독립적 인 행정 기관인 National Advanced Industrial Science and Technology (AIST)의 MIJ (Metrology Institute of Japan)는 푸지 사진 Optical Co, LTD (FPOC), (FPOC)와 공동으로 공동으로 대상을 평가하기위한 대형 조리개 Fizeau 바카라 추천도 간섭계 (Photo1)를 개발했습니다 세계 기기는 직경 300mm의 측정 영역을 포함하고 10 nm (1NM = 1/1,000,000,000m)의 측정 불확실성을 달성했습니다
AIST는 공개 연구기구로서 테스트 및 바카라 추천 서비스를 제공하는 책임을 맡고 있으며이 작업에서 개발 된 Fizeau-Type 간섭계를 사용하여 2004 년 4 월부터 평평성 바카라 추천 서비스 (평판 표준 공급)를 시작할 것입니다
일본에서는 바카라 추천도 표준이 없었으므로 평평성의 객관적인 평가가 불가능했습니다
바카라 추천도는 물체의 평평한 표면이 얼마나 평평한 지에 대한 색인입니다 대용량의 반도체 장치 및 하드 디스크 및 업그레이드 프로세스 수율을 달성하기 위해 실리콘 파 및 하드 디스크 기판의 평평성이 매우 중요합니다 이러한 이유로, 공공 기관에 의한 바카라 추천도에 대한 객관적인 평가가 상처를 받았다 그러나 국가 표준에 따른 그러한 측정 서비스 중 어느 것도 제공되지 않았습니다
바카라 추천 최고의 정밀도의 대형 조리개 fizeau 간섭계
MIJ-AIST는 FPOC와 협력하여 바카라 추천에서 가장 작은 불확실성의 큰 조리개 Fizeau 평판 간섭을 개발했습니다 기기는 약 300mm 직경의 측정 영역에 대해 10nm 불확실성에서 물체의 평평성을 평가할 수 있습니다 이것은 바카라 추천에서 가장 정확한 정확도로 약 17,000 평방 킬로미터의 면적 인 Kanto Plain의 3mm 거칠기를 감지하는 것과 같습니다
세계 최고의 정확도와 함께 제공되는 바카라 추천도 교정 서비스
MIJ-AIST는 공공 계측 연구소로서 길이, 기하학적 수량, 질량, 힘, 토크 등과 같은 여러 수량에 대한 테스트 및 측정 서비스를 제공하며 테스트 결과를 기준으로 인증서를 발행합니다 Mij-Aist는이 작업에서 개발 된 Fizeau 간섭계를 사용하여 2004 년 4 월부터 바카라 추천도 측정을위한 교정 서비스를 시작할 예정입니다
IC/하드 디스크 및 프로세스 수율의 용량 향상에 기여
Fizeau- 타입 간섭계를 통한 바카라 추천도 표준을 공급하면 실리콘 파 및 하드 디스크 기판의 평평성을 객관적으로 평가할 수 있습니다 기기는 통합 회로 및 하드 디스크의 용량 개선과 프로세스 수율의 개선에 기여할 것으로 예상됩니다
사진 큰 조리개 fizeau 유형 바카라 추천도 간섭계
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그림 1 바카라 추천도 측정 결과의 예
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