Toshiba Co, Ltd (이하 "Toshiba"라고 함)와 국립 고급 산업 과학 기술 연구소 (이하 "AIST"라고 함)는 공동 밀도에 대한 노출 기술의 정확성을 대략 20%로 향상시킬 수있는 마스크 바카라 사이트 추천 최적화 기술을 공동으로 개발했습니다 이 기술은 현재를 허용합니다Immered ARF 엑시머 레이저 노출1 장치기술 생성한 번 이상 수명을 연장 할 수 있습니다
이번에 개발 된 기술은 마스크에 있습니다비 해상도 바카라 사이트 추천최적 배치 결정알고리즘(계산 방법) : 로컬 최적화를 반복하여 최적의 솔루션을 효율적으로 얻는 "최적의 기울기 방법"을 채택함으로써 치수 정확도가 약 20% 향상되었습니다 비 해상도 바카라 사이트 추천은 다음과 같습니다주 바카라 사이트 추천해상도・치수 정확도개선하는 계산 8621_8653 | 배치를 최적화하는 소환자입니다노출 정확도한계에 이르렀고, 더 어려워졌으며, 정확도 향상에 대한 제약이되었습니다
Toshiba와 AIST는 2010 년에 실용적으로 만들기 위해 이러한 결과를 계속 개선 할 것입니다 이러한 결과와 관련하여, 우리는 2010 년 2 월 21 일부터 25 일까지 미국 캘리포니아 산호세에서 개최 될 SPIE (국제 광학 공학 협회)에 이루어질 것입니다
ARF EXCIMER LASER 광원노출 기술광상 변조를 이용하는 위상 시프트 마스크와 물을 사용하여 빛의 굴절률을 증가시키는 침수 기술을 포함한 다양한 유형입니다고해상도 기술로 인해 30 nm 생성으로 확장되었습니다 그러나 차세대에서는 침수 ARF 노출이 정확도 한계에 이르며, 두 단계로 미세한 이미지를 전달하는 두 개의 ARF 노출이 또는 짧은 파장을 전달합니다EUV 노출로 전환한다는 예측도 있습니다 필요합니다 한편, 침지 ARF 엑시머 레이저 노출 장치의 수명이 더 연장 될 것으로 예상되며, Toshiba와 AIST는 다음에 대한 새로운 접근 방식을 제공 할 것입니다노출 마스크
전통적으로, 비 해상도 바카라 사이트 추천의 배치를 결정하기위한 계산 방법은 주 바카라 사이트 추천으로부터의 거리를 정의한 다음 그것을 최적화 한 다음, 광학 시스템의 비선형 함수를 사용하여 추정되는 "간섭 맵 방법"과 원하는 전송 바카라 사이트 추천으로부터 역 계산을 포함하는 "간섭 맵 방법"을 최적화하는 "규칙 기반 방법"과 같은 사용되었습니다 그러나 각각은 바카라 사이트 추천 배열의 다양성이 부족하며, 고속 바카라 사이트 추천이 있지만 일부 바카라 사이트 추천은 최적의 배열과 약간의 편차를 유발하여 처리 시간이 크게 발생하여 노출 정확도를 향상시키는 데 장애가되었습니다
Toshiba와 AIST는 비 해상도 바카라 사이트 추천을 최적으로 배열하기 위해 "최적의 그라디언트 방법"을 기반으로 고유 한 알고리즘을 개발했습니다 "최적의 그라디언트 방법"은 일반적인 로컬 검색 방법이며, 현재 솔루션 근처에서 가장 개선 된 솔루션을 채택하는 프로세스를 반복하여 최적의 솔루션에 효율적으로 도달 할 수 있습니다 이것은 6 nm 차원 정확도를 달성했으며, 이는 이전 모델에서 약 20% 향상되었습니다 또한 "간섭 맵 방법"과 결합하여 높은 정확도와 고효율을 모두 달성했습니다
(이 기술을 사용하여 비 해상도 바카라 사이트 추천 최적화 단계)