최근 몇 년 동안 환경 친화적 인 재료의 발전에 대한 강력한 사회적 압력이있었습니다 자원의 효율적인 사용의 관점에서 볼 때, 하드 필름 코팅 기술에 대한 수요가 증가하여 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수 있으며 자신있게 사용할 수있는 재료를 생산할 수 있습니다
스테인레스 스틸 및 알루미늄 합금과 같은 재료의 표면에 거친 코팅을 형성 할 수있는 금속 옥시 카르 바이드에주의가 집중되어 있습니다 금속 옥시 카르 비드 화합물은 금속 + 산소 및 탄소로 구성됩니다 몰리브덴 또는 텅스텐을 포함하는 옥시 카르 바이드는 매우 단단하며 하드 코팅 재료로 사용할 가능성이 뛰어납니다 그러나 기존의 생산 방법은 환경 적으로 유해한 금속 헥사 카르 보닐을 사용하므로 대체 환경 친화적 인 생산 방법이 필요합니다
우리의 연구 부서에서 우리는 금속, 이산화탄소 및 메탄을 사용하여 원료로 반응성 스퍼터링 방법을 사용하여 하드 금속 옥시 카르 바이드를 합성하는 환경 친화적 인 하드 필름 코팅 기술을 개발했습니다