나노-레벨 입자를 분쇄하여 실온에서 성공적으로 형성된 세안전한 바카라 사이트 필름!

바카라 커뮤니티 [Yoshikawa Hiroyuki 회장] (이하 "AIST")고급 제조 프로세스 연구 부서[Department Manager Kanzaki Shuzo]는 Tosho Instrument Co, Ltd [Kise Teruo 사장 겸 CEO] (이하 "Toto") 연구소 [Saeki Yoshimitsu],에어로졸 증착메소드 ( "AD 메소드"라고 함)는 서브 미크론 입자 크기를 얻는 데 사용됩니다α-Alumina미세 입자는 기판에 분무되고, 소결없이 실온에서 금속 기판에 고형화되고, 1 µm (1 마이크로 미터 : 1 백만 분의 1 미터)를 대량 소결 신체와 동등한 전기 기계적 특성으로도자기 두꺼운 필름안전한 바카라 사이트는 또한 실온에서 α- 알루미나 미세 입자를 굳히는 두꺼운 세라믹 필름의 형성이 기질에 분무 될 때 α- 알루미나 미세 입자의 충돌 동안 온도 상승으로 인해 표면 용융보다는 지배적이지만, 미세한 결정 성 입자의 변형 및 새로운지면의 형성으로 인한 표면 활성화에 의해 지배적임을 밝혀냈다 표면 경도 및 화학 저항과 같은 표면 기능을 주로 사용하는 세라믹 제품은 더 이상 과거에 필요한 1000 ° C 이상의 소결 공정이 필요하지 않으며 극적인 에너지 절약 효과를 제공 할 것입니다

TOTO는 200mm 정사각형 영역에 걸쳐 균일 한 필름 형성을 실현하고 [그림 1 참조], 실제 사용 대상으로 액정 패널 및 반도체와 같은 전자 기판뿐만 아니라 전자 기판과 같은 장비 부품을 제조하는 것을 고려하고 있습니다

실온에서 AD 방법을 사용하여 세라믹 미세 입자를 확고함으로써 세라믹 필름의 형성을 실온에서 충격 응고 현상이라고하며, 안전한 바카라 사이트는 과거에 사용되었습니다PZT, 압전 세안전한 바카라 사이트 재료(리드 지르코 네이트 티타 네이트) 및 기타로 확인되었습니다

안전한 바카라 사이트와 TOTO는 원료 미세 입자의 입자 크기 분포 및 기계적 특성에주의를 기울이고 공동 연구를 촉진하고 있으며, 상온에서 α- 알루미나 미세 입자를 고정하여 두꺼운 세라믹 필름을 성공적으로 형성했습니다Vickers 경도YA젊은 순간,대각선 고장 강도,부피 저항,유전 상수달성되었습니다 형성된 필름은 밀도가 높고 나노 스케일 미세 결정 구조를 갖는다 [그림 1]

일반적으로 1000 ° C 이상의 온도에서 (소시) 세안전한 바카라 사이트 재료를 굽는 것은 일반적인 지식이며, 이는 낮은 용융점과 금속, 유리 및 플라스틱과 결합하여 통합하기가 어렵 기 때문에 세안전한 바카라 사이트 전자 구성 요소의 성능을 향상시키고 구조 부품의 무게를 줄이는 데 큰 문제가됩니다 과거에는 에너지 소비와 금속 및 유리 재료와의 통합을 줄임으로써 새로운 기능 부품을 실현하기 위해 다양한 연구자들이 소결 온도 (소결 온도)를 낮추려는 시도를 고려해 왔습니다

이 소결 온도를 낮추기 위해, 1000 ° C 미만의 온도에서 용융 결합을 촉진하는 재료 (소결 보조 장치)는 세안전한 바카라 사이트 원료에 세안전한 바카라 사이트 원료에 추가되었거나 세안전한 바카라 사이트 원료의 입자 크기가 나노 주문으로 정제 된 것으로 간주되었다 또한, 많은 경우에, 저온에서 소결 된이 저온 소결 신체의 특성은 저밀도, 기계적 브리틀트, 낮은 단열성 및 낮은 부식성과 같은 기존의 고온 소결 신체의 특성보다 열등합니다

안전한 바카라 사이트 Advanced Manufacturing Process Research Division은 이전 산업 기술 기계 기술 연구소의 시점부터 AD 방법을 사용하여 실온에서 세라믹 미세 입자를 굳 히면 세라믹 필름 형성에 대한 연구를 수행했으며,이 회사는 미세 입자의 충돌로 세라믹 재료를위한 코팅 기술로 연구되고 개발되었습니다 현재, 압전 세라믹 (PZT) 재료는 금속, 유리 및 실리콘 기판에 밀도가 높고 투명하며 높은 접착력 필름을 형성하여 정상 온도 충돌 고정 현상이라고 불릴 수 있음을 발견했습니다

이 연구 개발은 주로 전 산업 기술 연구소, 기계 기술 연구소 (Institute of Mechanical Technology) 시대의 연구 결과를 기반으로하며 2001 년부터 3 년 동안 안전한 바카라 사이트와 TOTO가 공동으로 수행하여 세라믹 제품의 기능을 향상시키고 에너지 절약 프로세스를 실현하기위한 에너지 기술 개발기구의 "라디오 기술 개발/리더 (Energy Usue Technology)를 기반으로 한 에너지 절약 프로세스를 실현하는 것을 목표로했습니다 경제 산업부 현재 NEDO 기술 개발 조직은 프로젝트 내에서 "NANO-LEVEL 전자 세라믹 재료 저온 성형 및 통합 기술 (2002-2006) (프로젝트 리더, 안전한 바카라 사이트 고급 제조 프로세스 연구 부서, Analyst Research Institute) 내에서 추가 애플리케이션 개발을 촉진하고 있습니다"Nanotechnology Prograch/Nano-Processing and Secative 기술을 기반으로하는 ASTORED MANUFACTION (FYSONCINATION), ASTENCEND MANUFACTION, 안전한 바카라 사이트 ADVENCERTURATION, 안전한 바카라 사이트 Manukation, 안전한 바카라 사이트, 안전한 바카라 사이트 Manukation, 안전한 바카라 사이트 Manukation, 안전한 바카라 사이트 Manukation 프로세스 연구 그룹] "경제 무역 산업부의 보조금을 기반으로 구현됩니다

이 연구에서 안전한 바카라 사이트는 다음과 같이 말했습니다고해상도 변속기 전자 현미경 (HR-TEM), 미세 입자 충돌의 컴퓨터 시뮬레이션, 필름 형성 효율의 평가 및 원료 입자의 압축 분해 강도 측정을 사용하여 필름의 미세 구조 분석을 수행하고, 서브 미크론 입자 크기 (α- 알루미나 미세 입자)을 분해하고 마이크로 하자로 감소시키는 것으로 밝혀졌다 밀도가 높은 나노 결정 구조를 형성하기위한 수십억 분의 1 및 2 참조] 세안전한 바카라 사이트 두꺼운 필름 (그림 1 및 2 참조)과 분쇄 동안 형성된 새로운 표면의 활성 효과가 입자 간 결합을 지배한다는 것입니다 [그림 2]는 미세 결정 입자의 상태를 실험적으로 검증 한 결과를 보여줍니다 알루미늄 및 산소와 같은 광 원소로 구성된 납 및 α- 알루미나 미세 입자와 같은 무거운 원소를 함유하는 PZT (압전 물질)는 실온에서 혼합 된 PZT/알루미나 필름을 형성하기 위해 기질에 혼합되어 스프레이된다 이것이 전자 현미경 (TEM)을 사용하여 관찰 될 때, 무거운 원소를 함유하는 PZT는 검은 색이며, 빛의 원소로 구성된 알루미나는 흰색으로 보이고, 필름에 존재하는 두 물질의 분포는 밝기의 차이로 관찰 될 수있다 결과적으로, [도 2]의 왼쪽의 TEM 단면에 도시 된 바와 같이, 검은 층의 PZT 영역은 기판 표면과 평행 한 방향 (기판 충돌 방향에 수직)으로 관찰되었으며,이 부분의 영역은 원료 분말의 크기와 거의 일치했다 또한,도 1의 TEM 사진에 도시 된 바와 같이, 입자 직경이 약 20 nm 인 더 미세한 결정 구조 도 1은 필름 내의 각 변형 된 원료 입자의 영역 내에서 관찰된다 상기로부터, [도 2]의 오른쪽 모델 다이어그램에 도시 된 바와 같이, PZT 입자는 기판 또는 필름 표면과 충돌 할 때 분쇄되고 변형되어 미세 결정 구조를 초래한다는 것이 밝혀졌다 따라서, 형성된 세안전한 바카라 사이트 필름은 실온에서 거의 비정질 상을 포함하지 않는 나노 크기의 결정 구조가된다 또한, 실온에서 미세 세안전한 바카라 사이트 입자 (실온에서 충격 응고 현상)를 확고히함으로써 AD 방법을 사용함으로써 세안전한 바카라 사이트 필름의 형성은 제한된 수의 세안전한 바카라 사이트 재료에 의해 발생하는 것뿐만 아니라, 천연리와 같은 비산각 표 세안전한 바카라 사이트 재료와 같은 비산회 세안전한 바카라 사이트 재료, 예를 들어, 알미 um 및 붕소와 같은 비 산화물 세안전한 바카라 사이트 재료에서 발생하는 보편적 인 현상, 예를 들어, 알루마민과 같은 비 옥사이드 세안전한 바카라 사이트 재료에서 발생하는 범용 현상을 유도하고 있으며, 예를 들어, 알미 um 및 붕소와 같은 비 옥사이드 세안전한 바카라 사이트 재료에 의해 발생한다는 것이 유사하다는 것이 밝혀졌다 이보리드, 또한 초전도 물질이기도합니다

따라서, 안전한 바카라 사이트 및 TOTO는 상기 언급 된 필름 형성 모델에 기초하여 원료 입자의 응집을 억제하기 위해 함께 작동했으며, 순도, 압축 골절 특성 및 필름 형성 조건을 조사했으며, 999% 순도의 α- 알루미나 미세 입자를 성공적으로 고체시켰다 바인더 (바인더) Vickers 경도 : 1500-2200HV, Young 's Modulus : 300-350GPA, 유전체 파괴 강도 : 150-300kV/mm 이상, 부피 저항력 : 15 × 10¹⁵ω ・ cm, 유전 상수 (ε) : 98, 실온 과정에서 벌크 소결 바디와 동등한 세계 최초의 전기 기계적 특성을 달성합니다 (벌크 소결 신체 값 : Vickers Hardness : 1400-2000HV, Young 's Modulus : 350-380GPA, Dielcly-380GPA : 10KV : 10KV : 저항력 : 15 × 10¹⁵ω · cm, 유전 상수 (ε) : 99-10)로 두꺼운 세안전한 바카라 사이트 필름을 성공적으로 형성했습니다 또한, 세안전한 바카라 사이트 두꺼운 필름은 모공이 없으며 간단한 연마가 수행 될 때 몇 개의 NM에 충분히 매끄 럽습니다 Toto에서플라즈마 부식 저항를 개발하기 위해 노력했습니다 또한 200mm 정사각형 영역에서 균일 한 필름을 성공적으로 형성했습니다 [그림 1]

이 연구 및 개발은 세안전한 바카라 사이트 프로세스에서 일반적으로 사용되는 저렴한 입자 크기의 α- 알루미나를 사용하고, 원료 입자로서 1000 ° C 이상의 소결 공정의 필요성을 제거하고, 이전에 요구되었으며, 동시에 동일한 경도와 전기적 특성을 달성하는 동일한 경도와 전기적 특성을 달성하고, 고온 과정을 달성하고, 획기적인 과정을 달성 할 수 있다고 말하면서 동일한 경도와 전기적 특성을 달성합니다 나노 레벨에서 기공없는 밀도와 부드러움

그림 2 : 에어로졸 증착 (AD) 방법 및 입자 분쇄에 의해 형성된 PZT/Alumina 혼합 필름의 미세 구조에 의한 막 밀도 메커니즘의 모델

고밀도 세안전한 바카라 사이트 부품은 소결없이 만들 수 있기 때문에 베이킹 또는 수축의 문제가 없으며, 정밀도가 높은 금속성 성분 및 유리 재료와 통합 및 통합이 쉽게 통합되어 다양한 필드의 응용 분야를 초래하는 것으로 생각됩니다 예를 들어, 반도체 관련 및 전자 구성 요소 산업에서는 절연 재료 및 방사선 주파수 유전체 재료와 같은 전자식 세안전한 바카라 사이트 구성 요소를 회로 보드와의 통합 및 구성 요소 수를 줄이는 데 큰 수요가 있습니다 이 프로세스는 휴대 전화 및 컴퓨터의 속도가 빠르고, 작은 크기 및 저렴한 비용으로 이어질 것으로 예상됩니다

또한 연구 개발이 현재 활동 중입니다MEMS (Microelectromechanical System)와 같은 분야에서 공정 온도의 감소는 압전 세안전한 바카라 사이트과 같은 기능적 산화물 재료를 기존의 반도체 미세 조용 (SI 미세 소요) 프로세스에 도입 할 수 있으며, 이는 기능을 크게 향상시킬 것으로 예상되며, 이는 실용적으로 사용될 것이라고 생각합니다 전자 세안전한 바카라 사이트 분야 의이 응용 프로그램은 현재 진행중인 NEDO 기술 개발 기관의 나노 기술 프로그램/나노-가공 및 측정 기술 "나노 레벨 전자 세안전한 바카라 사이트 재료를위한 저온 성형 및 통합 기술"을 통해 홍보 될 것입니다

또한 기존 기술보다 훨씬 큰 접착력, 밀도 및 부드러움을 제공하기 때문에 기계, 항공 및 에너지 관련 분야뿐만 아니라 금속 물질 코팅을 통한 고도로 내구성있는 인공 조인트 및 생물 학적 코팅과 같은 의료 관련 분야에서 마모 내부 코팅에 연결할 수 있습니다

위에서 언급 한 응용 분야의 경우 안전한 바카라 사이트의 고급 제조 프로세스 연구 부서는 세라믹 프로세스에서 고효율과 기능을 보여주기 위해 연구 개발을 계속할 계획입니다

반면에 Toto는 먼저 액정 패널과 반도체 제조 장비 부품을 사용합니다정전기 척혈장 내식성이 높은 부품이 개선되고 있으며 실질적인 사용 및 상업화를 계획하고 있습니다

◆ 에어로졸 증착 방법

필름 형성 공정에서 액체 상을 사용하지 않는 건조 공정 유형 이 기술은 결정화 된 세안전한 바카라 사이트 입자를 가스와 혼합하고 교반하여 담배의 연기와 유사한 상태 (에어로졸 화)를 생성하여 감압하에 필름 형성 챔버로 운반하여 노즐을 통해 기판에 뿌려 밀도가 높고 결정화 된 필름을 형성합니다
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◆ α-alumina

세안전한 바카라 사이트 재료의 유형 산화 알루미늄 (al₂O₃)의 다형성 중 하나 화학적으로 안정적인, 높은 융점 (2050 ℃), 높은 기계적 강도, 높은 경도 및 높은 전기 절연 저항과 같은 우수한 특성을 갖는다[참조로 돌아 가기]

◆ Ceramics Deading Film

일반적으로, 물리 증기 증착 (PVD) 또는 화학 증기 증착 (CVD)에 의해 생성 된 박막은 1 μm 이하의 두께를 가지며, 대조적으로, 1 µm 이상의 필름 두께를 제조하는 방법은 두꺼운 필름 기술이라고합니다 도자기 분야에서는 스크린 인쇄 및 녹색 시트 방법이 잘 알려져 있습니다[참조로 돌아 가기]

◆ 압전 세안전한 바카라 사이트 (PZT)

기능성 세안전한 바카라 사이트 중 하나 전기 및 기계적 에너지를 서로 변환하는 기능이 있습니다 전압이 압전 세안전한 바카라 사이트에 적용되면 세안전한 바카라 사이트이 확장되고 수축되며 반대로 압력이 가해지면 전압이 생성됩니다 PZT는 리드 지르코 네이트 티타 네이트 (PB (ZR, TI) O₃)는 압전 세안전한 바카라 사이트의 유형입니다[참조로 돌아 가기]

◆ Vickers Hardness

136 °의 대면 각도를 갖는 다이아몬드 일반 피라미드 피라미드 인트 멘터가 일정한 하중 하에서 샘플로 밀어 내고 재료의 경도는 송전 (인상)과 푸시 인의 깊이에 따라 측정되는 방법입니다 더 큰 우울증은 부드러운 샘플을 만들고 작은 샘플은 단단한 샘플을 만듭니다[참조로 돌아 가기]

◆ Young 's Modulus (압축 탄성 계수)

Young 's Modulus는 경도를 나타내는 색인입니다 특정 재료를 압축하고 두께가 0을 만들기 위해 단위 영역 당 얼마나 많은 힘을 적용 해야하는지를 설명하는 값 (실제로는 불가능합니다) 압축 모듈러스라고도하는이 값이 높을수록 재료가 더 어려워집니다
일반적으로, 영의 모듈러스는 정적 상태에서 탄성 계수를 나타냅니다 (시간이 지남에 따라 변화하는 힘이 적용되지 않는 경우)을 동적 값을 탄력성의 압축 압축 모듈러스라고합니다[참조로 돌아 가기]

◆ 대각선 고장 강도

절연 전압 전압은 절연체가 전기적으로 분해되고 절연체에 도달하거나 특정 한계에 도달하거나 특정 한계를 초과 할 때 전류 흐름을 나타냅니다 이 분해 전압을 재료 두께로 나누어 얻은 값은 파괴 강도가됩니다 장치는 (kv/mm)로 표현되며 물질-특이 적 값이지만 기포가 재료에 혼합되거나 재료가 수분을 흡수 할 때 값은 낮습니다 절연체로서, 높은 유전체 파괴 강도를 갖는 것이 바람직하다[참조로 돌아 가기]

◆ 부피 저항력

부피 저항력은 단위 부피당 전기 저항 값입니다 즉, 1M³, (ω · m)의 단위로 표현됩니다 또한 (ω (cm)이 경우 1cm³의 큐브에 대한 저항 값을 나타냅니다 여기서 1Ω · m = 100Ω · cm
전체 재료의 저항 값은 부피 저항에 길이를 곱하고이를 단면적으로 나누어 얻을 수 있습니다 부피 저항력은 재료의 고유 한 값 (물리적 특성 값)이며, 동일한 치수와 비교할 때 큰 부피 저항력이 큰 재료도 저항 값이 크다 절연 재료로서, 대량의 부피 저항이 필요합니다[참조로 돌아 가기]

◆ 유전체 상수

유전 상수는 분극의 용이성 (저장된 전기의 양을 나타내는)을 말하며, 절연체의 성능을 평가하는 기준 중 하나입니다
전극 플레이트 사이에 절연체가 중재되고 전압이 적용될 때 커패시터를 예로 들어 보자 전기가 통과되지 않지만 전기는 분자와 음전하가 분리되어 전기를 저장하는 데 가능합니다 이 시점에서, 전기장의 강도와 전극 플레이트의 면적에 비례하여 저장된 전기의 양은이 시점의 변화 속도를 유전 상수라고한다 유전 상수가 높을수록 저장하는 전기의 양이 커집니다
일반적으로, 상대 유전율 (진공의 유전체 상수의 유전체 상수의 비율)은 유전 상수보다 더 일반적으로 사용됩니다 절연체가 작은 상대 유전율 값을 갖는 것이 바람직하다[참조로 돌아 가기]

◆ 고해상도 변속기 전자 현미경 (HR-TEM)

고해상도 변속기 전자 현미경 (Highr솔루션transmissioneLectronmicroscopy) 고전압 (수백 kV)으로 가속 된 전자 (수백 kV)를 수십 수십 NM 이하로 얇게 썬 샘플로 조사하고 샘플 내부를 통과 한 전자의 그림자 그림에서 샘플의 나노 주문 아래의 미세 구조를 분석하는 장치 결정 구조는 원자의 순서와 격자 구조 장애 및 입자 경계의 관찰에서 관찰 될 수있다 또한 고해상도가 아닌 경우 단순히 TEM이라고합니다[참조로 돌아 가기]

◆ 플라즈마 부식 저항

반도체 제조 장비 등에 자주 사용되는 플라즈마 가스로 인한 에칭 효과에 대한 저항[참조로 돌아 가기]

◆ mems

mems (microeLectrom기계식Systems, 미세 전자 역학 시스템) 반도체 미세 가공 프로세스를 사용하여 실리콘 기판의 작은 기어, 기어, 펌프, 핀셋 및 전자 회로와 같은 마이크로 메커니즘을 생성하고 통합하는 미세 기기[참조로 돌아 가기]

◆ 정전기 척

반도체 제조 장비 등에 사용되는 샘플 스탠드 정전기의 전력을 사용하여 실리콘 웨이퍼 및 기타 장치를 흡수하고 수정하는 도구 이 개발은 에어로졸 증착 방법이 흡착 전력을 향상시킬 수있게하며, 유리 재료에도 충분한 흡착력을 달성 할 수있다[참조로 돌아 가기]