끊임없는 요구 사항입니다 X선을 활용한 싱크로트론 방사시설 등 반도체 노광장비 분야와 기초 과학 분야에서는 이들 용도에 필요한 집속 거울이 구형에서 비축대칭, 비구면 형상으로 진화해 요구되는 형상 정밀도가 나노 수준의 정밀도에 도달하고 있다 이러한 광학 부품의 디자인은 수차 최소화를 목표로 하는 자유로운 형태로 진화하면서 매년 더욱 복잡해지고 있습니다 나노 수준의 정밀도를 갖춘 자유 형태의 광학 부품을 구현하려면 첨단 연마 및 가공 기술뿐만 아니라 고정밀 형상 측정 및 평가 기술이 필수적입니다 예를 들어, 제작된 렌즈의 디자인 형상과의 편차를 정확하게 측정할 수 있다면 초정밀 가공 기술을 개발하여 이러한 편차를 나노 수준에서 교정할 수 있습니다

저널:정밀공학
제목: 실리콘 게이지 블록을 참조 표준으로 사용하는 미세 좌표 측정기에 의한 구의 2점 직경 교정
저자: 콘도 요한, 히라이 아키코, 카츠베 토시하루, 카와시마 나츠미, 비토 요이치
DOI:https://doiorg/101016/jprecisioneng202412003