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업데바카라 (mm/dd/yyyy) : 01/08/2020

바카라C 기반 차세대 트랜지스터 구조 개발

-트바카라 효율의 지수 인 저항성의 현저한 감소-


연구원 : Harada Shinsuke, 리더, 바카라C 장치 프로세스 팀, Advanced Power Electronics Research Center

포인트

  • 바카라C 기반 트랜지스터에 차세대 구조물의 적용 및 세계에서 가장 낮은 저항 성취도
  • 바카라 된 트랜지스터가 높은 온도 특성 및 실질적 사용에 중요한 동적 특성과 같은 우수한 성능을 가지고 있음을 시연
  • 전력 변환 시스템의 축소 및 향상 효율성 및 새로운 전력 시스템 생성에 기여할 것으로 예상
그림
개발 된 두 가지 유형의 바카라C 트렌치 게이트 타입 Super Junction (SJ) MOSFET


배경

에너지의 효과적인 사용을 촉진하고 저탄소 사회를 실현하기 위해서는 전력 전환 (DC/AC 변환 및 전환 전환) 및 제어를위한 전력 전자 기술을 발전시켜 효율성을 극적으로 증가시키고, 크기 및 무게를 줄이며, 전력 전자 장치의 기능을 향상시켜야합니다

실리콘 카바이드 (바카라C)는 전력 장치의 효율을 축소하고 향상시키는 데 유리한 물리적 특성을 가지고 있으므로 차세대 전원 장치의 약속 자료로 예상됩니다


요약

Fuji Electric Co, Ltd, Sumitomo Electric Industries, Ltd, Toyota Motor Corporation, Toshiba Corporation 및 Mitsubishi Electric Corporation과의 공동 연구를 통해 연구원은 12kV ictstand voltage class 슈퍼 Junction (SJ) MoSfets를 개발하여 SCIC를 사용하여 SCIC를 사용하여 세계를 개발했습니다 바카라C 트랜지스터 개발 된 SJ-MOSFETS는 또한 실질적인 용도에 중요한 고온 특성과 동적 특성을 갖는 것으로 입증되었습니다

대체 N- 타입 및 P 형 기둥을 갖는 SJ 구조는 실리콘 (바카라) 트랜지스터 온 저항성을 효과적으로 감소시키는 것으로 입증되었다 그러나 바카라C 트랜지스터에 대한 적용은 SJ 구조를 제조하기가 어렵 기 때문에 진행되지 않았다 연구원은 AIST 오리지널 바카라C 트랜지스터 제조 기술을 적용하여 좁은 피치로 잘 통제 된 SJ 구조를 달성했습니다 이로 인해 피치가 좁고 저항성이 낮은 SJ 구조로 트렌치 게이트 타입 MOSFET을 실현할 수 있었으며, 이는 12 kV 견고한 전압 클래스 바카라c-MOSFET의 저항성을 크게 줄였습니다 개발 된 기술은 바카라C가 적용될 것으로 예상되는 전기 차량 전력 시스템의 추가 하향화 및 향상 효율성에 기여할 것으로 예상되며, 새로운 전력 시스템의 생성







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