플라즈마를 사용한 재료 처리 기술은 최근 몇 년 동안 반도체, 플라즈마 디스플레이, 태양 전지판 및 박막 센서 제조에 사용되는 기술을 포함하여 빠르게 진행되었습니다 결과적으로, 플라즈마 재료 과학에서 반도체 및 진공 장치 제조에 이르기까지 광범위한 필드에서 적용하기 위해 혈장 및 가스의 통합 컴퓨터 시뮬레이션 시스템의 개발에 대한 수요가 상당히 높았습니다 그러나, 수치 분석은 간단한 물리적 및 수학적 모델에서 수행하기가 어렵다 (1) 공정과 관련된 전자, 이온 및 중성 라디칼은 기체 상 및 용기 또는 기질 표면에서 다양한 물리적 및 화학 반응을 유발하기 때문에 시간 및 공간의 측면에서 상당히 상당히 상당히 상당히 비평가 성이 없기 때문이다 따라서 이러한 문제를 극복하고 전체 시스템에서 가스, 고체 및 플라즈마 상호 작용에 대처할 수있는 컴퓨터 프로그램 개발에 대한 상당한 수요가 있습니다
Pegasus Software Incorporated와 협력하여, 바카라 커뮤니티 (ISEM)의 ISEM (Institute for Structural and Engineering Materials)의 내구성 코팅 및 표면 수정 그룹은 플라즈마 공정 및 희귀 한 가스 분석을위한 통합 컴퓨터 프로그램을 개발했습니다 이 프로그램은 가스 흐름, 플라즈마 거동, 스퍼터 에칭 및 기타 요인 측면에서 진공 챔버 내부 벽 또는 테스트 샘플 표면과 플라즈마 사이의 상호 작용을 컴퓨터 분석 할 수 있습니다
컴퓨터 프로그램에는 수많은 모듈 그룹의 준비와 프로세스 목표를 충족시키기 위해 이러한 모듈의 선택 또는 조합이 포함되므로 광범위한 응용 기술로 쉽게 사용할 수 있습니다 이 프로그램은 전체 시스템의 프로세스를 분석하는 데 사용될 수 있으므로 장비 설계 및 개선의 효율성 향상뿐만 아니라 실험 및 프로토 타입 비용이 크게 낮아질 것으로 예상됩니다
이 프로그램은 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD), 에칭, 플라즈마 디스플레이 패널, 자기 스퍼터링, 이온 주입 장치 및 다양한 진공 장비에 사용 된 것들을 포함하여 광범위한 장비에서 공정 분석에 사용할 수 있습니다
플라즈마 및 가스 프로세스 시뮬레이션 프로그램은 12 월부터 페가수스라는 이름으로 시작됩니다 페가수스 소프트웨어는 다른 장비와 함께 사용하기 위해 적절한 모듈 조합에 대한 편의 서비스를 제공 할 것입니다
페가수스의 시뮬레이션 결과의 예 :
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양의 펄스 전압 (최대 전압 : 2kV, 펄스 길이 : 5 μs)이 조사중인 작업장 (단면에서 H 형상)에 적용될 때 생성 된 혈장 밀도의 공간 분포 (단면에서 H 형) 결과는 직장 주변에서 고밀도 영역이 생성되었음을 보여줍니다 |